核电站闭气式正比计数器C2门调试

介绍了以闭气式正比计数器为探测器的核电站C2门的调试方法,分析了设备性能优化的可行性与必要性。为保证最优的探测器效率,需确定探测器最佳的高压值;计算了设备的最小可探测限,并设定低本底报警阈值;制定了探测器的防护措施。

AlGaN/GaN HEMT栅槽低损伤刻蚀技术

对AlGaN/GaNHEMT栅槽低损伤刻蚀技术进行研究,通过加入小流量的具有钝化缓冲作用的C2H4,对Cl2/Ar/C2H4的工艺条件进行了优化,有效地降低了栅槽刻蚀造成的AlGaN表面损伤和器件退化,同时防止反应生成物淀积在栅槽表面,改善了肖特基结特性,提高了栅极调控能力,实现凹栅槽的低损伤刻蚀。