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用真空反应溅射CBC靶获得的Ti-Al-B-N涂层
被引量:
1
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作者
李良福
《钛工业进展》
CAS
2001年第1期18-20,共3页
关键词
钛合金涂层
真空反应溅射
复合
靶
cbc靶
下载PDF
职称材料
题名
用真空反应溅射CBC靶获得的Ti-Al-B-N涂层
被引量:
1
1
作者
李良福
出处
《钛工业进展》
CAS
2001年第1期18-20,共3页
关键词
钛合金涂层
真空反应溅射
复合
靶
cbc靶
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
用真空反应溅射CBC靶获得的Ti-Al-B-N涂层
李良福
《钛工业进展》
CAS
2001
1
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