利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测

为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测 ,研制了图像处理位移检测系统。以CCD相机为核心 ,结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统。图像处理软件用VC编制 ,计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系 ,以及工作台在平面内的运动轨迹。系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响。检测系统达到了亚像素级的位移分辨率。选择合适的显微镜放大倍率 ,可使检测系统既有较高的位移分辨率 。