CCD压痕直径测量系统中Z坐标的快速精确定位

为满足CCD压痕直径测量系统对坐标位置和电机运行速度的要求,本文设计了一种步进电机测量控制系统。采用闭环位置控制方案,以脉冲加方向信号来驱动步进电机;采用在电机运行过程中改变电机运行速度与方向的控制措施,实现了电机的快速运行和坐标的精确定位。使用Microsoft Visual C++语言编辑界面程序,具有控制简单、Z坐标定位快速精确、可靠等特点。