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高温大红釉中ZrSiO_4-Cd(S_xSe_(1-x))的SEM跟踪分析 被引量:3
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作者 王芬 朱建锋 《中国陶瓷工业》 CAS 北大核心 2001年第2期1-8,共8页
通过对硫硒化镉大红釉面及点的SEM及XRF分析 ,研究了ZrSiO4 -Cd(SxSe1-x)在不同基釉中的存在形式与釉色稳定性的关系 ,探讨了该色料在高温釉中的呈色机理及稳定条件 ,并通过实验及颜色测定获得验证。
关键词 陶瓷釉 高温大红釉 ZrSiO4-cd(SxSe1-x) 扫描电镜 跟踪分析
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基于CD-SEM的线距标准样片测量
2
作者 冯亚南 赵琳 +2 位作者 李锁印 韩志国 许晓青 《上海计量测试》 2019年第1期21-23,共3页
针对线距标准样片线间距的测量需求,基于关键尺寸扫描电镜(CD-SEM),提出了一种宽度测量方法。首先,介绍了CD-SEM测量系统的基本原理;其次,使用CD-SEM对VLSI生产的标称尺寸为100 nm、3μm、10μm的线距标准样片进行了测量;最后,对测量不... 针对线距标准样片线间距的测量需求,基于关键尺寸扫描电镜(CD-SEM),提出了一种宽度测量方法。首先,介绍了CD-SEM测量系统的基本原理;其次,使用CD-SEM对VLSI生产的标称尺寸为100 nm、3μm、10μm的线距标准样片进行了测量;最后,对测量不确定度进行评定,并将测量结果与VLSI标准样片证书给出的标准值进行比对。结果表明:En值最大为-0.7,CDSEM测量线间距的准确度很高。 展开更多
关键词 线间距 cd-sem 不确定度 线距样片
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CD-SEM如何与散射成像相互补充 被引量:2
3
作者 Alexander E. Braun 《集成电路应用》 2009年第9期20-23,共4页
自从散射成像技术开始应用于IC制造业后,就没有停止过与特征尺寸扫描电子显微镜(CD—SEM)之间的竞争,伴随着激烈的竞争,两项技术都不断地进行着改进(图1)。从半导体技术发展蓝图的角度来讲,这种竞争所产生的结果是正面的。现在... 自从散射成像技术开始应用于IC制造业后,就没有停止过与特征尺寸扫描电子显微镜(CD—SEM)之间的竞争,伴随着激烈的竞争,两项技术都不断地进行着改进(图1)。从半导体技术发展蓝图的角度来讲,这种竞争所产生的结果是正面的。现在,CD-SEM通过分析多条线,获取特征尺寸(CD)的信息;CD—SEM也正在朝着同时分析多条线的方向努力,而散射成像技术早已实现了这项功能。现在。 展开更多
关键词 成像技术 sem 散射 cd 扫描电子显微镜 互补 特征尺寸 半导体技术
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基于图像分析的CD-SEM显微视觉清晰度检测技术研究
4
作者 姜国伟 田宝 章屠灵 《集成电路应用》 2019年第8期52-55,共4页
在集成电路制造业,对CD-SEM显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸CD(Critical Dimension)量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比,提出一种基于小波变换和规则集合相结... 在集成电路制造业,对CD-SEM显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸CD(Critical Dimension)量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比,提出一种基于小波变换和规则集合相结合的CD-SEM图像清晰度检测算法,首先利用小波变换分层提取图像的边缘特征,然后按照规则集合对边缘点进行不同边缘类型划分,最后计算图像模糊前后不同类型边缘点占总边缘点的比例来评价原始图像的清晰度。经过实验模拟验证和现场生产实践检验,该算法具有较高的计算精度和较强的鲁棒性、实时性和场景适应性。 展开更多
关键词 cd-sem显微图像 图像处理 小波变换 清晰度检测
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CD-AFM在45nm节点半导体芯片检测过程中的应用 被引量:4
5
作者 殷伯华 初明璋 +1 位作者 林云生 韩立 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期127-130,共4页
本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位。根据芯片在... 本文介绍了关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导体芯片45nm节点工艺关键尺寸检测中的优势地位。根据芯片在线关键尺寸检测的具体要求,提出了原子力显微镜急待解决的相关研究内容。 展开更多
关键词 关键尺寸 原子力显微镜 扫描电子显微镜 3D图像
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固定香菇(Lentinus edodes)废弃菌柄对溶液中Cd^(2+)的吸附 被引量:6
6
作者 马培 张丹 何海江 《安全与环境学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期34-38,共5页
为开发廉价实用的吸附材料,利用聚乙烯醇-海藻酸钠(PVASA)固定香菇废弃菌柄作为生物吸附剂吸附溶液中的Cd^(2+),吸附过滤后的溶液用原子吸收光谱仪(AAS)测定Cd^(2+)的浓度。结果表明:对溶液中Cd^(2+)的吸附7 h达到平衡,平衡吸附量为0.20... 为开发廉价实用的吸附材料,利用聚乙烯醇-海藻酸钠(PVASA)固定香菇废弃菌柄作为生物吸附剂吸附溶液中的Cd^(2+),吸附过滤后的溶液用原子吸收光谱仪(AAS)测定Cd^(2+)的浓度。结果表明:对溶液中Cd^(2+)的吸附7 h达到平衡,平衡吸附量为0.200 8 mg/g;模拟二级方程能很好地拟合吸附过程,决定系数R^2为0.994 6;Cd^(2+)适宜的吸附pH值范围为4~7,比自由态香菇粉广;随着Cd^(2+)初始质量浓度的增加,溶液中Cd^(2+)的吸附量逐渐增加;与Cd^(2+)共存于同一溶液中的Cu^(2+)或Pb^(2+)明显降低了Cd^(2+)的吸附率;分别用Langmuir、Freundlich、Dubinin-Radushkevich(D-R)和Langmuir-Freundlich等温吸附模型对Cd^(2+)的吸附过程进行拟合,结果表明Langmuir吸附模型能很好地拟合溶液中Cd^(2+)的等温吸附过程,R^2达0.998 1。微观形态研究表明,PVA-SA香菇小球吸附Cd^(2+)后粗糙多孔的表面变得密实,表面有Cd沉积和Cd晶体存在。红外光谱(FTIR)研究发现,在PVA-SA香菇小球吸附Cd^(2+)的过程中香菇细胞壁上的—OH、—CO、—CO—NH及PVA发挥了作用。用10 mmol/L的HCl作为解吸剂,3次解吸后PVASA小球对Cd^(2+)的吸附率仍可以达到64.17%,表明香菇废弃菌柄的PVA-SA固定技术在重金属生物吸附的实际应用中是可行的。 展开更多
关键词 环境工程 固定香菇 cd^2+ 干扰吸附 FTIR sem
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固定化微生物技术修复镉污染红黏土的室内试验研究
7
作者 陈筠 黄洋 +1 位作者 向川 龙钰 《长江科学院院报》 CSCD 北大核心 2024年第6期106-113,共8页
为了探究固定化微生物技术对镉(Cd)污染红黏土物理力学性质和环境污染的修复效应,以活性炭为载体,菌种选取巴氏芽孢杆菌,开展基本物理试验、无侧限抗压强度试验、毒性浸出试验和重金属形态提取试验。试验结果表明:巴氏芽孢杆菌对镉离子... 为了探究固定化微生物技术对镉(Cd)污染红黏土物理力学性质和环境污染的修复效应,以活性炭为载体,菌种选取巴氏芽孢杆菌,开展基本物理试验、无侧限抗压强度试验、毒性浸出试验和重金属形态提取试验。试验结果表明:巴氏芽孢杆菌对镉离子有较强的耐受性;对比单加微生物或活性炭,固定化微生物技术的修复效果更显著;14%活性炭微生物土样的无侧限抗压强度为229.7 kPa,较镉污染土提升174.7%;修复21 d后,10%活性炭微生物土样的镉离子浸出浓度降低到0.002 mg/L,较镉污染土样降低99.8%;修复后,土中的镉从弱酸态向可还原态和残渣态转化。总的来说,固定化微生物技术对镉污染红黏土具有良好的修复效果,活性炭的掺量以10%为宜。研究成果可为贵州省镉污染红黏土的治理提供参考。 展开更多
关键词 红黏土 巴氏芽孢杆菌 固定化微生物技术 镉污染 土壤修复 电镜扫描
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无助剂水热合成CdS微球
8
作者 朱振峰 武英峰 刘辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第17期2562-2564,共3页
利用水热合成法,在不使用任何辅助剂的条件下,制备出形貌均一的CdS微球。利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对样品的结构和形貌进行了表征。结果表明水热合成避免了S2-离子的氧化,在适当的保温温度和保温时间下得到了具有明显量子尺寸... 利用水热合成法,在不使用任何辅助剂的条件下,制备出形貌均一的CdS微球。利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对样品的结构和形貌进行了表征。结果表明水热合成避免了S2-离子的氧化,在适当的保温温度和保温时间下得到了具有明显量子尺寸效应的表面光滑的CdS微球。 展开更多
关键词 水热合成法 cdS微球 XRD sem
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CINRAD/CD、CINRAD/SC新一代天气雷达定标技术操作规范及注意事项 被引量:10
9
作者 邵楠 胡学英 +2 位作者 王箫鹏 郑伟 杨亭 《气象水文海洋仪器》 2017年第3期28-32,共5页
新一代天气雷达CINRAD/CD、CINRAD/SC硬件批次多,软件版本也不尽相同,定标中出现的操作步骤和使用方法不规范等问题,给定标操作统一性带来了一定的困难。文章以《新一代天气雷达定标技术说明》为基础,按照设备仪表、雷达系统、收发支路... 新一代天气雷达CINRAD/CD、CINRAD/SC硬件批次多,软件版本也不尽相同,定标中出现的操作步骤和使用方法不规范等问题,给定标操作统一性带来了一定的困难。文章以《新一代天气雷达定标技术说明》为基础,按照设备仪表、雷达系统、收发支路损耗这三大部分对定标技术中一些注意事项或测量规范进行了详细的阐述,并首次针对该系统的收发支路损耗测试方法进行明确说明,该定标技术规范能有效避免仪器仪表误操作,提高定标结果的有效性和可重复性。 展开更多
关键词 新一代天气雷达 CINRAD/cd CINRAD/SC 定标 收发支路损耗
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CD-L1型流气式固体氡源替换RN-150型氡源的研究 被引量:7
10
作者 崔勇 许秋龙 +2 位作者 张学敏 张洪斌 李艳萍 《地震地磁观测与研究》 2008年第2期80-85,共6页
通过对CD-L1型流气式固体氡源氡产生率稳定性、同一闪烁室用不同氡源标定K值的对比实验研究,表明用CD-L1型流气式固体氡源与用RN-150型氡源标定的K值之间相差远小于5%,完全能够替代目前地震台使用的RN-150型氡源,同时具有操作简便、体... 通过对CD-L1型流气式固体氡源氡产生率稳定性、同一闪烁室用不同氡源标定K值的对比实验研究,表明用CD-L1型流气式固体氡源与用RN-150型氡源标定的K值之间相差远小于5%,完全能够替代目前地震台使用的RN-150型氡源,同时具有操作简便、体积小、易携带等优点。 展开更多
关键词 cd-L1型流气式固体氡源 RN-150型氡源 标定 氡产生率
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CdZnTe衬底沉积相成分分析
11
作者 张鹏举 孔金丞 +6 位作者 胡赞东 赵俊 赵增林 万锐敏 王羽 王京云 姬荣斌 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第4期323-326,共4页
采用扫描电子显微镜技术对Cd Zn Te单晶片中的沉积相进行成分分析研究,结果表明通过红外显微系统观察到的Cd Zn Te晶片中常见的"放射状"沉积相和"链状"沉积相Cd含量富集,确认为Cd沉积相;另外,扫描电镜能谱仪对沉积... 采用扫描电子显微镜技术对Cd Zn Te单晶片中的沉积相进行成分分析研究,结果表明通过红外显微系统观察到的Cd Zn Te晶片中常见的"放射状"沉积相和"链状"沉积相Cd含量富集,确认为Cd沉积相;另外,扫描电镜能谱仪对沉积相颗粒分析表明,Cd Zn Te晶体中的杂质元素易在Cd沉积相中富集。 展开更多
关键词 cdZNTE cd沉积相 扫描电子显微镜
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分子束外延的CdTe在碲镉汞中波器件中钝化效果
12
作者 解晓辉 林春 +3 位作者 陈路 赵玉 张竞 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期413-419,共7页
采用分子束外延技术(MBE)制备了碲化镉(CdTe)原位钝化的中波碲镉汞(HgCdTe)材料。原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明,分子束原位外延的CdTe可见cross-hatch,表面粗糙度为1~2 nm,CdTe和HgCdTe界面结合紧密。微波光导... 采用分子束外延技术(MBE)制备了碲化镉(CdTe)原位钝化的中波碲镉汞(HgCdTe)材料。原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明,分子束原位外延的CdTe可见cross-hatch,表面粗糙度为1~2 nm,CdTe和HgCdTe界面结合紧密。微波光导测试结果显示,77 K时,与表面处理后非原位CdTe钝化的HgCdTe材料相比,CdTe原位钝化的HgCdTe材料的少子寿命较大。制备了分子束外延CdTe原位钝化的中波HgCdTe光伏器件,和相同材料上的非原位CdTe/ZnS双层钝化制备的器件I-V特性相似。 展开更多
关键词 碲化镉 原位钝化 原子力显微镜 扫描电子显微镜 电压电流特性
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X射线荧光光谱法粮食重金属检测仪校准方法研究
13
作者 李双林 余勇章 +2 位作者 沈亦墨 何枫 吴聪 《计量与测试技术》 2024年第10期80-82,共3页
本文通过测量大米粉成分中重金属镉的含量,建立X射线荧光光谱法粮食重金属检测仪的校准方法,并进行试验验证。结果表明:该方法具有可行性,不仅提升了量值传递的可靠性和溯源的有效性,而且为该类仪器的准确测量和计量工作提供了理论依据。
关键词 X射线荧光光谱法粮食重金属检测仪 校准方法 技术指标
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稀磁半导体CdMnTe单晶的制备新技术
14
作者 马国立 郭喜平 介万奇 《材料科学与工程》 CSCD 1999年第3期31-34,共4页
CdMnTe是近年来出现的一种新型半导体材料,由于材料中含有磁性Mn2+离子,所以又称之为稀释磁性半导体。它具有独特的磁学、光学、电学性质,同时也可用作红外探测器制备中的衬底材料,但是,受材料本身特性的限制,采用传统... CdMnTe是近年来出现的一种新型半导体材料,由于材料中含有磁性Mn2+离子,所以又称之为稀释磁性半导体。它具有独特的磁学、光学、电学性质,同时也可用作红外探测器制备中的衬底材料,但是,受材料本身特性的限制,采用传统的长晶工艺制备这种材料存在有较大的困难。本文采用ACRT—B技术来进行晶体生长,使混料和长晶一次完成。 展开更多
关键词 ACRT-B 半导体 稀释磁性半导体 镉锰碲 单晶
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多糖的高级结构鉴定分析的研究进展 被引量:4
15
作者 杨德强 魏名卓 +2 位作者 杨欣荣 李冀 杨春娟 《化学工程师》 CAS 2023年第5期68-71,80,共5页
多糖是自然界中普遍存在的生物大分子,具有多种药理活性,多用于功能性食品和治疗剂。多糖的生物活性取决于其化学结构,本文介绍了二维核磁共振(2D NMR)、X-射线衍射法、毛细管电泳-质谱联用技术(CE-MS)、基质辅助激光解吸电离飞行时间质... 多糖是自然界中普遍存在的生物大分子,具有多种药理活性,多用于功能性食品和治疗剂。多糖的生物活性取决于其化学结构,本文介绍了二维核磁共振(2D NMR)、X-射线衍射法、毛细管电泳-质谱联用技术(CE-MS)、基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱(MALDI-TOF-MS)、圆二色光谱(CD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力光谱(AFM)、差示扫描量热法(DSC)以及分子动力学模拟技术等多糖分析鉴定方法,并对今后的研究工作进行了展望。 展开更多
关键词 多糖 高级结构 核磁共振 圆二色光谱 扫描电镜
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CIN/CD雷达天线太阳法标校故障的分析及解决方法 被引量:1
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作者 胡斌 刘晓磊 余世同 《气象水文海洋仪器》 2011年第4期115-116,119,共3页
根据CIN/CD雷达运行过程中出现方位到位精度差,无法完成太阳法标校的故障现象,分析了故障产生的原因,并总结出一套以人工太阳标校法解决故障的方法,以供借鉴。
关键词 CIN/cd雷达 太阳法标校 故障分析
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红外探测器高性能读出电路的研究 被引量:12
17
作者 姜俊伟 赵毅强 +1 位作者 孟范忠 郭莹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期787-791,共5页
设计了一种高性能电容反馈跨阻放大器(CTIA)与相关双采样电路(CDS)相结合的红外探测器读出电路。该电路采用CTIA电路实现对微弱电流信号的高精度读出,并通过CDS电路抑制CTIA引入的固定模式噪声(FPN),最后采用失调校正技术减小CDS引入的... 设计了一种高性能电容反馈跨阻放大器(CTIA)与相关双采样电路(CDS)相结合的红外探测器读出电路。该电路采用CTIA电路实现对微弱电流信号的高精度读出,并通过CDS电路抑制CTIA引入的固定模式噪声(FPN),最后采用失调校正技术减小CDS引入的失调,从而减小了噪声对电路的影响,提高了读出电路的精度。采用特许半导体(Chartered)0.35μm标准CMOS工艺对电路进行流片,测试结果表明:在20pA~10nA范围内该电路功能良好,读出精度可达10bit以上,线性度达97%,达到了设计要求。该读出电路可用于长线列及面阵结构红外探测系统。 展开更多
关键词 电容反馈跨阻放大器 相关双采样电路 固定模式噪声 失调校正技术
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镉与苄嘧磺隆复合污染对水稻细胞、DNA的毒害作用 被引量:10
18
作者 吴庆钰 杨俊诚 +2 位作者 张建峰 姜慧敏 侯彦楠 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期2216-2220,共5页
以粤香占和丰美占两种水稻为指示植物,通过透射电镜、扫描电镜以及彗星实验,在根尖细胞超微结构和DNA分子水平上研究了重金属元素Cd、苄嘧磺隆(Bensulfuron Methyl,BSM)复合污染对水稻的毒理学机制。电镜分析结果表明BSM和Cd复合污染能... 以粤香占和丰美占两种水稻为指示植物,通过透射电镜、扫描电镜以及彗星实验,在根尖细胞超微结构和DNA分子水平上研究了重金属元素Cd、苄嘧磺隆(Bensulfuron Methyl,BSM)复合污染对水稻的毒理学机制。电镜分析结果表明BSM和Cd复合污染能够破坏水稻根尖的细胞结构,使表皮细胞破裂,核仁解体。对丰美占水稻进行彗星实验研究,并用CASP软件对图像进行分析。研究结果表明,随着Cd2+浓度的增加,DNA的迁移程度逐渐增加,也就意味着DNA的受损程度逐渐增加。当Cd浓度为10mg·L-1时,0.1mg·L-1的BSM会使OliveTM等参数降低,这说明0.1mg·L-1的BSM能够在一定程度上缓解Cd对水稻叶片DNA的损伤。 展开更多
关键词 cd 苄嘧磺隆 透射电镜 扫描电镜 彗星试验
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纳米线距标准样片的研制和表征 被引量:7
19
作者 许晓青 李锁印 +2 位作者 赵琳 梁法国 孙虎 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第9期754-760,共7页
论述了线距标准在扫描电子显微镜(SEM)类测量仪器校准中的重要性和作为标准物质的基本要求,指出了纳米线距标准物质的研制和表征在纳米量值溯源体系中的重要作用。通过材料选择、结构设计和制作工艺优化研制出了线距标称值为100nm的纳... 论述了线距标准在扫描电子显微镜(SEM)类测量仪器校准中的重要性和作为标准物质的基本要求,指出了纳米线距标准物质的研制和表征在纳米量值溯源体系中的重要作用。通过材料选择、结构设计和制作工艺优化研制出了线距标称值为100nm的纳米线距标准样片。利用光学显微镜对样片的表面质量进行初检,利用CD-SEM对样片的表征考核区域进行了均匀性和长期稳定性的测量以及对线距尺寸进行定值,同时对测量结果进行计算分析。实验结果表明,研制的201710001纳米线距标准样片的对比度良好、线条平直,均匀性和稳定性均小于2nm,且线距尺寸具有溯源性,可作为校准SEM类测量仪器图像放大倍率和图形畸变的标准物质使用。 展开更多
关键词 纳米线距 cd-sem 制作工艺 质量参数 均匀性 稳定性
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茶多酚/β-环糊精复合材料的合成条件对降低卷烟主流烟气TSNAs的影响 被引量:4
20
作者 李朝建 庄亚东 +3 位作者 廖惠云 沈晓晨 刘献军 曹毅 《烟草科技》 EI CAS 北大核心 2014年第4期55-59,共5页
为了有效降低卷烟主流烟气TSNAs的含量,合成了茶多酚/β-环糊精(β-CD)复合材料,考察了复合材料的合成工艺,用扫描电子显微镜(SEM)对材料形貌进行了表征,探讨了不同工艺条件下复合材料降低卷烟主流烟气TSNAs的效果.结果表明:①制... 为了有效降低卷烟主流烟气TSNAs的含量,合成了茶多酚/β-环糊精(β-CD)复合材料,考察了复合材料的合成工艺,用扫描电子显微镜(SEM)对材料形貌进行了表征,探讨了不同工艺条件下复合材料降低卷烟主流烟气TSNAs的效果.结果表明:①制备的茶多酚/β-CD复合材料的微观形貌为四边形薄片.②在Mβ-CD∶M茶多酚=1∶0.25~1∶1的范围内,增大茶多酚的比例有利于提高复合材料降低主流烟气TSNAs的能力.③最佳合成条件为:氮气保护下,Mβ-CD∶M茶多酚=1∶1、水∶乙醇=1∶1(体积比)、60℃恒温避光搅拌4h;在此条件下制备的茶多酚/β-CD复合材料对TSNAs有很好的吸附性,当滤嘴添加量为10 mg时,NNN,NNK,NAT和NAB的降低率分别为57.72%,68.79%,55.26%和42.42%.④制备的材料对NNK具有一定的选择性降低效果. 展开更多
关键词 茶多酚 Β-环糊精 主流烟气 扫描电子显微镜
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