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高压GIS用SF6/CF4混合气体状态参数计算及实现
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作者 张晓辉 《电气技术与经济》 2024年第6期309-312,共4页
高压断路器采用混合气体是解决其低温运行的有效方法,SF6+CF4的混合气体可有效降低其液化温度。文中以SF6+CF4为例,分别计算了SF6和CF4的状态参数。计算SF6气体状态参数采用了Beattie-Bridgman经验公式,同时结合SF6饱和蒸气压曲线公式,... 高压断路器采用混合气体是解决其低温运行的有效方法,SF6+CF4的混合气体可有效降低其液化温度。文中以SF6+CF4为例,分别计算了SF6和CF4的状态参数。计算SF6气体状态参数采用了Beattie-Bridgman经验公式,同时结合SF6饱和蒸气压曲线公式,绘制了SF6等密度曲线和饱和蒸气压曲线;计算CF4气体状态参数采用了SRK方程,并采用Riedel公式计算CF4饱和蒸气压,绘制了CF4的等密度曲线和饱和蒸气压曲线。在此基础上,给出了混合气体状态参数计算的实现方法,并举例验证了算法精度。 展开更多
关键词 SF6/cf4混合气体 状态参数 等密度曲 饱和蒸气压 软件实现
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容性耦合CF4/Ar等离子体放电特性研究
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作者 梁英爽 赵程琳 潘建壮 《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》 2024年第4期0145-0148,共4页
容性耦合CF4/Ar等离子体被广泛应用于半导体材料的刻蚀工艺中,本文采用流体力学模型,研究了气体比例对容性耦合CF4/Ar等离子体放电特性的影响。结果表明,随着CF4含量的增加,电子和Ar+离子的密度单调递减,而F-离子密度的变化趋势相反。... 容性耦合CF4/Ar等离子体被广泛应用于半导体材料的刻蚀工艺中,本文采用流体力学模型,研究了气体比例对容性耦合CF4/Ar等离子体放电特性的影响。结果表明,随着CF4含量的增加,电子和Ar+离子的密度单调递减,而F-离子密度的变化趋势相反。在Ar含量较高时,电子主要是通过电子与背景气体(特别是Ar)之间的碰撞电离反应产生的,但随着CF4含量增加,F-离子与CF3基团的碰撞电荷分离反应逐渐成为其最主要的产生途径;电子主要通过附着反应生成负离子而损失,因此这也是F-离子最主要的产生机制。当CF4含量较低时,F-离子主要通过其与Ar+离子之间的复合反应损耗;随着CF4含量的增加,F-离子与CF3基团的碰撞反应成为其主要消耗方式。对于中性粒子CF3基团和F原子,它们的密度随CF4含量的增加而增加,但当CF4含量高于50%时,呈现相反的变化趋势,这种非单调的变化是由于两种粒子的主要产生反应的反应物浓度随气体比例的变化导致的。CF3基团和F原子主要是通过电荷转移反应和复合反应来产生和损耗的。 展开更多
关键词 cf4/Ar等离子体 容性耦合等离子体 流体力学模型
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CF/Fe_(3)O_(4)增强环氧树脂吸波复合材料的性能研究
3
作者 刘婉婉 龙啸云 +2 位作者 纪月 孙启龙 张成蛟 《棉纺织技术》 CAS 北大核心 2023年第5期25-30,共6页
为了弥补吸波复合材料在应用上的局限性,采用原位还原法制备负载Fe_(3)O_(4)颗粒的碳纤维(CF/Fe_(3)O_(4)),通过浇铸成型将CF/Fe_(3)O_(4)复合纤维与环氧树脂进行复合,制备了CF/Fe_(3)O_(4)增强环氧树脂吸波复合材料。研究了CF/Fe_(3)O_... 为了弥补吸波复合材料在应用上的局限性,采用原位还原法制备负载Fe_(3)O_(4)颗粒的碳纤维(CF/Fe_(3)O_(4)),通过浇铸成型将CF/Fe_(3)O_(4)复合纤维与环氧树脂进行复合,制备了CF/Fe_(3)O_(4)增强环氧树脂吸波复合材料。研究了CF/Fe_(3)O_(4)复合纤维长度、添加量、复合材料厚度对复合材料吸波性能和弯曲强度的影响。研究发现:当CF/Fe_(3)O_(4)复合纤维长度为4 mm、添加量为0.8%、复合材料厚度为4.5 mm时,CF/Fe_(3)O_(4)增强环氧树脂吸波复合材料的吸波效果最优,最大反射损耗在18 GHz处达-16.8 dB,有效带宽为3.8 GHz,较同制备工艺条件下的CF增强环氧树脂复合材料的反射损耗(-4.75 dB)提升了253.7%。 展开更多
关键词 电磁波吸收材料 碳纤维 cf/Fe_(3)O_(4)复合纤维 复合材料 有效带宽 反射率 吸波性能 弯曲强度
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纤维取向对TC4/PEEK/Cf层板抗高速冲击性能的影响
4
作者 滕威 高立新 +4 位作者 袁潇洒 王梦麟 薛鹏博 吴焱兵 潘蕾 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期163-170,共8页
为研究高速冲击条件下TC4/PEEK/Cf层板破坏失效行为和机理,采用空气炮高速冲击试验探索了纤维取向对层板抗高速冲击性能的影响,并建立了误差有效控制的有限元模型。使用验证后的模型对不同变量下层板冲击试验进行算例丰富。试验和模拟... 为研究高速冲击条件下TC4/PEEK/Cf层板破坏失效行为和机理,采用空气炮高速冲击试验探索了纤维取向对层板抗高速冲击性能的影响,并建立了误差有效控制的有限元模型。使用验证后的模型对不同变量下层板冲击试验进行算例丰富。试验和模拟结果表明:TC4/PEEK/Cf层板高速冲击下损伤模式主要是金属/复合材料界面分层、复合材料内部层间分层、金属塑性变形、复合材料撕裂断开等。通过对比不同纤维取向层板高速冲击破坏特征发现,TC4/PEEK/Cf层板抗高速冲击性能与纤维铺放角度有关。层板整体耗散冲击能量的性能随纤维交叉角度增大而提高,纤维单向铺放层板的弹道极限和能量耗散率最低,0°/90°纤维取向层板的弹道极限和能量耗散率最高,抗冲击性能最优。 展开更多
关键词 TC4/PEEK/cf层板 非线性有限元数值仿真 抗高速冲击性能 冲击响应特征 损伤破坏机理
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Fe_(3)O_(4)@CF电极在非均相电芬顿系统中降解四环素
5
作者 赵龙飞 万宁 +2 位作者 黄雨婷 岳彤彤 冯威 《吉林大学学报(理学版)》 CAS 北大核心 2023年第4期982-990,共9页
针对传统芬顿技术的工作pH范围较窄、增大pH值会明显降低四环素的去除率并导致二次污染的问题,采用溶剂热合成方法,将Fe_(3)O_(4)负载于碳毡(CF)电极表面,合成Fe_(3)O_(4)@CF复合电极.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线... 针对传统芬顿技术的工作pH范围较窄、增大pH值会明显降低四环素的去除率并导致二次污染的问题,采用溶剂热合成方法,将Fe_(3)O_(4)负载于碳毡(CF)电极表面,合成Fe_(3)O_(4)@CF复合电极.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、Fourier变换红外吸收光谱(FTIR)和电化学阻抗(EIS)对材料进行表征,研究其作为电极在非均相电辅助芬顿(EF)系统中对四环素的降解性能和机理,并进行循环实验.结果表明:Fe_(3)O_(4)@CF电极在非均相电辅助芬顿体系中对四环素的降解性能最好;在室温下,经过90 min,四环素初始质量浓度为20 mg/L,初始pH=3,两电极间距离为2 cm,外加电流为50 mA,在非均相电芬顿系统中Fe_(3)O_(4)@CF电极对四环素的去除率可达96.7%;Fe_(3)O_(4)@CF电极可重复利用性良好;在非均相电芬顿系统降解四环素的过程中,·OH起主要作用,·O_(2)^(-)起辅助作用. 展开更多
关键词 四环素 Fe_(3)O_(4)@cf电极 非均相电芬顿体系 氧化还原反应
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专访CF40学术委员会主席蔡昉:老龄化可通过政策调整赢得改革红利
6
作者 谢玮 《中国经济周刊》 2023年第9期54-57,共4页
人口状况是一个国家最基本、最重要的国情。2023年1月,国家统计局公布人口数据显示,2022年末我国人口141175万人,相较上年末减少85万人。在中国经济转型升级的关键期,人口趋势变化也深刻地影响着中国经济的走势。中国经济面临哪些增长... 人口状况是一个国家最基本、最重要的国情。2023年1月,国家统计局公布人口数据显示,2022年末我国人口141175万人,相较上年末减少85万人。在中国经济转型升级的关键期,人口趋势变化也深刻地影响着中国经济的走势。中国经济面临哪些增长的挑战与机遇?直面焦点问题,CF40学术委员会主席、中国社科院国家高端智库首席专家蔡昉接受《中国经济周刊》记者专访表示,人口老龄化对经济社会的影响既有挑战和冲击,也有赢得改革红利的机遇。 展开更多
关键词 改革红利 国家统计局 蔡昉 数据显示 cf4 人口老龄化 趋势变化 中国经济转型升级
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Preparation of Flower-like Copper Foam Supported Co_(3)O_(4) Electrocatalyst and Its Hydrogen Evolution Performance
7
作者 李兆 CHENG Julong +2 位作者 WANG Yanan WU Kunyao CAO Jing 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期327-331,共5页
Flower-like copper foam Co_(3)O_(4) catalysts(Co_(3)O_(4)/CF) were prepared by hydrothermal method.The crystalline structure and microscopic morphology of the prepared samples were characterized by using X-ray diffrac... Flower-like copper foam Co_(3)O_(4) catalysts(Co_(3)O_(4)/CF) were prepared by hydrothermal method.The crystalline structure and microscopic morphology of the prepared samples were characterized by using X-ray diffractometer(XRD) and scanning electron microscope(SEM),and the electrochemical properties were investigated by an electrochemical workstation.The experimental results show that the Co_(3)O_(4) catalysts are successfully prepared on the foamed copper support by hydrothermal method,and the material’s morphology is mainly flower cluster.When the current density is 10 mA·cm^(-2),the overpotential value of the Co_(3)O_(4)/CF catalyst is 141 mV,lower than that of blank support.The electrochemical impedance(EIS) spectrum shows that the R_(ct )value of the Co_(3)O_(4)/CF catalyst decreases,and the Coulomb curves of double-layer show that the electrochemically active area of the Co_(3)O_(4)/CF catalyst efficiently increases compared with that of the blank support.Therefore,the as-obtained Co_(3)O_(4)/CF catalyst exhibits a good hydrogen evolution rate,showing great applicability potential in the catalytic electrolysis of water for hydrogen production. 展开更多
关键词 Co_(3)O_(4)/cf composite structure ELECTROCATALYSIS hydrogen evolution reaction
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色谱/质谱联用法测定NF_3中微量CF_4 被引量:13
8
作者 张洪彬 韦桂欢 周升如 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2001年第3期51-55,共5页
本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55~ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏... 本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55~ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏差 5.6%。 展开更多
关键词 色谱 质谱 选择离子监测 NF3 cf4 半导体 刻蚀 测定 联用技术 测定 刻蚀剂 电子工业 三氟化氮 四氟化碳
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c-C_4F_8/CF_4替代SF_6可行性的SST实验分析 被引量:44
9
作者 张刘春 肖登明 +1 位作者 张栋 吴变桃 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期14-18,共5页
SF6以其良好的灭弧性能和绝缘特性广泛应用于高压电力设备中,但是随着《京都议定书》的签订及其要求,寻找温室效应指数(GWP)低的SF6替代气体变得越来越迫切,本文用稳态汤生(SST)实验方法探索了c-C4F8/CF4混合气体替代SF6的可行性。文中... SF6以其良好的灭弧性能和绝缘特性广泛应用于高压电力设备中,但是随着《京都议定书》的签订及其要求,寻找温室效应指数(GWP)低的SF6替代气体变得越来越迫切,本文用稳态汤生(SST)实验方法探索了c-C4F8/CF4混合气体替代SF6的可行性。文中用SST实验方法测量了c-C4F8/CF4混合气体的电子崩电流I;基于本文改进的SST模型,用非线性最小二乘法拟合出c-C4F8/CF4混合气体的归一化放电参数(归一化电离系数α/N,归一化吸附系数η/N和归一化有效电离系数(α-η)/N);在(α-η)/N~E/N函数关系曲线中,令(α-η)/N=0,得到c-C4F8/CF4混合气体的耐电强度(E/N)lim;将c-C4F8/CF4的(E/N)lim及GWP与SF6的进行了比较,结果表明,c-C4F8/CF4在混合比大于50/50的情况下的(E/N)lim比纯净SF6的约高1.2%~32.6%,而GWP比纯净的SF6的约低63.6%~68.2%,因此c-C4F8/CF4替代SF6可行。 展开更多
关键词 c-C4F8/cf4 SF6稳态汤生 耐电强度 温室效应值
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两种典型电极下SF_6/CF_4混合气体击穿特性的实验研究 被引量:8
10
作者 张佳 林莘 +2 位作者 苏安 陈会利 李璐维 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期93-98,共6页
针对板-板、针-板两种典型电极形状在5mm间隙下SF6/CF4混合气体的击穿特性开展实验研究,分别测量SF6分压比为0%-100%、压强在0.1-0.6MPa下的气体击穿电压。研究压强、SF6分压比及电场不均匀度等因素对SF6/CF4混合气体绝缘性能的影... 针对板-板、针-板两种典型电极形状在5mm间隙下SF6/CF4混合气体的击穿特性开展实验研究,分别测量SF6分压比为0%-100%、压强在0.1-0.6MPa下的气体击穿电压。研究压强、SF6分压比及电场不均匀度等因素对SF6/CF4混合气体绝缘性能的影响。结果表明:0.6MPa的20%SF680%CF4气体在板-板电极下的击穿电压为138.89kV,是相同压强纯SF6气体击穿电压的64.8%。在针-板(针为负极性)电极下的击穿电压为58.4kV,是相同压强纯SF6气体击穿电压的74.8%。在压强一定时,SF6/CF4混合气体的击穿电压与SF6的分压比呈非线性增加,但随电场不均匀程度的增大,SF6分压比的变化对击穿电压的影响逐渐减弱。随SF6分压比的增大,混合气体的协同效应明显降低;在SF6分压比一定时。随压强的增大,混合气体的协同效应增强。 展开更多
关键词 SF6/cf4 混合气体 击穿电压 协同效应 分压比
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均匀电场下SF_6/CF_4流注放电数值模拟 被引量:5
11
作者 李辉 李鑫涛 +3 位作者 徐建源 蔡胜伟 陈江波 冯宇 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期122-127,共6页
文中从气体放电过程中微观粒子的运动特性出发,针对均匀电场中SF_6/CF_4混合气体的流注放电特性进行数值模拟。基于两项近似求解Boltzmann方程的方法,得到不同压强、混合比下SF_6/CF_4的电子能量分布(electron energy distribution func... 文中从气体放电过程中微观粒子的运动特性出发,针对均匀电场中SF_6/CF_4混合气体的流注放电特性进行数值模拟。基于两项近似求解Boltzmann方程的方法,得到不同压强、混合比下SF_6/CF_4的电子能量分布(electron energy distribution function,EEDF)。根据EEDF计算折合电离系数和折合吸附系数,将该放电参数引入流体模型,以气体压强0.1 MPa、间隙距离5 mm为例模拟SF_6/CF_4的流注放电过程,研究放电过程中空间电子数密度随时间和空间的变化规律。结果表明:混合比一定时α/N随E/N的增大显著提高,E/N一定时混合气体中CF_4体积分数越高α/N值越大;随着电子崩向前发展,崩头的电子迅速增长,放电5 ns时电子数密度峰值达到9.7×10^(12)m^(-3),当间隙完全击穿,电极间形成等离子体导电通道,此时空间电子数密度分布基本均匀,电子数密度达到10^(17)数量级。 展开更多
关键词 SF6/cf4 流注放电 BOLTZMANN方程 流体模型 数值模拟
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SF_6/CF_4混合气体的饱和蒸气压与绝缘特性计算 被引量:12
12
作者 田雨 张晗 赵虎 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期765-771,共7页
为分析SF_6/CF_4混合气体的饱和蒸气压与绝缘特性,进而探讨SF_6/CF_4混合气体替代SF_6气体应用于高寒地区的可行性。首先,采用全局最优化算法拟合得到了SF_6和CF_4的Antoine特性常数,然后通过Antoine蒸汽压方程和汽液平衡基本定律相结合... 为分析SF_6/CF_4混合气体的饱和蒸气压与绝缘特性,进而探讨SF_6/CF_4混合气体替代SF_6气体应用于高寒地区的可行性。首先,采用全局最优化算法拟合得到了SF_6和CF_4的Antoine特性常数,然后通过Antoine蒸汽压方程和汽液平衡基本定律相结合,计算了SF_6/CF_4混合气体的饱和蒸气压特性。然后,基于Boltzmann解析法获得了SF_6/CF_4混合气体的临界击穿场强数据。最后,综合SF_6/CF_4混合气体的饱和蒸气压特性与临界击穿场强数据,讨论了SF_6/CF_4混合气体的绝缘特性及在高寒地区应用的可行性。结果表明:在低温条件下,SF_6/CF_4混合气体所允许的压力明显高于纯SF_6,从而可以获得较纯SF_6更高的绝缘强度,如–40℃时摩尔分数50%SF_6/50%CF_4混合气体和SF_6气体的饱和蒸气压分别约为0.64 MPa和0.35 MPa,相应压力下的临界击穿场强分别约为43.5 k V/mm和31.34 k V/mm,即50%SF_6/50%CF_4混合气体的绝缘强度可以达到纯SF_6气体的1.4倍,说明SF_6/CF_4混合气体采用恰当的混合比例和充气压力能够有效解决SF_6在高寒地区的液化问题。 展开更多
关键词 SF6/cf4 替代气体 饱和蒸气压 绝缘特性 BOLTZMANN方程
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CF_4低温等离子体处理对羊毛织物性能的影响 被引量:8
13
作者 李永强 刘今强 邵建中 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期69-73,共5页
为了改善羊毛织物染色性能,运用CF4低温等离子体对羊毛织物进行改性,探讨改性后织物理化性能的变化。应用SEM研究等离子体处理对织物表面形貌的影响,采用热重分析表征改性后热稳定性的变化,应用表面元素分析及红外光谱表征改性后织物表... 为了改善羊毛织物染色性能,运用CF4低温等离子体对羊毛织物进行改性,探讨改性后织物理化性能的变化。应用SEM研究等离子体处理对织物表面形貌的影响,采用热重分析表征改性后热稳定性的变化,应用表面元素分析及红外光谱表征改性后织物表面分子结构的变化。研究结果表明:处理后织物的表面形态和化学性能都发生了变化,短时间处理能提高织物的润湿性能,延长处理时间织物表面引入了含氟基团(C—F),可赋予织物表面较好的拒水拒油效果,改性后织物的热稳定性有所提高,染色性能得到改善。 展开更多
关键词 cf4低温等离子体 表面改性 羊毛织物 润湿性 热稳定性 染色性
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开断电弧下混合绝缘气体(SF_6+CF_4)分解特性试验研究 被引量:4
14
作者 马凤翔 于坤 +5 位作者 程伟 袁小芳 苏镇西 祁炯 修士新 颜湘莲 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期116-121,127,共7页
在高纬度低温地区,由于SF_6气体出现液化,可能导致SF_6开关设备发生绝缘击穿或开断失败等事故,由此该类地区大多采用混合气体(SF_6+CF_4)开关设备。气体分解产物检测是目前设备故障定位和缺陷诊断的重要手段。为此试验以40.5 k V混合气... 在高纬度低温地区,由于SF_6气体出现液化,可能导致SF_6开关设备发生绝缘击穿或开断失败等事故,由此该类地区大多采用混合气体(SF_6+CF_4)开关设备。气体分解产物检测是目前设备故障定位和缺陷诊断的重要手段。为此试验以40.5 k V混合气体断路器为试品,开展混合气体(SF_6+CF_4)不同燃弧能量下的气体分解产物试验,通过与纯SF_6气体的比较分析,探讨混合气体(SF_6+CF_4)的分解特性。研究表明:开断电弧下,SF_6+CF_4混合气体的主要分解产物为CO、CO_2、SO_2、SOF_2;分解产物各组分含量均随着燃弧能量的增加而增加;在相同的燃弧能量下,SF_6+CF_4混合气体比纯SF_6气体产生更多的碳氧化合物(CO+CO_2),而硫化物(SOF_2+SO_2)的生产量较少。 展开更多
关键词 开断电弧 SF6+cf4混合气体 分解产物 气体分析
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PMMA人工晶状体表面的CF4/O2等离子体修饰 被引量:3
15
作者 张丽华 吴迪 +3 位作者 陈亚芍 李雪娇 赵宝明 黄长征 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1854-1858,共5页
为了改善聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)人工晶状体的生物相容性和透光性,采用CF4/O2等离子体技术修饰其表面.通过衰减全反射红外光谱(ATR-FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)、静态接触角(CA)测定、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见近红外光谱(UV-Vis... 为了改善聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)人工晶状体的生物相容性和透光性,采用CF4/O2等离子体技术修饰其表面.通过衰减全反射红外光谱(ATR-FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)、静态接触角(CA)测定、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见近红外光谱(UV-Vis)等方法进行表征,结果表明,经CF4/O2等离子体处理后,PMMA表面的含氟和含氧基团增加,其表面的亲水性增强,生物相容性改善,紫外光的隔离效率增大.因此,通过CF4/O2等离子体修饰能够有效地改善PMMA人工晶状体的性质. 展开更多
关键词 PMMA人工晶状体 cf4/O2 等离子体处理 生物相容性 透光性
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介质阻挡放电等离子体降解CF_4 被引量:2
16
作者 沈燕 叶招莲 +2 位作者 陈琪 侯惠奇 张仁熙 《环境科学研究》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期531-534,共4页
采用介质阻挡放电(DBD)等离子体技术降解强温室气体CF4,考察了外加气体氧气(O2)、空气、氩气(Ar)对DBD降解CF4的影响.结果表明:随着放电时间的延长,CF4降解率升高.3种外加气体条件下,CF4的降解率依次为Ar>空气>O2.外施电压1 000 V... 采用介质阻挡放电(DBD)等离子体技术降解强温室气体CF4,考察了外加气体氧气(O2)、空气、氩气(Ar)对DBD降解CF4的影响.结果表明:随着放电时间的延长,CF4降解率升高.3种外加气体条件下,CF4的降解率依次为Ar>空气>O2.外施电压1 000 V,Ar条件下放电4 min,CF4降解率可达98.2%,而O2条件下CF4降解率只有36.9%.水汽对CF4降解有一定抑制作用.红外光谱检测结果表明,降解产物主要为CO2,CO和COF2. 展开更多
关键词 cf4 介质阻挡放电 外加气体 降解
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CF_4,CH_4制备氟化非晶碳薄膜工艺研究 被引量:8
17
作者 刘雄飞 肖剑荣 李幼真 《真空》 CAS 北大核心 2004年第1期22-25,共4页
以CF4和CH4为源气体,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a-C∶F)薄膜。发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系,薄膜中氟的存在是导致薄膜具有紫外吸收特性的根本原因;用傅立叶变换红外光谱(... 以CF4和CH4为源气体,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a-C∶F)薄膜。发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系,薄膜中氟的存在是导致薄膜具有紫外吸收特性的根本原因;用傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析可知薄膜中有C-F基团的存在,使得薄膜的介电常数降低;合理控制沉积条件,可获得理想的电介质薄膜。 展开更多
关键词 cf4 CH4 氟化非晶碳薄膜 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 沉积速率 射频功率 介电常数
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220 kV SF_6+CF_4断路器异响缺陷的诊断试验及其解体分析 被引量:2
18
作者 王琼 车传强 +3 位作者 杜鑫 侯宇嘉 温冰 陈浩 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期141-146,共6页
借助超声波和分解气体等局部放电的带电检测手段,可以实现电气设备的故障诊断和状态评价。为探究同一间隔两台断路器相继出现异响缺陷的原因,文中利用电气试验、带电检测和设备拆解的方法,对比了异响相和该间隔正常运行相之间的差异;借... 借助超声波和分解气体等局部放电的带电检测手段,可以实现电气设备的故障诊断和状态评价。为探究同一间隔两台断路器相继出现异响缺陷的原因,文中利用电气试验、带电检测和设备拆解的方法,对比了异响相和该间隔正常运行相之间的差异;借助能谱检测手段测试了异响断路器弧触头和喷口所附着固体分解产物的元素成分。综合各项诊断试验的结果,判定安装或运输不当是造成断路器灭弧室悬浮电位缺陷的原因。基于缺陷成因,明确了柱式断路器局部放电超声波带电检测和固体分解产物元素能谱分析等方法的可行性,并提出了相关建议。 展开更多
关键词 断路器 异响 超声 分解产物 SF6+cf4 局部放电 粉末
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CF_4射频等离子体对硅橡胶绝缘子表面的疏水改性 被引量:7
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作者 高松华 周克省 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期101-104,109,共5页
采用CF4射频感性和容性2种耦合等离子体分别对绝缘用硅橡胶试样表面进行疏水改性。利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)分析试样表面微观形貌和表面化学成分变化,采用静态接触角表征试样表面润湿性的变化。结果表明,2种处理工... 采用CF4射频感性和容性2种耦合等离子体分别对绝缘用硅橡胶试样表面进行疏水改性。利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)分析试样表面微观形貌和表面化学成分变化,采用静态接触角表征试样表面润湿性的变化。结果表明,2种处理工艺相比,容性耦合等离子体工艺处理后试样表面的Si-F与C-F物质的量比与表面粗糙度的增加量都大于感性耦合等离子体工艺处理试样;CF4射频等离子体对硅橡胶试样表面处理过程中,氟化、剥离和刻蚀的作用同时存在且互相竞争,致使在试样表面引入含氟基团的同时改变了试样的表面微观形貌;试样表面含氟基团的引入和表面粗糙度的增加之间的协同作用是改性后硅橡胶表面的疏水性能得到大幅提高的主要原因。 展开更多
关键词 cf4射频等离子体 硅橡胶绝缘子 表面 疏水改性 原子力显微镜 X射线光电子能谱
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CF4在Al2O3上的分解反应——最佳反应温度探索 被引量:1
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作者 牛宪军 徐秀峰 范杰 《洁净煤技术》 CAS 2009年第2期67-69,103,共4页
以程序升温及恒温反应方式研究了CF4在Al2O3上的分解反应,测试了CF4的转化率,用XRD、比表面积测试、SEM-EDS等技术对反应前后的Al2O3进行了结构表征。结果表明:程序升温反应至700℃时CF4转化率达到最高;850℃恒温反应时γ-Al2O3的... 以程序升温及恒温反应方式研究了CF4在Al2O3上的分解反应,测试了CF4的转化率,用XRD、比表面积测试、SEM-EDS等技术对反应前后的Al2O3进行了结构表征。结果表明:程序升温反应至700℃时CF4转化率达到最高;850℃恒温反应时γ-Al2O3的结构稳定性和反应活性较高,900℃反应时部分γ-Al2O3转变成了低活性的α-Al2O3导致比表面积和CF4转化率急剧下降。850℃是γ-Al2O3与CF4反应的最佳温度。 展开更多
关键词 cf4分解反应 反应温度 AL2O3
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