大圆片批生产中的在线检测工艺及设备

立足ＩＣ生产线管理工程的角度，系统地分析和讨论了由加工设备产生的粒子对器件成品率的影响及采用先进的检测手段，控制污染粒子，提高成品率的有效途径。并以莫托罗拉公司的ＭＯＳ１２生产线在线片子检测设备的选择为例，比较了三种主要片子检测设备的缺陷检出特性，讨论了确定快速数据分析和问题诊断设备及数据网络的基本情况，最后给出了在ＭＯＳ１２生产线新运行的成品率提高的“金字塔”计划。