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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（上） 被引量：14
1
作者 李汉广 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 1994年第4期59-62,共4页
介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。
关键词 难熔金属 氟化物 化学气相沉积 冶炼
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