基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统

分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式。该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地实现三坐标测量机单轴和测量空间内测量不确定度的检定。

微风速标准装置的建立和热线风速仪校准方法的实验研究

中国计量科学研究院建立了微风速标准装置,基于该标准装置对热线风速仪的校准展开了实验研究。微风速标准装置基于相对法测量原理,实验通过气浮滑车搭载热线风速仪运动,由激光干涉仪测得的距离对时间微分得到标准速度,通过这种方式实现了热线风速仪的校准。滑车的运动速度可以溯源到国家计量院的时间和长度基准;此外,根据热线风速仪传感器的理论模型计算得到了热线风速仪的静态特性方程,比较理论模型与校准结果,发现二者具有良好的一致性。实验结果和不确定度分析表明:微风速标准装置的扩展不确定度U=0.82%(k=2);热线风速仪校准结果的扩展不确定度U=2.42%(k=2)。

坐标测量机双频激光定标仪

分析了现有坐标测量机精度检具的局限性，提出了坐标测量机双频激光定标仪的设计方案，解决了在一次安装中以激光波长为长度基准检定坐标测量机单轴和空间示值精度的难题。

基于激光干涉的位移传感器自动化校准装置

为提高位移传感器的校准准确度及效率,通过硬件系统组建及软件系统编制,研制了位移传感器自动校准装置。采用激光干涉仪作为长度基准,通过两级驱动的定位控制方式,可实现nm量级的高分辨力准确定位;综合考虑固有因素、环境因素及安装因素,进行了测量不确定度分析,分析结果表明其测量不确定度为U=(0.1+2L)μm;通过选用不同类型的位移传感器,依据校准规范进行了试验分析,验证了校准装置的合理性及有效性。

基于坐标测量机的步距规激光校准系统

该文介绍坐标测量机与激光干涉仪对步距规进行校准的测量原理和测量过程,测量结果与DKD证书进行对比,并分析测量结果的不确定度。

基于激光干涉仪的引伸计标定器示值校准系统设计

为提高引伸计标定器的校准效率,根据引伸计标定器的结构特点及工作原理,设计了一种基于激光干涉仪的引伸计标定器示值校准系统,对校准系统的结构原理及工作流程进行了介绍,并搭建了激光干涉镜和反射镜集成于一体的示值校准系统。采用该系统对引伸计标定器的示值进行了校准,对校准结果进行了不确定度评定,并使用量块对评定的不确定度结果进行了验证。结果表明,该系统具有结构简单、操作方便、性能稳定、效率较高的特点,能够满足引伸计标定器示值的计量要求,可为配备与构建更高精度、更高效率等级的引伸计标定器示值的校准标准器具提供参考。

线纹尺测量方法研究

使用传统方法对小尺寸线纹尺的校准具有速度慢、自动化程度低的缺点;对大尺寸线纹尺的校准,安装繁琐,精度不易保证。针对这些问题,提出了基于光学三坐标测量小尺寸线纹尺,基于激光干涉比长仪测量大尺寸线纹尺的方法。分别对两种测量方法的测量原理、过程进行了研究,并对校准结果进行了不确定度的分析与评定,通过与国家院的数据比对对测量结果进行了验证。两种方法的结合,既保证了测量的精度、效率,又扩展了测量的范围,保证测量尺寸的完整性,对实际工作的开展具有指导意义。

拉杆式线位移传感器校准系统

介绍了一种拉杆式线位移传感器校准系统,该系统以激光干涉仪作为长度标准器,配合万工显等设备完成校准工作。经实验验证,该系统满足该类传感器的校准需求。

炮管内径测量仪校准装置研究及不确定度分析

针对炮管内径测量仪的校准溯源问题,阐述了炮管内径测量仪的结构原理,设计了一种具有双动测头的校准装置,建立了测量模型,分析了影响校准结果的主要因素,并对各因素的影响程度进行了定量评估,最后评定出测量不确定度。结果表明,校准装置的不确定度为0.22μm,测径仪校准结果的不确定度为3.0μm,能够满足内径测量仪的校准溯源要求,并实现了自动化校准。