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基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计 被引量:3
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作者 秦明 黄庆安 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期569-571,共3页
提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ,工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ,显示... 提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ,工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ,显示该多晶硅二极管具有负的电压温度系数 .其值约为 - 1 .8mV/K ,非常接近单晶硅上PN结的电压温度系数 - 2mV/K .采用CMOS工艺试制了由 8个横向多晶硅二极管组成的风速计结构 。 展开更多
关键词 cmos兼容热风速计 横向多晶硅二极管 风速 风向 结构 制备
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新型指纹传感器
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《今日电子》 2007年第9期68-68,共1页
AT77C102B完全兼容其前代产品AT77C101B,但传感灵敏度却是前身的两倍。利用高性能的热技术,AT77C102B FingerChip传感器在硅片上使用改善的热感层。这一改善提高了该传感器所承受的最高温度,从而实现新的连接能力。FingerChip产品系... AT77C102B完全兼容其前代产品AT77C101B,但传感灵敏度却是前身的两倍。利用高性能的热技术,AT77C102B FingerChip传感器在硅片上使用改善的热感层。这一改善提高了该传感器所承受的最高温度,从而实现新的连接能力。FingerChip产品系列是使用触击传感器工艺的高性能硅热技术CMOS指纹传感器,可用于嵌入式应用。即使遇到潮湿、干燥或有磨损的指纹, 展开更多
关键词 指纹传感器 传感灵敏度 IP传感器 嵌入式应用 最高温度 cmos 技术 兼容
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