氢化锆表面CO_2反应层XPS分析

通过X射线光电子能谱分析了经过700℃加热前后的用CO2反应法制备的氢化锆表面反应层中一定深度(100nm、200nm和300nm)的C、O和Zr的化学态,并用相对灵敏度因子法对X射线光电子能谱分析结果进行了计算分析。结果表明:700℃加热前的膜层中含有C、O和Zr以及C—H键和—OH键;经过700℃加热以后,氢化锆表面氢渗透阻挡层中不仅有C—H键和—OH键,而且还出现了—COOH,与H结合的C、O量增大。