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磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展 被引量:9
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作者 陈松 耿永红 +7 位作者 王传军 闻明 张俊敏 毕珺 李艳琼 谭志龙 张昆华 管伟明 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期74-78,共5页
目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。
关键词 金属材料 粉末冶金 cocrpt 溅射靶材 熔铸法 质量控制
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Cr和CrT底层对CoCrPt薄膜介质的磁和结构性能的影响(英文) 被引量:2
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作者 李佐宜 游龙 +4 位作者 宋敏 杨晓非 李震 程晓敏 林更琪 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1517-1519,共3页
为了改善记录介质的磁性能,研究了溅射Cr和CrTi底层对Co68Cr17Pt15性能的影响。发现在玻璃盘基和CoCrPt磁性层之间引入100nm厚的Cr底层,可使介质矫顽力从56kA·m-1增加到127kA·m-1,同时剩磁比和矫顽力矩形比分别增加66%和74%... 为了改善记录介质的磁性能,研究了溅射Cr和CrTi底层对Co68Cr17Pt15性能的影响。发现在玻璃盘基和CoCrPt磁性层之间引入100nm厚的Cr底层,可使介质矫顽力从56kA·m-1增加到127kA·m-1,同时剩磁比和矫顽力矩形比分别增加66%和74%。同时还发现Cr底层厚度对介质磁性能有较大影响。考虑到减小Cr底层和磁性层的晶格匹配,在Cr底层里添加Ti元素,当Ti原子分数达到1.5%时,即使在室温下溅射,薄膜也有好的面内磁滞回线,此时矫顽力可达到160kA·m-1。X射线衍射表明在介质中引入Cr和CrTi底层,由于薄膜能更好的沿着垂直于易磁化轴方向生长而使介质性能提高。 展开更多
关键词 底层 磁性能 cocrpt薄膜
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Ru籽晶层对CoCrPt-SiO_2垂直记录层形貌及结构的影响 被引量:3
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作者 张俊敏 王传军 +4 位作者 沈月 谭志龙 毕珺 闻明 周砚田 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期23-28,共6页
采用磁控溅射方法,制备了以不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析Ru薄膜的结构和形貌,并研究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明,CoCrPt-SiO2... 采用磁控溅射方法,制备了以不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析Ru薄膜的结构和形貌,并研究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明,CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着Ru籽晶层厚度的增加而增加,薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于CoCrPt-SiO2记录层晶粒的优化,厚度为70nm的Ru籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离,从而提高了磁记录性能。 展开更多
关键词 金属材料 垂直磁记录介质 cocrpt-SiO2 Ru籽晶层 薄膜结构 微观形貌
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GMR读磁头用面内取向CoCrPt永磁薄膜的结构与性能 被引量:2
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作者 李松田 刘曦 +2 位作者 史文魁 曹江伟 魏福林 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2008年第5期16-18,共3页
用磁控溅射的方法在Cr1-xWx衬底上制备了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向的CoCrPt合金薄膜。研究了Cr1-xWx衬底(200)织构与W含量之间的关系,沉积在CrW衬底上的CoCrPt合金薄膜微结构及磁性能,以及CoCr中间层的添加对CoCrP... 用磁控溅射的方法在Cr1-xWx衬底上制备了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向的CoCrPt合金薄膜。研究了Cr1-xWx衬底(200)织构与W含量之间的关系,沉积在CrW衬底上的CoCrPt合金薄膜微结构及磁性能,以及CoCr中间层的添加对CoCrPt合金薄膜生长出面内取向的(1120)织构的影响及磁性能的影响。实验结果表明,CoCr中间层的引入对CoCrPt合金薄膜易磁化轴的面内取向起到了十分关键的作用。 展开更多
关键词 cocrpt薄膜 织构 磁性能
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Investigation of fabrication and hetero-epitaxy relationship of CoCrPt thin films grown on CrW underlayer
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作者 李松田 刘曦 +3 位作者 史文魁 曹江伟 魏福林 韦丹 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第4期1643-1646,共4页
This paper reports that longitudinally oriented CoCrPt thin films with Crs5W15 underlayer and CoCr intermediate layer for use of giant magnetoresistance heads were fabricated by magnetron sputtering. Without CoCr inte... This paper reports that longitudinally oriented CoCrPt thin films with Crs5W15 underlayer and CoCr intermediate layer for use of giant magnetoresistance heads were fabricated by magnetron sputtering. Without CoCr intermediate layer, CoCrPt layer deposited directly on Crs5W15 underlayer which has a dominant (200) texture exhibits unexpected (101l) texture. After introducing CoCr intermediate layer, the CoCrPt layer shifts into (1120) texture. This article studies the crystallographic hetero-epitaxy relationship between magnetic layer and underlayer in order to understand the appearance of CoCrPt (1011) texture on (200) textured Cr underlayer and the influence of CoCr intermediate layer on the inducement of CoCrPt (1120) texture. The CoCr intermediate layer plays a crucial role in controlling the microstructure and consequently the magnetic properties of the overlying magnetic layer. 展开更多
关键词 cocrpt thin films hetero-epitaxy texture
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Effect of Ag(Ti) underlayers on CoCrPt thin film media
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作者 高凤菊 孙会元 +6 位作者 封顺珍 于红云 贾连芝 潘成福 周鸿娟 聂向富 孙玉平 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第2期400-403,共4页
The nanocomposite films of CoCrPt/Ag were prepared by DC and RF magnetron sputtering onto glass substrates and subsequent annealing. Magnetic and structure properties of these films have been investigated in detail. V... The nanocomposite films of CoCrPt/Ag were prepared by DC and RF magnetron sputtering onto glass substrates and subsequent annealing. Magnetic and structure properties of these films have been investigated in detail. Vibrating sample magnetometer(VSM), X-ray diffraction(XRD) and scanning probe microscope (SPM) were applied to study the magnetic properties and microstructure. Magnetic properties such as coercivity(H_c) are strongly dependent on the thickness of Ag and the annealing temperature. When the thickness of Ag underlayer is 20 nm, the coercivity reaches the maximum of 2 200×79.578 A/m. The XRD patterns show that the CoCrPt films are hcp structure lying on the film plane. The SPM images show that small and uniform magnetic grains are isolated by Ag. The effect of Ti underlayer on the magnetic properties is also investigated. These features make CoCrPt/Ag nanocomposite films very attractive for the next-generation of high-density recording. 展开更多
关键词 纳米复合薄膜材料 磁电管溅射 矫顽磁力
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CoCrPt/Ti/NiAl垂直磁记录介质的微结构
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作者 许孙曲 《金属材料研究》 2002年第4期28-28,共1页
关键词 cocrpt/Ti/NiAl 垂直磁记录介质 微结构
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