CPU干刻清洗工艺在金属刻蚀去胶腔上的评价及应用

本文以CPU金属刻蚀去胶腔为背景，简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中的问题，展开讨论。通过实际案例分析．展示了CPU干刻清洗工艺的应用价值。