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WO_3-SiO_2纳米复合薄膜的制备与气致变色效应研究 被引量:7
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作者 杜开放 吴广明 +1 位作者 陈宁 沈军 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1242-1246,共5页
以钨粉和正硅酸乙酯为原料 ,采用溶胶凝胶技术和旋转镀膜方法 ,在玻璃衬底上制备出了气致变色WO3 SiO2 纳米复合薄膜 .采用椭偏仪、场发射扫描电子显微镜 (FE SEM )、红外光谱仪以及可见光分光光度计等对不同温度热处理的WO3 SiO2 复... 以钨粉和正硅酸乙酯为原料 ,采用溶胶凝胶技术和旋转镀膜方法 ,在玻璃衬底上制备出了气致变色WO3 SiO2 纳米复合薄膜 .采用椭偏仪、场发射扫描电子显微镜 (FE SEM )、红外光谱仪以及可见光分光光度计等对不同温度热处理的WO3 SiO2 复合薄膜及WO3 薄膜的特性进行了分析 .研究结果表明 :掺杂SiO2 会使WO3 薄膜厚度增大 ,折射率下降 ,表面平整度降低 ,颗粒尺寸增大 ;经高温热处理的WO3 SiO2 展开更多
关键词 溶胶-凝胶技术 气致变色 wo3 wo3-Si02 纳米复合薄膜
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纳米结构WO3/TiO2复合薄膜的制备及应用进展 被引量:6
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作者 黄奕博 王美涵 +3 位作者 文哲 马佳玉 张钧 侯朝霞 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第1期144-151,共8页
WO3/TiO2复合薄膜具有许多特性,是一种优良的光电功能薄膜材料。利用先进的制膜技术获得性能优异的纳米结构WO3/TiO2复合薄膜,对提高光电器件的性能及应用具有重要意义。本文着重介绍了溶胶-凝胶法、水热法、电沉积法和磁控溅射法制备... WO3/TiO2复合薄膜具有许多特性,是一种优良的光电功能薄膜材料。利用先进的制膜技术获得性能优异的纳米结构WO3/TiO2复合薄膜,对提高光电器件的性能及应用具有重要意义。本文着重介绍了溶胶-凝胶法、水热法、电沉积法和磁控溅射法制备纳米结构WO3/TiO2复合薄膜。总结了纳米结构WO3/TiO2复合薄膜在电致变色智能窗、光催化技术、湿度传感器上的应用。最后,针对纳米结构WO3/TiO2复合薄膜现状提出了未来发展趋势。 展开更多
关键词 wo3/TiO2复合薄膜 纳米结构 电致变色 光催化性能 湿度传感器
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SiO2纳米复合稳定WO3薄膜气致变色特性研究 被引量:1
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作者 梁田 吴广明 +4 位作者 高国华 吴建栋 张增海 沈军 周斌 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第22期50-54,共5页
以钨粉为主要原料,采用过氧化法及提拉技术制备WO3薄膜,通过SiO2纳米颗粒复合改性提高了WO3薄膜的气致变色稳定性。测试并研究了SiO2复合掺杂对溶胶颗粒分布、气致变色稳定性等的影响,通过测试薄膜循环中红外振动吸收的演变,深入研究了S... 以钨粉为主要原料,采用过氧化法及提拉技术制备WO3薄膜,通过SiO2纳米颗粒复合改性提高了WO3薄膜的气致变色稳定性。测试并研究了SiO2复合掺杂对溶胶颗粒分布、气致变色稳定性等的影响,通过测试薄膜循环中红外振动吸收的演变,深入研究了SiO2纳米复合对WO3薄膜气致变色性能影响的内在机制。研究结果表明,SiO2的掺杂抑制了WO3薄膜内的共角聚合,将薄膜的致/褪色循环次数由20次提高到500次以上,WO3-SiO2复合薄膜的稳定网络结构是提高其气致变色循环稳定性的主要原因。 展开更多
关键词 气致变色 循环稳定性 wo3-SiO2复合薄膜
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纳米多孔WO_3薄膜的溶胶-凝胶制备与热处理 被引量:12
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作者 吴广明 傅亚翔 +1 位作者 马建华 沈军 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期370-374,378,共6页
以金属W粉为无机原料 ,采用溶胶 -凝胶技术 ,结合浸渍镀膜方法 ,制备出纳米多孔WO3薄膜 ,研究了热处理对薄膜性能的影响 .采用原子力显微镜、红外光谱仪、可见光分光光度计、椭偏仪等仪器测量了薄膜的特性 .实验表明 :热处理使得薄膜致... 以金属W粉为无机原料 ,采用溶胶 -凝胶技术 ,结合浸渍镀膜方法 ,制备出纳米多孔WO3薄膜 ,研究了热处理对薄膜性能的影响 .采用原子力显微镜、红外光谱仪、可见光分光光度计、椭偏仪等仪器测量了薄膜的特性 .实验表明 :热处理使得薄膜致密 ,折射率增大 (从 1.77增加至 2 .0 3 ) ,厚度减小 ,WO3颗粒增大 ;WO3结构发生变化 ,桥键WOW吸收逐渐减弱 ,且向低波数方向移动 ,共角WOW键吸收越来越强 .这些变化归因于热处理导致的WO3颗粒形状、团聚状态的变化以及应力键的产生 . 展开更多
关键词 溶胶-凝胶技术 wo3薄膜 热处理 纳米多孔结构 氧化钨薄膜 致色性功能材料
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WO_3纳米薄膜的制备与气致变色特性研究 被引量:5
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作者 吴广明 杜开放 +2 位作者 陈宁 沈军 周斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期707-710,共4页
 报道了以钨粉为原料,采用溶胶 凝胶技术和旋转镀膜方法,制备出了气致变色WO3纳米薄膜。采用椭偏仪、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE SEM)、红外光谱仪以及可见光分光光度计等方法分析了薄膜的特性。研究结果表明热处理使...  报道了以钨粉为原料,采用溶胶 凝胶技术和旋转镀膜方法,制备出了气致变色WO3纳米薄膜。采用椭偏仪、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE SEM)、红外光谱仪以及可见光分光光度计等方法分析了薄膜的特性。研究结果表明热处理使得薄膜致密,折射率增大,厚度减小,薄膜结晶;过氧键消失,WO3微结构发生了变化,共角W—O—W键吸收越来越强,且向高波数方向移动。这些变化归因于热处理导致的WO3颗粒形状、团聚状态的变化以及应变键的产生。WO3纳米薄膜具有很好的气致变色特性,致色与退色态透射率变化超过60%,变色起因于H扩散到WO3薄膜中形成的小极化子吸收。 展开更多
关键词 wo3 纳米薄膜 制备 气致变色 溶胶-凝胶 旋转镀膜
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核-壳结构Cu/Al微纳米复合材料与WO_3的热反应性能 被引量:5
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作者 王毅 姜炜 +4 位作者 程志鹏 张先锋 安崇伟 宋小兰 李凤生 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1753-1759,共7页
采用置换法通过对溶液浓度的控制实现了纳米Cu颗粒在微米Al粉表面定量、快速地化学沉积,制备出核一壳结构的Cu/Al微纳米复合粒子,并用SEM、EDS和XRD技术进行表征.在此基础上,利用DSC分析了Cu/ Al-WO_3的热反应性能,对比了Al-WO_3与Cu/Al... 采用置换法通过对溶液浓度的控制实现了纳米Cu颗粒在微米Al粉表面定量、快速地化学沉积,制备出核一壳结构的Cu/Al微纳米复合粒子,并用SEM、EDS和XRD技术进行表征.在此基础上,利用DSC分析了Cu/ Al-WO_3的热反应性能,对比了Al-WO_3与Cu/Al-WO_3在不同化学配比下的热反应历程,同时分别提出了其相应的反应机理.实验结果表明,Cu/Al微纳米复合材料与WO_3的热反应活性明显高于传统微米级Al粉,并且在还原剂Cu/Al轻微过量时该热反应达到最佳效果.通过对Al粉表面改性,热反应的活化能降低了68.185 kJ·mol^(-1). 展开更多
关键词 纳米 Al粉 wo3 纳米复合材料 铝热反应 动力学
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纳米WO_3薄膜的制备方法及其研究现状 被引量:9
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作者 韩海涛 尚福亮 +1 位作者 杨海涛 高玲 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2006年第2期48-51,57,共5页
在简要介绍纳米WO3薄膜材料研究意义的基础上,综述了纳米WO3薄膜的主要制备方法并对其优缺点进行了评价。概述了纳米WO3的研究和应用现状,并对其发展趋势进行了分析。
关键词 纳米wo3薄膜 制备方法 电致变色 气致变色 研究进展
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一种具有高效光致变色性能的WO_3/ZnO纳米粒子复合体系 被引量:5
8
作者 解仁国 庄家骐 +4 位作者 王凌凌 杨文胜 王德军 李铁津 姚建年 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期2086-2088,共3页
The colloids of ZnO and WO 3 were synthesized and ZnO colloid with different mass fractions was added into the WO 3 colloid to get WO 3/ZnO composite colloids. The experimental results indicate that the UV-light color... The colloids of ZnO and WO 3 were synthesized and ZnO colloid with different mass fractions was added into the WO 3 colloid to get WO 3/ZnO composite colloids. The experimental results indicate that the UV-light coloration of WO 3 nanoparticles could be improved greatly after the addition of ZnO. When the molar ratio of ZnO to WO 3 is about 1∶100, the magnitude of the difference of absorbance(ΔOD) at 900 nm after and before the coloration for WO 3/ZnO colloids is as about 135 times as that of WO 3 colloids. The surface photovoltaic spectra show that the state density of the surface state of WO 3 increases greatly after the addition of ZnO, thus, under the UV-light irradiation more electrons from ZnO nanoparticles can be captured in the surface state and those electrons can be excited to a higher energy level, resulting in the improved coloration. 展开更多
关键词 光致变色材料 wo3/ZnO 纳米粒子 复合体系 三氧化钨 氧化锌 表面光电压谱
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纳米WO_3薄膜 被引量:10
9
作者 李小芳 张亚利 孙典亭 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期56-59,共4页
综述了纳米WO_3,薄膜的制备、表征及其在电致变色、气敏材料、共催化剂等方面的应用和作用原理。
关键词 纳米wo3薄膜 制备工艺 真空蒸发法 溅射法 阳极氧化法 电沉积法
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还原温度对纳米FeCo/Al_2O_3复合薄膜结构和磁性的影响 被引量:5
10
作者 刘梅 沈维霞 +2 位作者 刘宇 马丹丹 李海波 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期24-26,30,共4页
采用溶胶–凝胶旋涂法和H2还原工艺制备了纳米FeCo/Al2O3复合薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜及振动样品磁强计研究了还原温度对薄膜结构、表面形貌和磁性的影响。结果表明,随着还原温度的升高,薄膜中FeCo的晶粒... 采用溶胶–凝胶旋涂法和H2还原工艺制备了纳米FeCo/Al2O3复合薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜及振动样品磁强计研究了还原温度对薄膜结构、表面形貌和磁性的影响。结果表明,随着还原温度的升高,薄膜中FeCo的晶粒尺寸和晶格常数变大,薄膜的饱和磁化强度(Ms)也同时增大,其矫顽力(Hc)则先增大,后减小。薄膜Ms的变化与FeCo晶粒的尺寸和表面效应有关,Hc的变化则来源于FeCo的单畴结构并受磁各向异性影响。还原温度为900℃的薄膜表现出较好的软磁特性,其Ms及Hc分别为436.7 kA.m–1和34.6 kA.m–1。 展开更多
关键词 溶胶–凝胶旋涂法 FeCo/Al_2O_3 纳米复合薄膜 结构 磁性
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介孔硅基WO_3纳米颗粒薄膜室温气敏元件特性(英文) 被引量:2
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作者 孙凤云 胡明 +2 位作者 孙鹏 刘博 张洁 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第2期156-160,共5页
采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅片表面制备介孔硅层(meso-PSlayer),然后用对向靶磁控反应溅射法在介孔硅表面沉积WO3纳米颗粒薄膜,在干燥空气中于400℃下保温4h进行退火热处理,制备出介孔硅基WO3纳米颗粒薄膜(WO3-PS)室温气敏元件.利... 采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅片表面制备介孔硅层(meso-PSlayer),然后用对向靶磁控反应溅射法在介孔硅表面沉积WO3纳米颗粒薄膜,在干燥空气中于400℃下保温4h进行退火热处理,制备出介孔硅基WO3纳米颗粒薄膜(WO3-PS)室温气敏元件.利用扫描电子显微镜(SEM)分析介孔硅层及WO3-PS的表面形貌,通过X射线衍射(XRD)研究WO3的结晶状态,测试WO3-PS气敏元件在室温下对NO2、NH3的气敏性能,并探讨了WO3-PS气敏元件的工作机理.实验结果表明,在介孔硅表面沉积WO3纳米颗粒薄膜可使介孔硅的气敏性能显著提高,其中在室温下对10×10-6NO2的灵敏度由5提高至56,大大提高了介孔硅的灵敏度,并降低了其响应/恢复时间,提高了对NO2的选择性. 展开更多
关键词 介孔硅 wo3 纳米颗粒薄膜 室温 气敏特性
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Pt表面修饰WO_3纳米线薄膜对高浓度氢气传感性能的研究 被引量:2
12
作者 罗坚义 张瑀 +3 位作者 陈学贤 李伟达 邓伟源 周洋洋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2109-2113,2120,共6页
本文采用热蒸发法合成了高结晶度的WO3纳米线薄膜,并利用溅射法把Pt纳米颗粒催化剂均匀溅射到纳米线的表面,形成Pt表面修饰WO3纳米线的复合纳米网络结构。气敏传感性能测试结果表明,在工作温度为100-140℃,Pt表面修饰的WO3纳米线薄... 本文采用热蒸发法合成了高结晶度的WO3纳米线薄膜,并利用溅射法把Pt纳米颗粒催化剂均匀溅射到纳米线的表面,形成Pt表面修饰WO3纳米线的复合纳米网络结构。气敏传感性能测试结果表明,在工作温度为100-140℃,Pt表面修饰的WO3纳米线薄膜对高浓度氢气具有响应度高(电阻变化率接近100%)、响应时间短(小于1.0s)、可重复性好等特点,能够有效地降低传感器的工作温度,解决高浓度探测时的饱和和失效问题,在工业生产中具有潜在的应用价值。 展开更多
关键词 氢气传感器 wo3 纳米线薄膜 RAMAN光谱 气敏响应
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掺钯纳米WO3薄膜气致变色窗研究 被引量:2
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作者 吴广明 陈世文 +4 位作者 肖锟 史继超 沈军 周斌 张志华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期1-5,共5页
报道了以钨粉和H2O2为原料,采用溶胶凝胶技术和旋转镀膜方法,制备出掺钯气致变色WO3纳米薄膜;使用两块普通玻璃,其中一块内侧涂膜,做成四边封合中空气致变色窗,通以稀薄H2获得最佳致色响应时间小于10 s,在2 min之内700nm波长处的透过率... 报道了以钨粉和H2O2为原料,采用溶胶凝胶技术和旋转镀膜方法,制备出掺钯气致变色WO3纳米薄膜;使用两块普通玻璃,其中一块内侧涂膜,做成四边封合中空气致变色窗,通以稀薄H2获得最佳致色响应时间小于10 s,在2 min之内700nm波长处的透过率变化超过60%.研究了热处理温度、催化剂钯掺量、薄膜厚度对薄膜特性的影响. 展开更多
关键词 纳米薄膜 气致变色窗 溶胶-凝胶技术 wo3
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纳米结构WO_3薄膜气致变色特性研究进展及应用 被引量:3
14
作者 王美涵 温佳星 +1 位作者 彭洋 王新宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2722-2727,共6页
三氧化钨(WO_3)薄膜具有许多特性,是一种优良的致色材料。纳米结构WO_3薄膜的着色效率高、可逆性好、响应时间短、光学调制高。综述纳米结构WO_3薄膜的化学沉积法和物理沉积法。化学沉积法可制备出多孔、片状和特殊形貌纳米结构WO_3薄... 三氧化钨(WO_3)薄膜具有许多特性,是一种优良的致色材料。纳米结构WO_3薄膜的着色效率高、可逆性好、响应时间短、光学调制高。综述纳米结构WO_3薄膜的化学沉积法和物理沉积法。化学沉积法可制备出多孔、片状和特殊形貌纳米结构WO_3薄膜。掠射角磁控溅射作为一种物理沉积方法,能够可控制备纳米柱状结构WO_3薄膜。其次,介绍WO_3薄膜的气致变色特性在气体传感器和智能窗等领域的应用。最后,对纳米结构WO_3薄膜气致变色特性改善提出展望,并指出其目前存在的问题及未来发展趋势。 展开更多
关键词 wo3薄膜 纳米结构 气致变色特性 传感器 智能窗
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Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱 被引量:3
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作者 何英杰 吴卫东 +1 位作者 李俊 王海珍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期132-135,共4页
采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺... 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺度的光滑性;Co纳米晶粒呈单分散、均匀分散在沿C轴呈单取向生长的BaTiO3单晶基体中;随着掺杂Co含量的增高,BaTiO3的Raman峰的峰强随之增大。 展开更多
关键词 脉冲激光气相沉积技术 Co/BaTiO3纳米复合薄膜 纳米颗粒 拉曼光谱
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微波辅助合成纳米WO_3/TiO_2复合材料及其气敏性能 被引量:3
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作者 桂阳海 崔瑞立 +1 位作者 牛连杰 田俊峰 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期30-33,共4页
为改善WO3基敏感材料的气敏性能,采用微波回流法一次性合成了纳米WO3/TiO2复合材料,并研究TiO2掺杂量对用其制备的气敏元件气敏性能的影响。结果表明:此气敏元件对体积分数为100×10-6的NOx、二甲苯、H2S和丙酮气体具有较强的敏感性... 为改善WO3基敏感材料的气敏性能,采用微波回流法一次性合成了纳米WO3/TiO2复合材料,并研究TiO2掺杂量对用其制备的气敏元件气敏性能的影响。结果表明:此气敏元件对体积分数为100×10-6的NOx、二甲苯、H2S和丙酮气体具有较强的敏感性,掺杂w(TiO2)为20%的元件,对H2S和NOx的灵敏度分别为31.18和695.84;掺杂w(TiO2)为30%的元件,对二甲苯和丙酮的灵敏度分别为39.19和35.69。 展开更多
关键词 纳米wo3/TiO2复合材料 微波回流法 气敏元件 气敏性能
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Pt/WO_3纳米薄膜的氢敏特性 被引量:2
17
作者 范小花 唐一科 +1 位作者 侯长军 范瑛 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期761-764,769,共5页
用溶胶-凝胶法和磁控溅射法相结合制备了催化剂Pt掺杂的WO3纳米薄膜,通过改变氢气的体积分数、催化剂Pt的含量及热处理温度等实验因素,对Pt/WO3薄膜的氢致变色性能进行了测试;并利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜的氢敏机理。实验... 用溶胶-凝胶法和磁控溅射法相结合制备了催化剂Pt掺杂的WO3纳米薄膜,通过改变氢气的体积分数、催化剂Pt的含量及热处理温度等实验因素,对Pt/WO3薄膜的氢致变色性能进行了测试;并利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜的氢敏机理。实验结果表明:先用溶胶-凝胶法制得WO3薄膜,然后再用磁控溅射法在该WO3薄膜上溅射掺杂5%的Pt,制得Pt/WO3双层纳米薄膜,经100℃热处理后,可以获得性能稳定且具有良好氢敏特性的优质薄膜;薄膜能检测的氢气浓度低至0.008%;XPS分析表明,W5+与W6+之间的转换是引起WO3薄膜氢致变色现象的主要原因。 展开更多
关键词 Pt/wo3纳米薄膜 氢敏特性 机理
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聚酰亚胺/纳米Al_2O_3三层复合薄膜的制备 被引量:2
18
作者 刘立柱 宋玉侠 +2 位作者 翁凌 赵洪 雷清泉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期236-238,共3页
将掺杂纳米Al2O3的聚酰胺酸与未掺杂聚酰胺酸在玻璃板上逐层涂膜,热亚胺化制备了3层聚酰亚胺/纳米Al2O3复合薄膜。采用扫描电镜(SEM)对该薄膜的微观形貌进行了表征,测试了薄膜的热稳定性、力学性能及电击穿场强。结果表明,复合薄膜的热... 将掺杂纳米Al2O3的聚酰胺酸与未掺杂聚酰胺酸在玻璃板上逐层涂膜,热亚胺化制备了3层聚酰亚胺/纳米Al2O3复合薄膜。采用扫描电镜(SEM)对该薄膜的微观形貌进行了表征,测试了薄膜的热稳定性、力学性能及电击穿场强。结果表明,复合薄膜的热性能及电击穿场强均高于掺杂薄膜及未掺杂膜,当热失重达到10%时,复合薄膜的热分解温度达到了629.1℃;与掺杂薄膜相比,复合薄膜的力学性能得到明显提高,拉伸强度和断裂伸长率分别为117.4 MPa和18.5%。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 复合薄膜 纳米AL2O3 力学性能
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光致变色纳米WO_3薄膜研究进展 被引量:2
19
作者 尚福亮 杨海涛 韩海涛 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期8-10,共3页
介绍了纳米WO3薄膜的光致变色机理,并对WO3薄膜的各种制备方法进行了分析比较。概述了WO3薄膜的各种表征手段和近年来国内外的研究现状等,并对其未来发展趋势进行展望。
关键词 纳米wo3 薄膜 光致变色 电致变色
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WO_3/Si纳米晶薄膜的脉冲准分子激光沉积及结构分析 被引量:2
20
作者 方国家 刘祖黎 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期139-144,共6页
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了 WOx薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结... 采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了 WOx薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结构分析.结果表明,氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数.在沉积温度300℃以上及20Pa氧压下得到了三斜相纳米晶WO3薄膜. 展开更多
关键词 三氧化钨薄膜 纳米 脉冲准分子激光沉积 PLD 结构分析 SI(111)衬底 性能 wo3薄膜 电致变色材料
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