湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化

目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,进而提升良率。方法 以APP清洗功率、清洗时间和刻蚀时间为影响因素,以关键尺寸偏差(CD Bias)、均一性、坡度角作为因变量,开展正交试验,明确因素影响重要性顺序;然后,对Cu电极坡度角的形成和刻蚀均一性变化进行分析;最后,采用回归分析获得刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式。结果 结果表明:刻蚀时间对刻蚀性能的影响最大,对APP清洁时间和功率的影响较小。刻蚀时间延长,关键尺寸偏差(CD Bias)增加、均一性变差、坡度角变大。为改善均一性和平缓坡度角,应缩短刻蚀时间。最佳工艺组合为:刻蚀时间85 s,APP电压9 kV,APP传输速度5 400 r/min。结论 刻蚀时间延长,未被光刻胶覆盖的Cu膜层被完全刻蚀,形成台阶,该台阶使刻蚀液形成回流路径。沿着回流路径,刻蚀液浓度、温度逐渐下降,刻蚀均一性由此恶化,坡度角因此增加。采用回归分析得到的刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式,为预测刻蚀效果和优选刻蚀时间提供了依据。

Sn/Cu电极电化学还原CO_2的研究

采用电沉积法制备Sn/Cu电极,由SEM观察并研究了电沉积电流密度对电极形貌的影响.在碱性三电极体系中考察了Sn/Cu电极对析氢、CO2还原的影响.发现10 mA.cm-2和15 mA.cm-2电沉积电流密度下制得的电极活性较高,尤以15 mA.cm-2时电极性能更佳,并指出了电还原CO2关键材料的结构特性.

Cu电极上咪唑与苯并三唑共吸附的SERS研究

Ｃｕ电极上咪唑与苯并三唑共吸附的ＳＥＲＳ研究张传飞，旷富贵，徐知三，王小华（武汉大学环境科学系武汉４３００７２）（武汉大学分析测试中心武汉４３００７２）ＳｔｕｄｙｏｎＴｈｅＣｏａｄｓｏｒｐｔｉｏｎｏｆＩｍｉｄａｚｏｌｅａｎｄＢｅｎｚｏｔｒｉｚｏｌｅｏ...

Ni/Cu电极MLCC烧成工艺的研究

通过各项工艺对比实验,研究了烧成工艺参数对成品性能的影响。给出了最佳工艺参数:烧结温度为1280～1300℃,保温2h,用N2/H2/H2O的混合气控制P(O2)为10–8～10–10MPa,回火温度900～1100℃,保温2～5h,回火气氛氧含量(5～50)×10–6;1000℃以上的升降温速率控制在2～4℃/min。在此工艺条件下,选用合适的烧炉,可以得到性能合格的Ni/Cu电极MLCC。

碱水电解析氢NiMoP/Cu阴极材料的制备与性能研究

为研究高效经济的碱水电解析氢阴极材料,采用化学沉积､化学沉积后气相磷化和电化学沉积3种方式在紫铜片上制备不同的镍基三元非贵金属磷化物NiMoP,其中电沉积制得的NiMoP3/Cu电极性能最佳,在1 mol/L KOH溶液､10 mA/cm^(2)电流密度下,NiMoP3/Cu电极进行析氢反应(HER)的过电位仅为-114 mV;在10 mA/cm^(2)和100 mA/cm^(2)下测定400 h,HER的过电位无明显变化。结果表明,镀层中Mo质量分数的提高增大了电极材料的电化学表面积,降低了电化学反应阻抗,增强了其电化学性能。该高活性､高稳定性､低成本的NiMoP/Cu析氢电极材料在工业碱性水电解制氢中具有很大的应用潜力。

TiN/Cu电火花加工用电极温度场仿真分析

建立电火花加工温度场物理模型和数学模型,并利用MSC.Marc有限元软件对TiN/Cu电极电火花加工(EDM)温度场进行仿真,以探索TiN/Cu电极热损耗规律。仿真结果表明:在相同电参数下,TiN/Cu电极表面温度比内部温度高;在电压25V、电流6A和脉宽10μs条件下,获得最小深径比为0.264 3。

Cu电火花加工用电极温度场仿真

本文建立电火花加工温度场物理模型和数学模型,并且利用Msc.Marc有限元软件对Cu电火花加工用电极(EDM)温度场仿真。仿真结果表明:在加工电流16A、电压25V、脉宽0.4μs条件下,Cu电极中心点最高温度为10140℃;在加工电流8A、电压25V、脉宽0.4μs条件下,Cu电极去除深度与半径之比最小值为0.6171。

Cu-SiC复合电极电火花加工烧结NdFeB永磁体的研究

将超声波和复合电沉积技术相结合制备了Cu-SiC复合电极材料,利用SiC颗粒高熔点、高导电性的特点探索对烧结NdFeB永磁体电火花的可加工性。研究了Cu-SiC电极对NdFeB永磁体加工效率、加工效果的影响规律。结果表明SiC颗粒在火花放电中使电场产生畸变,降低了击穿电压,火花痕迹大而浅,表面粗糙度降低;同时提高了加工效率,降低了电极损耗。

Cu/Fe双电极原电池对环境敏感性的研究

基于大气腐蚀监测仪(ACM)仍是研究金属大气腐蚀的主要电化学手段之一,讨论了ACM所用传感系统(即Cu/Fe双电极原电池)的绝缘膜厚度对试验可靠性的影响,并着重研究了Cu/Fe原电池对温度、湿度、盐类沉降以及实际户外暴露大气环境的敏感性,为采用ACM进行大气腐蚀研究提供参考信息。

Sb在Cu单晶电极上欠电位沉积的电化学和现场STM研究

应用循环伏安法和现场扫描隧道显微镜研究了在HClO4和H2SO4两种溶液中Sb于Cu(111)和Cu(100)电极上的欠电位沉积.结果表明,不同的表面原子排列和强吸附阴离子的存在将明显影响Sb的欠电位沉积行为.在结构较为开放的Cu(100)表面,Sb形成的欠电位沉积层结构也较为开放,并且伴随着表面合金的形成;而在密堆积的Cu(111)表面上,Sb形成了致密的单层结构.又当Cu(111)表面存在强吸附的SO42-时,Sb原子首先在SO42-吸附层与Cu表面交接的新台阶处成核,随后通过取代SO42-向上一层晶面发展,表现出独特的成核—生长行为;而在弱吸附的HClO4溶液中,Sb的欠电位沉积系以在晶面上随机形成一些单原子层高度的Sb岛为特征.在Cu(100)表面,通过SO42-的诱导共吸附,欠电位沉积的Sb原子形成了开放性更大的(4×4)结构,不同于在HClO4溶液中所形成的(22×22)R45°结构.

电化学阻抗谱法研究温度对三维多孔Cu6Sn5合金电极嵌锂过程的影响

采用氢气泡为动力学模板电沉积获得多孔铜,通过热处理增强其结构稳定性,并以该多孔铜为基底电沉积获得三维多孔Cu6Sn5合金电极.采用循环伏安法研究了三维多孔Cu6Sn5合金电极的嵌/脱锂电位.采用电化学阻抗谱研究了三维多孔Cu6Sn5合金电极在不同温度下的首次嵌锂过程.结果显示,在主要的嵌锂区间内,三维多孔Cu6Sn5合金电极的Nyquist图由锂离子穿过电极表面SEI膜阻抗的高频圆弧、电荷传递阻抗的中频圆弧和相变阻抗的低频圆弧3部分组成.因此,选择合适的等效电路对阻抗谱进行了模拟,并分析了其随温度的变化规律.

CuS电极的制备及性能研究

为了监测中性及碱性土壤中矿物质的变化 ,同时避免Pb对水土的污染 ,研制了CuS电极 ,以代替Pb电极测量土壤电位。介绍了CuS电极的制备方法 ,对Cu、CuS、Pb、Ag、C、Pt等 6种电极在不同pH值及不同SO2 -4、Cl-、NO-3 、HCO-3 、CO2 -3 浓度条件下的稳定性以及随温度的变化情况作了比较 ,并对CuS和Pb电极的稳定性进行了实地测试。

SiC_p/Cu复合工具电极的研究

采用包裹法制得Cu包SiC复合粉体,作为对比,将SiC和Cu粉直接混合,并利用热压烧结工艺制备了含有体积分数20%SiC颗粒的放电加工用SiCp/Cu复合工具电极。采用直接混合法和包裹法制备的复合工具电极具有大致相同的气孔率、电阻率,但包裹法的强度大大提高。用X射线衍射、扫描电镜、能谱分析等测试手段对试样进行了成分和微观形貌分析。结果表明,包裹法制得的SiCp/Cu复合工具电极,SiC颗粒分散更均匀,并通过形成Cu2O-SiO2共熔物(玻璃相)来提高SiCp/Cu的界面结合强度。

量子点敏化太阳电池Cu_2S对电极研究进展

对电极是量子点敏化太阳能电池(QDSCs)的重要组成部分,改进对电极是提高QDSCs稳定性,光电转换效率的有效手段之一。本文主要介绍了Cu2S对电极的制备工艺及其存在的优缺点,讨论了Cu2S对电极的在QDSCs应用中的优越性和存在的问题,指出了以Cu2S为对电极是提高QDSCs稳定性和光电转换效率的重要途径。

Cu/Mo背电极结构对CdS／CdTe太阳能电池光电性能的影响

CdCl2的热处理，背电极的形成过程。低的欧姆接触是研究CdS／CdTe多晶太阳能薄膜电池的重要领域。本文研究了在Cu／Mo尊苎极的形成过程中薄膜的结构及其光电特性。研究发现10nm厚的Cu电极和90nm厚的Mo电极在180/℃氮气气氛下退火处理50分钟可制备出转换效率优良的结构为ITO／CdS／CdTe／Cu／Mo的串联集成电池．

Al_2O_3/Cu复合电极电火花小孔加工机理及试验研究

在电火花小孔加工中,采用普通铜管电极加工后,孔的圆柱度差,出现锥孔、工具电极端部变钝等现象。主要原因是由于电蚀产物在加工侧隙的二次放电造成的。普通铜管电极表面喷涂Al2O3陶瓷材料,可以有效的降低二次放电的发生,提高加工质量。采用Al2O3/Cu复合电极和普通铜管电极,在D703F电火花小孔机床进行加工。在不同的脉冲宽度和脉冲电流下,使用两种电极对同一工件进行加工。实验结果表明,与普通铜管电极相比,复合电极相对损耗降低30%,孔和工具电极锥度减小,提高了孔的形状公差等级。

水热法制备CuS二氧化钛纳米管复合电极及光催化有机磷

采用阳极氧化和水热法制备CuS二氧化钛纳米管复合电极,采用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射(XRD)等方法进行表征。结果表明,该方法成功制备了CuS二氧化钛纳米管复合电极。研究了复合电极对磷系阻垢剂的光电催化性能,同时详细研究了掺杂物浓度(CuCl2、Na2S2O3)、水热时间、降解电压对CuS二氧化钛纳米管复合电极的影响。研究结果表明:半导体耦合掺杂的二氧化钛纳米管的的光电化学性质,优于纯的二氧化钛。

ZrO_2/Cu复合电极电火花小孔加工试验研究

在电火花小孔加工中,采用普通黄铜管状电极加工出的小孔圆柱度较差,并且在盲孔底部易出现凸台。其主要原因是由于电蚀产物在加工侧隙的二次放电现象及电极端面加工面积较小造成的。在普通黄铜管状电极表面喷涂氧化锆陶瓷材料,可以有效降低"二次放电"现象发生机率,提高加工质量。采用Zr O2/Cu复合电极和普通黄铜管状电极,在D703F电火花小孔加工机上进行对比试验结果表明:与普通黄铜管状电极相比,复合电极加工后小孔锥度有所减小,盲孔底部凸台高度显著降低了42.7%,提高了小孔的形状精度。

离子液体中Cu纳米电极上电化学还原CO_2合成碳酸二甲脂（英文）

在不同的温度和时间下煅烧Cu片得到Cu_2O前驱体,再由Cu_2O前驱体电化学还原得到铜电极(Oxide reduced copper,OR-Cu).通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)等测试手段对材料进行了表征,通过循环伏安(CV)和气质联用仪(GC-MS)等表征手段探讨了材料对CO_2的电化学催化性能以及对电合成DMC产率的影响.结果表明,OR-Cu电极的晶界以及Cu_2O初始厚度是影响材料电催化性能的主要因素.700℃下煅烧2h的Cu_2O前驱体,再经电化学还原所得到的电极具有明显的晶界及合适的Cu_2O初始厚度,具有最高的电催化活性,以其作为电极合成DMC的产率在室温下可达到87%.

CuS对电极的制备及性能研究

采用连续离子层吸附反应法(SILAR)在FTO基底玻璃上制备了CuS对电极,并应用于量子点敏化太阳能电池(QDSC)中.探究了不同沉积层数(2、4、6、8、10、12、14)对CuS对电极性能的影响.对制备的对电极进行XRD,SEM,EDS,电化学阻抗谱(EIS)和光电流密度-光电压(J-V)曲线测试分析.结果表明,相比于水热法制备的CuS对电极,SILAR法沉积10层的CuS对电极的电化学性能更优异,其组成的电池的光电转换效率为0. 81%,界面传荷电阻Rct为38. 81Ω.