燃焰法 CVD 金刚石薄膜生长过程的实验研究

采用燃焰法在硅基片表面进行了金刚石薄膜沉积实验．介绍了用金刚石微粉研磨基片表面对金刚石成核及生长的影响．根据不同沉积时间基片表面的扫描电子显微照片，分析了金刚石薄膜的生长过程，得出了金刚石薄膜的生长过程是以岛状生长模式形成连续膜的结论．

燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

采用燃焰法在大气环境下以３０μｍ／ｈ的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜。实验结果表明，较高的Ｖ（Ｏ２）／Ｖ（Ｃ２Ｈ２）和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件；提高反应气体中氧气浓度，可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽。

燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究

研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态、燃烧气体流量比（Ｏ_２／ＣＨ_２）、基片温度对薄膜成核密度、质量和晶体形态的影响。结果表明，在不同粒度的研磨粉研磨的基片表面上金刚石薄膜成核密度不同；燃烧气体流量配比对金刚石薄膜的质量影响很大；基片温度是影响金刚石薄膜晶体形态的一个重要因素。

衬底表面处理对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响

研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响，发现用硬微粉（金刚石，碳化硅）对衬底的刻划，能明显地提高成核密度，在衬底表面涂覆机械泵油或先沉积薄类金刚石层也能显著提高成核密度。成核密度的提高有利于生长出连续金刚石膜。

气相合成金刚石薄膜的成核习性研究

本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程。分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响。观察到成核初期的金刚石不具有明显晶形，含有较高的石墨相。 Ｘ Ｒ Ｄ 谱表明：成核初期衬底表面形成非金刚石结构的过渡层。并提出了控制成核密度提高沉积质量的思想。