CVI反应器气体流动可视化发烟系统

CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于 Ti Cl4 与 H2 O反应产生 Ti O2 烟雾而设计的发烟系统 ,能使模拟 CVI反应器内复杂的与不可观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单 ,可操作性强 ,形成的烟流总流量与密度可调且长时间可视、均匀。流场照片表明其发烟效果很好 ,能满足 CVI反应器内气体流场的显示研究。

优化CVI反应器气体流场的可视化研究

CVI(化学气相浸渗 )反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备 ,对底部进气的等温等压CVI反应器内气体流场进行了模拟研究 ,得到如下结论 :在气体入口处采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流并减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 。