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CVI反应器气体流动可视化发烟系统 被引量:2
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作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《航空材料学报》 CAS CSCD 2000年第2期14-48,54,共36页
CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于 Ti Cl4 与 H2 O反应产生 Ti O2 烟雾而设计的发烟系统 ,能使模拟 CVI反应器内复杂的与不可观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单 ,可操作性强 ... CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于 Ti Cl4 与 H2 O反应产生 Ti O2 烟雾而设计的发烟系统 ,能使模拟 CVI反应器内复杂的与不可观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单 ,可操作性强 ,形成的烟流总流量与密度可调且长时间可视、均匀。流场照片表明其发烟效果很好 ,能满足 CVI反应器内气体流场的显示研究。 展开更多
关键词 cvi反应器 气体流动 可视化 发烟系统
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优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究 被引量:2
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作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期102-105,共4页
CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流... CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流与减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 ,能有效阻止气体边界层的分离。 2在侧向进气方式中 ,气体采用 30°喷嘴与衬底成 30°角喷入 ,能在圆柱形衬底面上形成较理想的边界层 ;增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。 展开更多
关键词 cvi反应器 优化设计 气体流动可视化
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优化CVI反应器气体流场的可视化研究 被引量:2
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作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《流体力学实验与测量》 EI CSCD 2000年第2期88-91,共4页
CVI(化学气相浸渗 )反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备 ,对底部进气的等温等压CVI反应器内气体流场进行了模拟研究 ,得到如下结论 :在气体入口处采用涡流器... CVI(化学气相浸渗 )反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备 ,对底部进气的等温等压CVI反应器内气体流场进行了模拟研究 ,得到如下结论 :在气体入口处采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流并减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 。 展开更多
关键词 cvi反应器 优化 气体流场 可视化
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CVI反应器气体流动可视化发烟系统
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作者 肖鹏 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《实验技术与管理》 CAS 2000年第4期28-30,共3页
CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于TiCl4与H2O反应产生TiO2烟雾而设计的发烟系统,能使模拟CVI反应器内复杂的与不要观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单,可... CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于TiCl4与H2O反应产生TiO2烟雾而设计的发烟系统,能使模拟CVI反应器内复杂的与不要观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单,可操作性强,形成的烟流总量与密度可调且长时间可视,均匀,流场照片表明其发烟效果很好,能满足CVI反应器内气体流场的显示研究。 展开更多
关键词 流动显示 cvi反应器 发烟系统 气体流动可视化
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