基于自适应噪声抵消的CZ单晶炉炉膛温度信号处理

为滤除CZ单晶炉炉膛温度信号在单晶生长过程中存在的低频干扰,提出一种基于噪声抵消技术的滤波方法.首先利用傅立叶级数构造出低频干扰的逼近信号,然后根据炉温信号的缓变特征建立能够获取低频干扰逼近信号的抵消器误差函数,最后利用一种改进的粒子群优化算法优化误差函数获得低频干扰的逼近信号,并用该逼近信号抵消低频干扰.实验结果表明,所提出的自适应噪声抵消滤波算法能够有效滤除CZ单晶炉炉膛温度信号中的低频干扰,并优于常用的滤波方法.

CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统

介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。

CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统

本文介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统，简述了计算机硬件结构和软件设计原理。

CZ单晶炉中碳和氧的产生及其对单晶硅生长的影响

以FerroTec集团生产的FT-CZ2008型单晶炉为研究对象,介绍CZ单晶炉的基本结构,阐述单晶硅的生长工艺.从单晶炉炉体结构和单晶硅的生产工艺及其他因素共3个方面分析该系统中影响碳和氧生成的因素,并给出实验数据分析结果,得出碳和氧对单晶硅生产质量的影响程度,期望对企业进一步改进单晶炉结构、革新单晶硅生长工艺、提高单晶硅生产质量有所帮助.