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CZ硅单晶中旋涡缺陷对低频大功率管制造的影响
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作者 董尧德 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期43-45,共3页
CZ硅晶片中的旋涡缺陷在器件制造的热循环过程中 ,会转化成体内杆状层错 ,且易集结在发射结对应下方的基区和集电结附近 ,从而导致 EB结和 CB结的软击穿现象进行了研究 ,并采取了适当措施 。
关键词 旋涡缺陷 器件制作 cz硅单晶 大功率器件 低频
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掺锗对CZ法掺镓单晶硅电池片的效率影响 被引量:1
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作者 石坚 俞峰峰 +1 位作者 朱坚武 邵爱军 《太阳能》 2010年第1期29-31,共3页
研究了CZ法单晶硅的能级改进对电池片效率的影响。在试验结论的基础上得出:对于单晶硅衬底的电池片,掺锗对单晶硅电池片的效率产生极大的影响。
关键词 cz硅单晶 掺镓 太阳电池 掺锗
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