多点法机床主轴回转准确度测量系统中的关键技术

本文研究多点法机床主轴回转运动准确度测量系统中的关键技术。以8阶Butterworth滤波器MAX291为核心改进了电容测微仪系统的动态测量电路,改进后的电容测微仪在±10μm的量程内,非线性误差最大不超过0.8%,重复性准确度优于0.15%,测量准确度优于0.1μm,频响范围达4.2kHz。研究了电容测微仪动态灵敏度及线形度的测试与标定方法。

转台离心机动态半径测试方法的研究

精确测量离心机动态半径长度是离心机研制工作的关键和难点。根据动态测试理论要求与离心机的实际情况,提出了一种对线加速度模拟转台离心机动态半径进行测量的新方法。该方法选择了两个电容传感器,一个测量径向变化,一个测量轴向变化,组成双通道测量系统。介绍了该系统的数据采集与传输方法,论证了动态测试原理及其实验过程。实验结果证明,该系统对于动态测量范围可达到200μm,动态重复测量误差达到±0.5μm。此法可推广应用到其它类似的动态测试系统中。

高精度电容式动态薄膜测厚仪的研制

本文介绍一种高精度高分辨率的仪器———电容式动态薄膜测厚仪。详述仪器的工作原理。