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Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H_2 plasma
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作者 Yi Wang Qi-Peng Lu +2 位作者 Yun-Guo Gao Xue-Peng Gong Yuan Song 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2019年第2期61-69,共9页
Removal of X-ray-induced carbon contamination on beamline optics was studied using radio-frequency plasma with an argon/hydrogen(Ar/H_2) mixture. Experiments demonstrated that the carbon removal rate with Ar/H_2 plasm... Removal of X-ray-induced carbon contamination on beamline optics was studied using radio-frequency plasma with an argon/hydrogen(Ar/H_2) mixture. Experiments demonstrated that the carbon removal rate with Ar/H_2 plasma was higher than that with pure hydrogen or argon. The possible mechanism for this enhanced removal was discussed. The key working parameters for Ar/H_2 plasma removal were determined, including the optimal vacuum pressure, gas mixing ratio, and source power. The optimal process was performed on a carbon-coated multilayer, and the reflectivity was recovered. 展开更多
关键词 radio-frequency plasma X-RAY IRRADIATION carbon CONTAMINATION
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Study of relationship between structure and transmittance of diamond-like carbon (DLC) films
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作者 林松盛 侯惠君 +3 位作者 朱霞高 袁镇海 戴达煌 李洪武 《广东有色金属学报》 2005年第2期502-506,共5页
In this paper, the transparent hard diamond-like carbon (DLC) films were deposited on glass substrate by magnetic confined radio-frequency plasma chemical vapor deposition. The structure of films was studied by Raman ... In this paper, the transparent hard diamond-like carbon (DLC) films were deposited on glass substrate by magnetic confined radio-frequency plasma chemical vapor deposition. The structure of films was studied by Raman spectra and X-ray photoelectron spectra (XPS), the transmittance of films by Spectrophotometer. The mechanism of the influence of films structure on transmittance of the films was discussed. The results show that the thickness of films was lower than 100nm, and the transmittance was over 90% in 380-780 nm region. Discussion in theory on the influence of film structure on transmittance was correspondence to experiment results. 展开更多
关键词 薄膜 结构参数 人工合成
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一种生长巴基洋葱的新方法──射频CVD法 被引量:3
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作者 杨杭生 张孝彬 +3 位作者 陈抗生 齐仲甫 徐铸德 李文铸 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1999年第6期646-650,共5页
在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中... 在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中碳巴基洋葱的可能生长机理。认为在等离子作用下使甲烷的部分氢原子解离生成碳氢自由基,在催化剂的作用下,生成的碳烯为了消除碳悬键而卷曲,而碳氢自由基则在表面不断沉积生长而成碳巴基洋葱. 展开更多
关键词 碳巴基洋葱 射频等离子 射频CVD法
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煤基纳米洋葱状富勒烯制备及其结构表征 被引量:17
4
作者 杜爱兵 刘旭光 许并社 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期779-784,共6页
在射频等离子体条件下以煤为原料制备纳米洋葱状富勒烯(Nano-structured Onion—like Fullerenes:NSOFs).高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线衍射(XRD)表征结果表明:以煤为原料可大量制备NSOFs,纯度较高,无碳纳米管伴随生成,外观呈准球状或... 在射频等离子体条件下以煤为原料制备纳米洋葱状富勒烯(Nano-structured Onion—like Fullerenes:NSOFs).高分辨透射电镜(HRTEM)和X射线衍射(XRD)表征结果表明:以煤为原料可大量制备NSOFs,纯度较高,无碳纳米管伴随生成,外观呈准球状或多面体状,内中空,直径分布较均匀,石墨化程度很高,为低成本合成纯净的NSOFs提供了一条新途径. 展开更多
关键词 纳米洋葱状富勒烯 射频等离子体 HRTEM
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类金刚石膜的结构与性能研究 被引量:14
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作者 程宇航 吴一平 +2 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期452-457,共6页
用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负... 用激光Raman谱和XRD谱对用直流射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率、内应力和直流电阻率的影响。结果表明:类金刚石膜是由sp2和sp3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp3/sp2键的比值随负偏压的升高而降低。类金刚石膜的沉积速率与负偏压Vb成正比。膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低。膜的电阻率随负偏压的升高先增后降,这与膜中sp2/sp3的比值相对应。 展开更多
关键词 类金刚石膜 化学气相沉积 结构 性能 金刚石薄膜
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类金刚石膜结构的红外分析 被引量:8
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作者 程宇航 吴一平 +3 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 孙育斌 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期508-512,共5页
采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究.类金刚石膜中大部分碳原子以sp3组态存在.结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成sp3C—CH2,sp... 采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究.类金刚石膜中大部分碳原子以sp3组态存在.结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成sp3C—CH2,sp3C—CH3和sp2C—CH2基,其含量以sp3C—CH2基为主.增加Ar气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的,增大极板负偏压或Ar气的含量将减小类金刚石膜中sp3/sp2比值和H的含量以及CH2基的含量,同时增加薄膜的交联,减少聚合相的含量. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 结构 红外光谱 气相沉积
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取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备 被引量:4
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作者 陈易明 张海燕 +3 位作者 朱清锋 陈雨婷 陈列春 杨大勇 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期470-474,共5页
采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同N i(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析... 采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同N i(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析,用透射电子显微镜和拉曼光谱对碳纳米管进行表征.结果表明,在H2-N2气氛中热还原后硅片上的催化剂粒径均匀,排列致密,利用该法制备的碳纳米管为竹节型多壁碳纳米管,管径分布均匀,管长约5μm.碳纳米管阵列薄膜垂直于硅片衬底生长,生长排列均匀致密,具有良好的取向性. 展开更多
关键词 取向碳纳米管阵列 热丝射频等离子体复合化学气相沉积 旋涂法
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氧射频等离子体中洋葱状富勒烯的原位修饰 被引量:1
8
作者 郭明聪 杨永珍 +2 位作者 任文芳 刘旭光 许并社 《煤炭转化》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期1-4,共4页
利用射频等离子体,在淮南气煤中加入二茂铁制备洋葱状富勒烯(OLFs),然后加入不同体积分数的氧气对OLFs进行表面氧化修饰.生成的产物用场发射扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和红外光谱进行分析,结果表明,由淮南煤和二茂铁在射频... 利用射频等离子体,在淮南气煤中加入二茂铁制备洋葱状富勒烯(OLFs),然后加入不同体积分数的氧气对OLFs进行表面氧化修饰.生成的产物用场发射扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和红外光谱进行分析,结果表明,由淮南煤和二茂铁在射频等离子体条件下可生成内包铁纳米颗粒的OLFs;经含氧等离子体修饰后,OLFs表面被氧化,当氧气体积分数为3%和4%时,OLFs的表面引入了新的羟基和羧基官能团,且氧气体积分数为4%时引入的官能团最多.简单分析了其生成机理. 展开更多
关键词 洋葱状富勒烯 射频等离子体 原位修饰
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射频PECVD方法生长含氢非晶碳膜的结构及摩擦学性能 被引量:3
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作者 李明 蔺增 +1 位作者 王凤 巴德纯 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1745-1748,共4页
利用射频等离子体增强化学气相沉积技术在不锈钢表面制备了含氢非晶碳膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在栓盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学... 利用射频等离子体增强化学气相沉积技术在不锈钢表面制备了含氢非晶碳膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在栓盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学性能.结果表明:所制备的含氢非晶碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;薄膜与不锈钢球对磨时显示出良好的抗磨减摩性能;薄膜的抗磨减摩性能同对磨件表面上形成的转移膜以及摩擦过程中薄膜结构的石墨化相关. 展开更多
关键词 射频等离子体增强化学气相沉积 含氢非晶碳膜 结构 摩擦学性能
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儿童阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征的改良激光和消融治疗 被引量:2
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作者 陈建强 邹坚定 +2 位作者 熊华 鲁杰 陈亮宇 《中国眼耳鼻喉科杂志》 2008年第3期162-163,共2页
目的探讨二氧化碳激光腭扁桃体部分切除术(carbon dioxide laser tonsillotomy,CLTT)治疗儿童腭扁桃体肥大和鼻内镜下低温等离子射频消融术治疗儿童腺样体肥大的疗效。方法对126例腺样体和腭扁桃体肥大的阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征... 目的探讨二氧化碳激光腭扁桃体部分切除术(carbon dioxide laser tonsillotomy,CLTT)治疗儿童腭扁桃体肥大和鼻内镜下低温等离子射频消融术治疗儿童腺样体肥大的疗效。方法对126例腺样体和腭扁桃体肥大的阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(obstructive sleep apnea hypopnea syndrome,OSAHS)患儿行CLTT联合鼻内镜下低温等离子射频腺样体消融术,随访观察手术疗效和腭扁桃体残余组织的免疫功能。结果手术前后血清免疫球蛋白含量比较差异无统计学意义(P>0.05),术后3个月随访,病理证实腭扁桃体残体组织仍具有免疫功能;腺样体无复发、腭扁桃体残体未见再生;上呼吸道阻塞症状改善总有效率为97.6%,其中65例行PSG复查总有效率为95.4%。结论CLTT联合鼻内镜下低温等离子射频腺样体消融术治疗儿童OSAHS简单、安全、有效,又可保留腭扁桃体的免疫功能。 展开更多
关键词 儿童睡眠呼吸暂停低通气综合征 二氧化碳激光腭扁桃体部分切除术 鼻内镜术 低温 等离子射频消融术
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射频-直流等离子体增强化学气相沉积设备的研制 被引量:1
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作者 陈建国 程宇航 +1 位作者 吴一平 乔学亮 《真空与低温》 1998年第1期30-34,共5页
综合利用射频和直流辉光放电的特点研制成功射频-直流等离子化学气相沉积设备。成功地用该设备制备出类金刚石薄膜。类金钢石薄膜的沉积速率随极板负偏压、气体工作压力的增加而增大。
关键词 等离子体 化学气相沉积 类金刚石 薄膜 设备
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射频功率对类金刚石薄膜性能的影响 被引量:5
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作者 陈林林 张殷华 黄伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1375-1378,共4页
在不同射频功率条件下,实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。实验... 在不同射频功率条件下,实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。实验表明,随着功率的增加,金刚石相的相对分数减少,薄膜的折射率先减小再增加然后减小,射频功率大于910W时,沉积速率急剧增大。而薄膜的硬度先增加后减小,在射频功率为860W处获得最大值。 展开更多
关键词 射频功率 射频等离子体化学气相沉积 类金刚石薄膜 RAMAN光谱
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射频放电等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气转化反应的原位研究(英文) 被引量:2
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作者 杨瑞龙 张笛宇 +5 位作者 朱康伟 周寰林 叶小球 KLEYN Aart W. 胡殷 黄强 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第3期292-298,共7页
为探索CO_2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气体的电离分解行为研究。反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断。研究结果表明,在射频电场作... 为探索CO_2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气体的电离分解行为研究。反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断。研究结果表明,在射频电场作用下二氧化碳气体迅速电离并部分分解为一氧化碳和氧气,随着射频功率升高CO_2分解率提高,而能量效率降低。氢气的加入可以显著降低CO_2分解达到平衡所需的时间,随着H_2含量的增加,二氧化碳的分解率先降低后升高,H_2的电离状态与对CO_2分解氧的消耗是导致CO_2分解率V字形变化的主要原因。 展开更多
关键词 射频放电等离子体 二氧化碳 氢气 分解率 能量效率 反应平衡
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Synthesis of Single-Walled Carbon Nanotubes by Induction Thermal Plasma 被引量:4
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作者 Keun Su Kim Ala Moradian +4 位作者 Javad Mostaghimi Yasaman Alinejad Ali Shahverdi Benoit Simard Gervais Soucy 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2009年第10期800-817,共18页
The production of high quality single-walled carbon nanotubes(SWCNTs)on a bulk scale has been an issue of considerable interest.Recently,it has been demonstrated that high quality SWCNTs can be continuously synthesize... The production of high quality single-walled carbon nanotubes(SWCNTs)on a bulk scale has been an issue of considerable interest.Recently,it has been demonstrated that high quality SWCNTs can be continuously synthesized on large scale by using induction thermal plasma technology.In this process,the high energy density of the thermal plasma is employed to generate dense vapor-phase precursors for the synthesis of SWCNTs.With the current reactor system,a carbon soot product which contains approximately 40 wt%of SWCNTs can be continuously synthesized at the high production rate of~100 g/h.In this article,our recent research efforts to achieve major advances in this technology are presented.Firstly,the processing parameters involved are examined systematically in order to evaluate their individual inuences on the SWCNT synthesis.Based on these results,the appropriate operating conditions of the induction thermal plasma process for an effective synthesis of SWCNTs are discussed.A characterization study has also been performed on the SWCNTs produced under the optimum processing conditions.Finally,a mathematical model of the process currently under development is described.The model will help us to better understand the synthesis of SWCNTs in the induction plasma process. 展开更多
关键词 Single-walled carbon nanotubes(SWCNTs) large-scale continuous synthesis radio frequency(RF)induction thermal plasma OPTIMIZATION numerical modeling
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原位制备聚3-己基噻吩和纳米碳双层异质结构
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作者 屈腊琴 闫翎鹏 +1 位作者 杨永珍 刘旭光 《中北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2015年第2期245-250,共6页
采用射频等离子体方法处理聚3-己基噻吩(P3HT)薄膜,使P3HT原位形成由碳膜和P3HT组成的双层异质结构型.采用场发射扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计和薄膜X射线衍射仪对产物进行形貌和结构的表征与分析.结果表明:经等离子体处理后,P... 采用射频等离子体方法处理聚3-己基噻吩(P3HT)薄膜,使P3HT原位形成由碳膜和P3HT组成的双层异质结构型.采用场发射扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计和薄膜X射线衍射仪对产物进行形貌和结构的表征与分析.结果表明:经等离子体处理后,P3HT薄膜的表层出现明显的炭化现象,形成一层致密的碳纳米颗粒组成的碳膜;可以通过调节射频电压调整P3HT薄膜的表层炭化程度,以优化复合膜的性能;等离子处理后,P3HT膜结晶度提高,复合膜光吸收增强.此P3HT/纳米碳层的双层异质复合膜有望用作聚合物太阳能电池的光敏活性层. 展开更多
关键词 射频等离子体 3-己基噻吩 碳膜 双层异质结
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射频等离子法石墨纤维碳纸的表征
16
作者 白异峰 孙彦平 陈新谋 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2008年第1期10-12,共3页
把一种射频等离子(RF-Plasma)石墨纤维制备成用作燃料电池扩散层材料的碳纸。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等技术,对该碳纸的纤维微结构及表面形貌进行了表征。测试了该自制碳纸及日本东丽公司碳纸的导电性与透气性,并对二... 把一种射频等离子(RF-Plasma)石墨纤维制备成用作燃料电池扩散层材料的碳纸。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等技术,对该碳纸的纤维微结构及表面形貌进行了表征。测试了该自制碳纸及日本东丽公司碳纸的导电性与透气性,并对二者进行了比较,以探索该新型碳纸替代进口碳纸的可能性。 展开更多
关键词 碳纸 石墨纤维 射频等离子 电导
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一种创新的运用电子技术制造碳纤维的方法 被引量:4
17
作者 陈新谋 《高科技纤维与应用》 CAS 2004年第6期1-8,共8页
重点介绍了运用电子技术制造碳纤维的创新思路和实践。具体阐述了PAN原丝射频负压软等离子预氧化,预氧化纤维微波法碳化和碳纤维射频法石墨化工艺过程的设备、原理和工艺流程。
关键词 碳纤维 制造技术 等离子法 微波法 射频法 电子技术
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射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱 被引量:2
18
作者 陈小华 吴国涛 +6 位作者 邓福铭 王健雄 杨杭生 王淼 卢筱楠 彭景翠 李文铸 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期1264-1267,共4页
用射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱 .电子显微镜观察表明 ,产物中无碳纳米管等伴随生成 ,因而制得了较高产率、较高纯度的纳米洋葱 .尤其是Co SiO2 催化剂生长的碳纳米洋葱 ,实心、光滑 ,且内无催化剂颗粒 ,其外层由未... 用射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱 .电子显微镜观察表明 ,产物中无碳纳米管等伴随生成 ,因而制得了较高产率、较高纯度的纳米洋葱 .尤其是Co SiO2 催化剂生长的碳纳米洋葱 ,实心、光滑 ,且内无催化剂颗粒 ,其外层由未闭合的、呈波浪状的石墨片构成 ,显示出与众不同的微观结构和性能 .提出了该方法中碳纳米洋葱的生长机理为碳笼由里向外嵌套形成球形粒子 .对波浪状、非闭合结构的形成过程进行了讨论 . 展开更多
关键词 射频等离子体 化学气相沉积 碳纳米洋葱 实验研究
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W,Re过渡层对碳基体表面Al_(2)O_(3)涂层高温热匹配性和层间扩散的影响 被引量:4
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作者 李东鹏 王卫泽 +3 位作者 黄继波 朱含 付鑫 孙杰 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1181-1189,共9页
在含碳材料表面沉积氧化铝(Al_(2)O_(3))涂层是目前常用的一种高温防护手段,但其在高温下长期使用,易产生涂层开裂、层间元素扩散等现象,进而导致防护失效。本文以大气等离子喷涂(APS)结合射频磁控溅射(RFMS)沉积铼(Re)涂层和钨(W)涂层... 在含碳材料表面沉积氧化铝(Al_(2)O_(3))涂层是目前常用的一种高温防护手段,但其在高温下长期使用,易产生涂层开裂、层间元素扩散等现象,进而导致防护失效。本文以大气等离子喷涂(APS)结合射频磁控溅射(RFMS)沉积铼(Re)涂层和钨(W)涂层作为过渡层,研究过渡层对碳基体表面沉积Al_(2)O_(3)涂层的高温下的热匹配性和层间扩散的影响。通过比较不同试样加热后的界面形貌发现,1100℃保温3 h后无W层的涂层试样表面开裂剥落,而添加过渡层的试样表面完好,截面微观结构分析也未发现明显开裂。对界面两侧元素扩散分析发现,添加过渡层W后Al元素扩散现象减弱,添加Re/W层后,元素扩散进一步降低。可见W层、Re/W层加入到含碳材料和氧化铝层间后,可提高涂层抗开裂剥落能力,且涂层层间元素扩散明显减弱。 展开更多
关键词 碳基体 大气等离子喷涂(APS) 射频磁控溅射(RFMS) 元素扩散
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磁激励RF-PECVD法低温制备类金刚石薄膜及其特性 被引量:2
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作者 肖琦 杨保和 朱珊珊 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1332-1336,共5页
采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和Raman光谱对不同沉积条件下制备的薄膜进行表征。结果表明,在反应压强为30... 采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和Raman光谱对不同沉积条件下制备的薄膜进行表征。结果表明,在反应压强为30 Pa、入射功率为50 W、CH4/Ar=5/90、衬底温度为40℃的实验条件下,制备的含氢DLC薄膜表面平整、结构致密,膜基结合度良好,薄膜中以sp3键为主。 展开更多
关键词 磁激励 射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD) 低温 类金刚石(DLC) 声表面波(SAW) 气体传感器
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