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Performance of Large Area Thin-Film CdTe Detector in Diagnostic X-Ray Imaging
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作者 Diana Shvydka , Xiance Jin E. Ishmael Parsai 《International Journal of Medical Physics, Clinical Engineering and Radiation Oncology》 2013年第3期98-109,共12页
Significant advancement in thin-film cadmium telluride (CdTe) deposition techniques in recent years has made this material attractive for the development of low-cost large area detector. Here we evaluate the intrinsic... Significant advancement in thin-film cadmium telluride (CdTe) deposition techniques in recent years has made this material attractive for the development of low-cost large area detector. Here we evaluate the intrinsic performance of the detector for a range of energies relevant to diagnostic imaging applications, such as fluoroscopy. The input x-ray spectra for a set of tube potentials ranging from 70 to 140 kVp were computed with the tungsten anode spectral model using interpolating polynomials (TASMIP) based on the measured output of our diagnostic x-ray simulator. Frequency-dependent detector performance analysis was conducted through Monte Carlo simulations of energy deposition within the detector. Intrinsic modulation transfer functions (MTF), noise power spectra (NPS), and detective quantum efficiencies (DQE) were computed for a set of CdTe detectors of varying thickness, from 100 to 1000 μm. MTF behavior at higher frequencies was affected by thickness and input energy, NPS increased with film thickness and energy, and the resultant DQE(f) decreased with increasing the input energy, but increased with the thickness of the detector. We found that the optimal thickness of CdTe under diagnostic x-ray beam is in the range of 300 to 600 μm. Physical properties of CdTe, such as the high atomic number and density, used in direct detection configuration, together with the recently established thin-film manufacturing techniques makes this technology a promising photoconductor for large area diagnostic flat panel imaging. 展开更多
关键词 MONTE Carlo cdte detector PHOTOVOLTAIC THIN Film TASMIP DQE X-Ray Imaging
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室温半导体CdZnTe(CdTe)探测器性能综述 被引量:27
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作者 艾宪芸 魏义祥 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期325-328,277,共5页
CdZnTe(CdTe)探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有体积小、分辨率高、可在室温下工作等优点。由于探测器晶体内电荷收集不完全,导致所测的γ谱会产生低能尾巴,从而增加了谱解析的困难,需要进行新的解谱算法研究。介绍了其基... CdZnTe(CdTe)探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有体积小、分辨率高、可在室温下工作等优点。由于探测器晶体内电荷收集不完全,导致所测的γ谱会产生低能尾巴,从而增加了谱解析的困难,需要进行新的解谱算法研究。介绍了其基本性能、电极设计、γ谱解析方法和发展趋势。 展开更多
关键词 镉锌碲探测器 碲化镉探测器 Γ谱 谱解析 半导体
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CdTe和CdZnTe室温探测器钝化方法概述 被引量:2
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作者 赵晓燕 鲁正雄 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第4期324-327,共4页
CdTe和CdZnTe是X射线和γ射线探测器最理想的材料。钝化可以降低CdTe和CdZnTe的表面漏电流,提高其能量分辨率。本文综述了CdTe和CdZnTe的H2O2湿法钝化方法和热氧化、氧离子钝化、氧离子/SiNx钝化等干法钝化方法。
关键词 cdte CDZNTE 室温探测器 钝化
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碲化镉(CdTe)探测器的原理及医学应用 被引量:12
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作者 黄勇 杨磊 +1 位作者 杨汝基 大野良一 《上海生物医学工程》 2005年第4期221-225,共5页
本文介绍了一种新型的化合物半导体探测器———CdTe探测器,它具有灵敏度高,探测效率高、能量分辨率好、可以在室温下使用,以及对湿度不敏感和体积小等优点,并介绍了该探测器在医学应用方面的前景。
关键词 碲化镉 探测器 临床应用 移动加热器 分辨率 乳腺癌 医疗器械
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CdTe探测器对EAST托卡马克中20–200keV硬X射线测量 被引量:6
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作者 席莹 林士耀 +2 位作者 胡立群 徐立清 张继宗 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期16-20,共5页
介绍了EAST托卡马克装置硬X射线诊断系统。该系统由探测器阵列和电子线路组成,探测器采用水平七道的碲化镉(CdTe)探测器阵列。在EAST托卡马克装置上建立了一套较完善的硬X射线能谱诊断系统,用来测量等离子体在硬X射线辐射能段(20–200 k... 介绍了EAST托卡马克装置硬X射线诊断系统。该系统由探测器阵列和电子线路组成,探测器采用水平七道的碲化镉(CdTe)探测器阵列。在EAST托卡马克装置上建立了一套较完善的硬X射线能谱诊断系统,用来测量等离子体在硬X射线辐射能段(20–200 keV)的能谱。实验结果表明,该系统能满足测量相应能量范围的等离子体硬X射线轫致辐射要求。文中给出了碲化镉探测器的标定结果及典型的放电结果。 展开更多
关键词 托卡马克 硬X射线 低杂波电流驱动 cdte探头
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CdTe探测器能量刻度与探测效率的模拟计算 被引量:3
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作者 姚馨博 吴金杰 +3 位作者 王玉龙 陈成 王佳 杨扬 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第3期372-375,共4页
在实现对单能平行光子源的绝对测量之前,需要对CdTe探测器进行刻度。利用已知点源对CdTe探测器进行能量刻度,得到刻度曲线和能量分辨率,利用工业CT对CdTe探测器进行精确扫描,得到CdTe探测器内部结构,并以此为基础,利用MCNP5蒙特卡罗模... 在实现对单能平行光子源的绝对测量之前,需要对CdTe探测器进行刻度。利用已知点源对CdTe探测器进行能量刻度,得到刻度曲线和能量分辨率,利用工业CT对CdTe探测器进行精确扫描,得到CdTe探测器内部结构,并以此为基础,利用MCNP5蒙特卡罗模拟程序建立CdTe探测器物理模型;计算20~150 keV能量段,能量间隔为1 keV每个能量点的探测效率,得到CdTe探测器的效率曲线图。发现CdTe探测器在低能段探测效率较高,但Te元素在27 keV和32 keV处产生了逃逸峰,探测效率有所下降,之后探测效率曲线呈现先上升后下降的趋势。 展开更多
关键词 计量学 cdte探测器 探测效率 蒙特卡罗模拟 CT扫描
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使用单能X射线辐射装置对CdTe探测效率的实验刻度 被引量:2
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作者 余涛 郭思明 +4 位作者 周建斌 蒋政 郄晓雨 郭锴悦 吴金杰 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第10期1366-1370,共5页
CdTe探测器对单能平行光子源的绝对测量之前,需要进行效率刻度。利用MCNP5蒙特卡罗模拟程序建立CdTe探测器物理模型,模拟计算了10~260 keV能量段能点的本征探测效率,在10~60 keV能量段探测效率高于75%。用单能X射线装置和HPGe探测器对C... CdTe探测器对单能平行光子源的绝对测量之前,需要进行效率刻度。利用MCNP5蒙特卡罗模拟程序建立CdTe探测器物理模型,模拟计算了10~260 keV能量段能点的本征探测效率,在10~60 keV能量段探测效率高于75%。用单能X射线装置和HPGe探测器对CdTe探测器本征探测效率进行了实验刻度。结果表明,在10~100 keV能量范围内CdTe探测器的模拟效率与实验效率趋势一致,最大误差不超过5.6%。因为Te元素在27 keV和32 keV处会产生逃逸峰,导致探测效率在这2个能量处有明显下降趋势。用^(241)Am和^(133)Ba放射源对CdTe探测器进行效率刻度验证,在能量为59.54 keV和81 keV放射源标定的探测效率与单能X射线辐射装置测量值相符。 展开更多
关键词 计量学 cdte探测器 本征探测效率 蒙特卡罗 探测效率刻度
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CdTe/ZnS双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究 被引量:1
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作者 杨朝臣 张冰洁 +5 位作者 杜宇 张传杰 陈晓静 谭必松 周文洪 刘斌 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1118-1122,共5页
开展了Cd Te/Zn S双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究。Cd Te钝化膜经退火热处理后,可实现Cd Te/MCT界面的互扩散,并改善Cd Te钝化膜的质量。通过全湿法腐蚀方法完成了金属化开口,制备了长波碲镉汞600×18@15μm规格线列和640×... 开展了Cd Te/Zn S双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究。Cd Te钝化膜经退火热处理后,可实现Cd Te/MCT界面的互扩散,并改善Cd Te钝化膜的质量。通过全湿法腐蚀方法完成了金属化开口,制备了长波碲镉汞600×18@15μm规格线列和640×512@15μm规格面阵。线列I-V测试表明:Cd Te/Zn S双层钝化膜能有效地减少长波碲镉汞器件的表面漏电流,器件的反向结特性良好。面阵在77K测试:NETD 26.7 m K,有效像元率95.4%,并对室温目标进行了凝视成像。测试过程出现了4%左右由噪声引起的零散盲元,是由芯片面阵局部钝化失效引起的,表明钝化膜沉积工艺及芯片加工工艺尚有改进的空间。 展开更多
关键词 碲镉汞 长波红外 cdte/ZnS双层钝化 探测器
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CdTe纳米颗粒的制备及与GSH电子转移机制研究
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作者 林艳辉 边亮 +11 位作者 宋绵新 董发勤 曹启龙 李伟民 李海龙 李宇 罗伟格 张金梅 张琴 张娇 罗伟恢 杨敏 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2021年第12期4144-4150,共7页
以CdCl_(2)·2.5H_(2)O为镉源,TeO_(2)为碲源,水合肼为还原剂,利用共沉淀-还原法制备了CdTe纳米颗粒。采用扫描电镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、傅里叶红外光谱仪和固体紫外-可见分光光度计对CdTe纳米颗粒的形貌、结构和光吸收... 以CdCl_(2)·2.5H_(2)O为镉源,TeO_(2)为碲源,水合肼为还原剂,利用共沉淀-还原法制备了CdTe纳米颗粒。采用扫描电镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、傅里叶红外光谱仪和固体紫外-可见分光光度计对CdTe纳米颗粒的形貌、结构和光吸收性能进行表征。结果表明,水浴温度为80℃、水浴时间为6 h、烧结温度为400℃、烧结时间为2 h时制备的CdTe有较高的结晶度和较好的光吸收性。通过荧光光谱测试发现,CdTe溶液的荧光强度随谷胱甘肽(GSH)浓度的增加而增大,在0.005~0.8 mmol/L检测范围的检测极限(LOD)为0.004 mmol/L。该研究为制备CdTe荧光探测器提供了新技术,而且为解释GSH在CdTe溶液中的荧光响应提供了依据。 展开更多
关键词 共沉淀-还原法 cdte 电子转移 荧光响应 GSH 生物荧光探测器 光电材料
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Enhanced K-Edge Radiography Using a High-Spatial-Resolution Cadmium Telluride Array Detector
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作者 Manabu Watanabe Eiichi Sato +5 位作者 Yasuyuki Oda Hodaka Moriyama Osahiko Hagiwara Hiroshi Matsukiyo Toshiyuki Enomoto Shinya Kusachi 《International Journal of Medical Physics, Clinical Engineering and Radiation Oncology》 2018年第3期296-307,共12页
To confirm the imaging effect of a dual-energy (DE) cadmium telluride (CdTe) array detector (XCounter, Actaeon) and to perform fundamental studies on DE computed tomography, we performed enhanced K-edge radiography us... To confirm the imaging effect of a dual-energy (DE) cadmium telluride (CdTe) array detector (XCounter, Actaeon) and to perform fundamental studies on DE computed tomography, we performed enhanced K-edge radiography using iodine (I) and gadolinium (Gd) media. DE radiography was performed using an X-ray generator with a 0.1-mm-diam-focus tube and a 0.5-mm-thick beryllium window, a 1.0-mm-thick aluminum filter for absorbing extremely low-energy photons, and the CdTe array detector with pixel dimensions of 0.1 × 0.1 mm2. Each pixel has a charge-sensitive amplifier and a dual-energy counter, and the event pulses from the amplifier are sent to the counter to determine two threshold energies. The tube current was a maximum value of 0.50 mA, and the tube voltages for I- and Gd-K-edge radiograms were 60 and 80 kV, respectively. In the I-K-edge radiography of a dog-heart phantom at an energy range of 33 - 60 keV, the muscle density increased, and fine coronary arteries were visible. Utilizing Gd-K-edge radiography of a rabbit head phantom at an energy range of 50 - 80 keV, the muscle density increased, and fine blood vessels in the nose were observed at high contrasts. Using the DE array detector, we confirmed the image-contrast variations with changes in the threshold energy. 展开更多
关键词 X-Ray Photon COUNTING cdte-Array detector DUAL-ENERGY Energy-Dispersive RADIOGRAPHY I-K-Edge RADIOGRAPHY Gd-K-Edge RADIOGRAPHY
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手持式快速核素检测仪的研制 被引量:2
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作者 杨强 赖万昌 +2 位作者 花永涛 葛良全 王广西 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期781-784,共4页
多用途手持式核素检测仪以基于ARM7的多道分析器为核心,可选配电致冷CdTe半导体探测器或闪烁计数器。内嵌常见的天然和人工放射线核素库,可实现现场原位测量和核素检测。实验表明,CdTe探测器对59.54和0.662 keVγ射线的能量分辨率分别可... 多用途手持式核素检测仪以基于ARM7的多道分析器为核心,可选配电致冷CdTe半导体探测器或闪烁计数器。内嵌常见的天然和人工放射线核素库,可实现现场原位测量和核素检测。实验表明,CdTe探测器对59.54和0.662 keVγ射线的能量分辨率分别可达0.8和5.9 keV,能完成中、低能核素的检测。闪烁计数器可实现中、高能射线的核素检测。 展开更多
关键词 核素检测 核仪器 ARM7 cdte探测器
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碲锌镉探测器对低能X射线的探测 被引量:7
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作者 张岚 李元景 +5 位作者 朱维彬 郑晓翠 罗丛 毛绍基 李元景 邓智 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期517-520,共4页
介绍了碲锌镉探测器对低能X射线的探测,并在不同温度下测试了其性能变化,包括电子学噪声,能量分辨率和漏电流的变化。同时研制了低噪、性能稳定的厚膜电路用于单路信号的读出,对241Am的60keV能量峰的能量分辨率达到了4%。
关键词 CDZNTE cdte 半导体探测器
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像素CdZn Te探测器的研制 被引量:2
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作者 张岚 李元景 +3 位作者 毛绍基 邓智 朱维彬 李树伟 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期307-309,306,共4页
介绍了研究的像素CdZnTe探测器的研发情况,包括探测器的制作和性能检测。4×4面阵CdZnTe的尺寸为11 mm×11 mm×6.3 mm,像素为2 mm×2mm。性能最好的一个像素对137Cs662keV伽玛射线的能量分辨率达到了1.4%,在加保护环... 介绍了研究的像素CdZnTe探测器的研发情况,包括探测器的制作和性能检测。4×4面阵CdZnTe的尺寸为11 mm×11 mm×6.3 mm,像素为2 mm×2mm。性能最好的一个像素对137Cs662keV伽玛射线的能量分辨率达到了1.4%,在加保护环并进行各像素峰位归一修正后,整个CdZnTe探测器对137Cs 662keVγ射线的能量分辨率为2.08%。 展开更多
关键词 CDZNTE cdte 半导体探测器
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碲镉汞高温中波红外探测器的制备研究 被引量:7
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作者 杨朝臣 张冰洁 +5 位作者 杜宇 陈晓静 周文洪 刘斌 黄立 张传杰 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期204-208,共5页
采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要... 采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要在MCT材料改进和器件加工工艺上继续深入研究,才能提高探测器的工作温度和稳定性。 展开更多
关键词 碲镉汞 高温中波 cdte/ZnS双层钝化 红外探测器
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光子探测器在芬兰HIP和克罗地亚RBI的研发制作(英文)
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作者 Brücken Erik Gadda Akiko +10 位作者 Ott Jennifer Naaranoja Tiina Martikainen Laura Karadzhinova-Ferrer Aneliya Kalliokoski Matti Golovlova Maria Kirschenmann Stefanie Litichevskyi Vladyslav Petrine Ana Luukka Panja Harkonen Jaakko 《湘潭大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第4期115-120,共6页
该文描述了碲化镉(CdTe)探测器,硅漂移探测器和外加一层转换闪烁体硅探测器(SiS)的设计与制作方法 .这些硅及CdTe芯片制作工艺及其连接方法是在芬兰的Micronova中心完成的.与硅工艺不同的是,CdTe工艺必须在低于150℃的温度下完成.我们... 该文描述了碲化镉(CdTe)探测器,硅漂移探测器和外加一层转换闪烁体硅探测器(SiS)的设计与制作方法 .这些硅及CdTe芯片制作工艺及其连接方法是在芬兰的Micronova中心完成的.与硅工艺不同的是,CdTe工艺必须在低于150℃的温度下完成.我们因此专门为CdTe探测器开发了一种低温原子层淀积的氧化铝(Al2O3)薄膜工艺,大小为(10×10×1)mm3的CdTe晶圆由一种无接触的光刻工艺完成.探测器性能是由电流-电压(I-V),电容-电压(C-V)、瞬间电流方法和精确微质子数方法来检测的.实验结果与具有材料和缺陷参数的TCAD模拟结果相符. 展开更多
关键词 硅探测器 碲化镉探测器 I-V、C-V 和TCT方法 原子层淀积(ALD)法
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用蒙特卡罗方法模拟直接转换X射线探测器的响应特性
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作者 桂建保 郭金川 +1 位作者 杨勤劳 牛憨笨 《高能物理与核物理》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第10期933-937,共5页
采用Monte Carlo方法模拟了HgI_2、非晶Se和CdTe几种直接X射线转换探测器在医用X射线范围(10—100keV)的透过谱、背向散射谱、吸收效率和光电灵敏度.对X射线和HgI_2的作用过程模拟采用了EGSmc Monte Carlo代码系统,对信号电荷的产生考... 采用Monte Carlo方法模拟了HgI_2、非晶Se和CdTe几种直接X射线转换探测器在医用X射线范围(10—100keV)的透过谱、背向散射谱、吸收效率和光电灵敏度.对X射线和HgI_2的作用过程模拟采用了EGSmc Monte Carlo代码系统,对信号电荷的产生考虑了电荷产生的高斯噪声和材料深陷阱作用造成的部分电荷收集影响.结果表明,载流子平均自由程(Schubweg)在相对于探测材料厚度较小时,陷阱作用能很大地影响探测灵敏度.HgI_2的灵敏度是非晶Se的5倍以上,CdTe的灵敏度是非晶Se的10倍以上,采用高Z序数材料可以大大提高探测灵敏度. 展开更多
关键词 蒙特卡罗模拟 碘化汞 非晶硒 碲化镉 X射线探测器
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