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低介电常数陶瓷复合基板材料
被引量:
5
1
作者
田民波
梁彤翔
《半导体情报》
1995年第6期7-13,共7页
复合陶瓷材料具有较低的介电常数,可与Cu、Ag导体共烧得到多层基板。这种基板适合于LSI高速、高集成度的要求。本文介绍了复合陶瓷基板材料的特征及降低介电常数的措施。
关键词
陶瓷
玻璃
介电常数
复合基板
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职称材料
题名
低介电常数陶瓷复合基板材料
被引量:
5
1
作者
田民波
梁彤翔
机构
清华大学材料科学与工程系
出处
《半导体情报》
1995年第6期7-13,共7页
文摘
复合陶瓷材料具有较低的介电常数,可与Cu、Ag导体共烧得到多层基板。这种基板适合于LSI高速、高集成度的要求。本文介绍了复合陶瓷基板材料的特征及降低介电常数的措施。
关键词
陶瓷
玻璃
介电常数
复合基板
Keywords
ceramic
,
glass
,
dielectric constant
,
sintering
,
composite substrate
,
hybrid circuits
分类号
TN304.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
低介电常数陶瓷复合基板材料
田民波
梁彤翔
《半导体情报》
1995
5
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