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低介电常数陶瓷复合基板材料 被引量:5
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作者 田民波 梁彤翔 《半导体情报》 1995年第6期7-13,共7页
复合陶瓷材料具有较低的介电常数,可与Cu、Ag导体共烧得到多层基板。这种基板适合于LSI高速、高集成度的要求。本文介绍了复合陶瓷基板材料的特征及降低介电常数的措施。
关键词 陶瓷 玻璃 介电常数 复合基板
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