洁净室散发的VOC的特性与测量

现代半导体洁净室中,生产过程所产生的有机挥发物(VOC)已成为影响产品品质的关键问题之一。本文对洁净室里VOC的来源进行了分析,并对人体和洁净室结构材料产生的VOC的特性和测量方法进行了讨论。