磁控溅射制备Co_(1-x)Pt_x:C复合纳米颗粒薄膜的研究

采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx∶C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt∶C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄膜的应用进行了初步研究。发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt∶C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt∶C薄膜中观察到垂直各向异性现象。通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、垂直磁晶各向异性较高的薄膜。晶格结构和晶粒之间的作用力可认为是影响CoPt∶C薄膜磁性能的主要因素。

Pt浓度对磁控溅射制备Co_(1-x)Pt_x:C薄膜的影响

采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,研究发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象。通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、高的垂直磁晶各向异性能的薄膜。综合考虑,薄膜的最佳成分为Co47Pt53:C,此时矫顽力达到最大。