通过金相组织观察、XRD分析和透磁率检测,研究了Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金微观组织,并通过分析材料组织与透磁率(pass through flux,PTF)变化,得到热机械处理对透磁率的影响。结果表明:真空熔炼制备的Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金有...通过金相组织观察、XRD分析和透磁率检测,研究了Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金微观组织,并通过分析材料组织与透磁率(pass through flux,PTF)变化,得到热机械处理对透磁率的影响。结果表明:真空熔炼制备的Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金有大量枝晶组织,主要包含Co基体和枝晶结构的(Co,Ta)_(11)Zr_(2)。采用轧制及热处理后,合金内部枝晶结构破碎,发生球化。合金中Co基体中的fcc相转变为hcp相,hcp相中(0001)含量的增加提高了靶材透磁率。展开更多
文摘通过金相组织观察、XRD分析和透磁率检测,研究了Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金微观组织,并通过分析材料组织与透磁率(pass through flux,PTF)变化,得到热机械处理对透磁率的影响。结果表明:真空熔炼制备的Co_(90)Zr_(7)Ta_(3)三元合金有大量枝晶组织,主要包含Co基体和枝晶结构的(Co,Ta)_(11)Zr_(2)。采用轧制及热处理后,合金内部枝晶结构破碎,发生球化。合金中Co基体中的fcc相转变为hcp相,hcp相中(0001)含量的增加提高了靶材透磁率。
