一种合成金刚石膜的独特方法──燃烧焰法合成金刚石膜述评

燃烧焰法与其他合成金刚石膜的ＣＶＤ法相比，具有设备简单、投资少、膜质量高、生长速率高的特点。本文对燃烧焰法的成膜机理、膜均匀性、大面积成膜、改善膜的质量等方面国内外研究现状进行了述评，最后预测了燃烧焰法可能的发展方向。