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ANALYSIS AND MEASUREMENT FOR THE DYNAMIC ERRORS OF COORDINATE MEASURING MACHINES 被引量:2
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作者 董晨松 张国雄 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 1998年第2期63-67,共5页
The analysis and calculating method of dynamic errors of CMMs during probing are discussed.To relate the dynamic displacement errors with the dynamic rotational errors a method for obtaining the displacement errors at... The analysis and calculating method of dynamic errors of CMMs during probing are discussed.To relate the dynamic displacement errors with the dynamic rotational errors a method for obtaining the displacement errors at the probing position from dynamic rotational errors is presented.It is pointed out that the finite element method might be used for modeling dynamic errors.However,dynamic errors are difficult to be modeled so a combined practical and theoretical approach is needed.In addition,the dynamic errors are measured with inductive position sensors. 展开更多
关键词 coordinate measuring machine (cmm) dynamic error finite element method(FEM)
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ASSESSING THE DYNAMIC ERRORS OF COORDINATE MEASURING MACHINES 被引量:2
2
作者 Dong, Chensong Zhang, Guoxiong Mu, Yuhai 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第4期58-64,共7页
The main factors affecting the dynamic errors of coordinate measuring machines are analyzed. It is pointed out that there are two main contributors to the dynamic errors: One is the rotation of the elements around the... The main factors affecting the dynamic errors of coordinate measuring machines are analyzed. It is pointed out that there are two main contributors to the dynamic errors: One is the rotation of the elements around the joints connected with air bearings and the other is the bending of the elements caused by the dynamic inertial forces. A method for obtaining the displacement errors at the probe position from dynamic rotational errors is presented. The dynamic rotational errors are measured with inductive position sensors and a laser interferometer. The theoretical and experimental results both show that during the process of fast probing, due to the dynamic inertial forces, there are not only large rotation of the elements around the joints connected with air bearings but also large bending of the weak elements themselves. 展开更多
关键词 coordinate measuring machine dynamic error Laser interferometer Inductive position sensor
全文增补中
ERROR COMPENSATION OF COORDINATE MEASURING MACHINES WITH LOW STIFFNESS 被引量:2
3
作者 Zhao Yingjian Zhang Guoxiong (College of Precision Instruments and Optical Electronics, Tianjin University) 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2000年第2期159-164,共6页
A technique for compensating the errors of coordinate measuring machines (CMMs) with low stiffness is proposed. Some additional items related with the force deformation are introduced to the error compensation aquatio... A technique for compensating the errors of coordinate measuring machines (CMMs) with low stiffness is proposed. Some additional items related with the force deformation are introduced to the error compensation aquations. The research was carried on a moving colunm horizontal arm CMM. Experimental results show that both the effects of systematic components of error motions and force deformations are greatly reduced, which shows the effectiveness of proposed technique. 展开更多
关键词 error compensation coordinate measuring machine(cmm) Low stiffness
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Error separation in CMM coordinate metrology
4
作者 Salah H R Ali M G El-Sherbiny 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS 2014年第1期1-9,共9页
Form error measurement is a critical exercise in providing measures for the quality control in the precision manufacturing industry.Coordinate measuring machine (CMM) is one of the automated systems used in the accu... Form error measurement is a critical exercise in providing measures for the quality control in the precision manufacturing industry.Coordinate measuring machine (CMM) is one of the automated systems used in the accurate and precise dimensional measurements and geometrical form.This paper aims to study the effect of dynamic original unforeseeable errors at different undulations per revolution (UPR) of standard artifact measurement using selected two types of CMM touchtriggering stylus.Stylus-type and stylus-speed parameters were adopted and utilized throughout the course of experiment.The results are analyzed using fast Fourier transformation to obtain foreseeable geometrical errors due to CMM machine structure and stylus scanning speeds.The results of experiment successfully indicate that the number of UPR plays an important role in determining the CMM accuracy level of the roundness measurement result.Some specific error equations for stylus system and machine structure responses have been postulated and analysed to empirically predict the accuracy of PRISMOBridge-CMM-type at National Institute for Standards (NIS) in egypt. 展开更多
关键词 coordinate metrology undulation per revolution (UPR)analysis cooridinate measuring machine cmm stylus speed error
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三坐标测量机在精密加工中的误差补偿研究
5
作者 李桂玲 《模具制造》 2024年第7期50-52,共3页
三坐标测量精度对精密加工过程的质量控制有直接影响,研究三坐标测量误差模型与补偿方法,实现高精度测量对提升精密加工质量意义重大。分析了三坐标测量机的误差来源及分类,重点研究误差建模识别与补偿核心技术,并阐述误差补偿技术在航... 三坐标测量精度对精密加工过程的质量控制有直接影响,研究三坐标测量误差模型与补偿方法,实现高精度测量对提升精密加工质量意义重大。分析了三坐标测量机的误差来源及分类,重点研究误差建模识别与补偿核心技术,并阐述误差补偿技术在航空航天、半导体集成电路、精密模具等领域中的实际应用情况。研究表明,当前的误差补偿技术可以有效提高三坐标测量机的重复性、重现性和绝对精度,为精密加工提供高效的质量检验与动态控制保障。 展开更多
关键词 三坐标测量机 误差补偿 精密加工 质量检验
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等高法叶片型面CMM测量数据处理算法研究 被引量:22
6
作者 蔺小军 郭研 +4 位作者 吴广 樊宁静 江波 高晓斐 赵赟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2442-2450,共9页
三坐标测量机对叶片进行测量是保证叶片加工质量的必要手段。但是其型面测量数据处理非常复杂。在分析不同叶片型面公差的基础上,提出了恒值轮廓度、变值轮廓度、正轮廓度和负轮廓度公差带的建立方法。针对叶片等高法测量,在数据处理时... 三坐标测量机对叶片进行测量是保证叶片加工质量的必要手段。但是其型面测量数据处理非常复杂。在分析不同叶片型面公差的基础上,提出了恒值轮廓度、变值轮廓度、正轮廓度和负轮廓度公差带的建立方法。针对叶片等高法测量,在数据处理时采用最小区域原则对测量点和理论截面轮廓线进行匹配以分离叶片叶型误差、扭转误差和弯曲变形误差,并提出了基于公差带的匹配目标函数、匹配方法和有约束的匹配原则。针对叶片叶型参数计算,提出了叶片前后缘圆弧拟合方法和最大厚度计算方法。最后通过实例表明该算法对叶型参数和误差计算的正确性。 展开更多
关键词 叶片测量 等高法 坐标测量机 匹配 叶型误差
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CMM测量正交面齿轮的误差理论分析 被引量:6
7
作者 王志 石照耀 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期663-667,共5页
基于面齿轮啮合理论和面齿轮坐标转换关系建立了面齿轮齿面数学模型,分析了面齿轮齿面上任一点的法线向量;基于该模型研究了在采用坐标测量机测量面齿轮齿面误差时由于测量坐标系和面齿轮设计坐标系不重合造成的误差,同时分析了坐标测... 基于面齿轮啮合理论和面齿轮坐标转换关系建立了面齿轮齿面数学模型,分析了面齿轮齿面上任一点的法线向量;基于该模型研究了在采用坐标测量机测量面齿轮齿面误差时由于测量坐标系和面齿轮设计坐标系不重合造成的误差,同时分析了坐标测量机测头直径对测量误差的影响;提出了误差补偿公式,为面齿轮的坐标测量奠定了理论基础. 展开更多
关键词 面齿轮 误差 三坐标测量机
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高速扫描CMM的几何动态误差 被引量:1
8
作者 陈燕玲 韦进文 郭俊杰 《桂林理工大学学报》 CAS 北大核心 2011年第2期303-308,共6页
利用有限元软件研究了CMM在快速探测时导轨几何误差的动态模型。研究表明,X导轨的绕Y和Z方向的角误差εY(x)与εZ(x)能产生显著的动态效应。它们的动态误差造成CMM,尤其是低刚度CMM中对应测端静态分量大的改变。由此,提出一个能提高CMM... 利用有限元软件研究了CMM在快速探测时导轨几何误差的动态模型。研究表明,X导轨的绕Y和Z方向的角误差εY(x)与εZ(x)能产生显著的动态效应。它们的动态误差造成CMM,尤其是低刚度CMM中对应测端静态分量大的改变。由此,提出一个能提高CMM快速探测时误差补偿精度的简单方法,即根据探测速度及Y坐标值对几何误差曲线进行平滑化。 展开更多
关键词 坐标测量机(cmm) 快速探测 几何误差 动态误差 误差补偿 有限元
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三坐标测量机辅助工装检测误差补偿策略研究
9
作者 蒋雪 梁爽 《成都航空职业技术学院学报》 2024年第3期81-84,共4页
随着先进制造技术的迅猛发展,对零件精度的要求也在不断提升,而误差检测的准确性是确保零件精度的重要前提。在三坐标测量机的工作过程中,运动轴的几何误差会显著影响检测结果。为提高检测精度和效率,设计了一款用于三坐标测量机的辅助... 随着先进制造技术的迅猛发展,对零件精度的要求也在不断提升,而误差检测的准确性是确保零件精度的重要前提。在三坐标测量机的工作过程中,运动轴的几何误差会显著影响检测结果。为提高检测精度和效率,设计了一款用于三坐标测量机的辅助工装,并通过对主要运动方向进行微调,实现对工件检测误差的精准补偿。以齿轮误差检测为例,根据检测系统的拓扑结构,可以推导出Houston较低序号物体阵列,建立含工装和齿轮的几何误差传递模型。研究结果为检测误差补偿提供了理论依据,也为其他多轴运动的误差传递模型提供了参考。 展开更多
关键词 三坐标测量机 几何误差 精度检测 误差补偿
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基于CMM的线轮廓度误差测量与评定技术 被引量:5
10
作者 路坦 高雷 +1 位作者 安涛 桂贵生 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2011年第10期75-77,共3页
针对动车轮踏面线轮廓度误差检测,研究使用三坐标测量机检测平面线轮廓度误差的方法。以踏面轮廓CAD图形节点数据描述理论轮廓,以实际踏面轮廓探测点数据描述被测轮廓,应用最小二乘法和条件约束优化方法计算和评定线轮廓度误差。该方法... 针对动车轮踏面线轮廓度误差检测,研究使用三坐标测量机检测平面线轮廓度误差的方法。以踏面轮廓CAD图形节点数据描述理论轮廓,以实际踏面轮廓探测点数据描述被测轮廓,应用最小二乘法和条件约束优化方法计算和评定线轮廓度误差。该方法的优点是分离和消除被测轮廓与理论轮廓间的位置误差对轮廓度误差评定结果的影响。 展开更多
关键词 线轮廓度误差 最小二乘法 三坐标测量机
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整体叶轮在分度装置装夹下的CMM测量方法研究 被引量:1
11
作者 潘金川 刘胜兰 +1 位作者 张丽艳 王晓飞 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2015年第9期1388-1393,共6页
利用三坐标测量机测量整体叶轮,需要分度装置来满足各个叶片的测量。由于各种误差特别是安装误差的影响,会引起整体叶轮中心轴与分度装置的中心轴不重合从而产生运动偏心,使得测头无法顺利接触叶片并影响整体叶轮叶片型面的检测精度。... 利用三坐标测量机测量整体叶轮,需要分度装置来满足各个叶片的测量。由于各种误差特别是安装误差的影响,会引起整体叶轮中心轴与分度装置的中心轴不重合从而产生运动偏心,使得测头无法顺利接触叶片并影响整体叶轮叶片型面的检测精度。提出两种测量策略:分次独立坐标系测量法和统一坐标系测量法。前者在每次分度后都重新建立坐标系,减少分度过程中造成的误差;后者只建立一次坐标系,通过计算叶轮中心与分度装置中心间的偏心来进行误差补偿。 展开更多
关键词 整体叶轮 分度装置 偏心 三坐标测量机 测量方法
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整体叶盘叶片型面高精度六轴检测与误差补偿方法研究 被引量:1
12
作者 郑刚 闫立方 +1 位作者 张开伟 张旭 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期908-915,922,共9页
为提高三坐标测量机对整体叶盘的测量效率和精度,解决大尺寸整体叶盘超出测量机量程等问题,构建了基于三坐标测量机和高精度转台的六轴测量系统。依据空间坐标变换原理建立了转台坐标系与叶盘工件坐标系的数学模型,提出了一种整体叶盘... 为提高三坐标测量机对整体叶盘的测量效率和精度,解决大尺寸整体叶盘超出测量机量程等问题,构建了基于三坐标测量机和高精度转台的六轴测量系统。依据空间坐标变换原理建立了转台坐标系与叶盘工件坐标系的数学模型,提出了一种整体叶盘不同叶片坐标系随转台旋转后的空间误差补偿方法。检测结果表明,在保证每个叶片型面参数测量精度满足工艺要求的前提下,测量效率平均提高了28.22%。对比未配置转台的测量数据,新的六轴测量系统测量水平整体叶盘叶片型面轮廓对比误差基本在0.008 mm以内,最大对比误差小于0.015 mm,比测量倾斜整体叶盘的误差更小且更稳定。 展开更多
关键词 三坐标测量机 整体叶盘 转台 六轴系统 误差补偿
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三坐标测量机动态误差研究分析 被引量:22
13
作者 费业泰 赵静 +1 位作者 王宏涛 马修水 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期773-776,共4页
现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的速度和精度要求。高速三坐标测量机已成为测量机发展的一个重要趋势,但测量机速度的提高使动态误差成为了影响测量机精度的主要因素。阐明了三坐标测量机动态误差的概念,分析了测量机的主要... 现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的速度和精度要求。高速三坐标测量机已成为测量机发展的一个重要趋势,但测量机速度的提高使动态误差成为了影响测量机精度的主要因素。阐明了三坐标测量机动态误差的概念,分析了测量机的主要动态误差源,并对国内外各种减小动态误差影响的技术进行了较全面的分析。 展开更多
关键词 三坐标测量机 动态误差 误差补偿
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关节臂式坐标测量机角度传感器偏心参数辨识 被引量:26
14
作者 王文 林铿 +1 位作者 高贯斌 陈子辰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期135-141,共7页
对关节臂式坐标测量机中圆光栅角度传感器分度盘安装存在的偏心误差进行修正,可以有效提高测量机的测量精度。为了实现坐标测量机动态、实时的现场标校,建立了一种六自由度关节臂式坐标测量机的坐标系统,分析了圆光栅分度盘的安装偏心... 对关节臂式坐标测量机中圆光栅角度传感器分度盘安装存在的偏心误差进行修正,可以有效提高测量机的测量精度。为了实现坐标测量机动态、实时的现场标校,建立了一种六自由度关节臂式坐标测量机的坐标系统,分析了圆光栅分度盘的安装偏心对角度测量的影响,推导了由于偏心引起的测量误差及其修正公式。分析表明,较小的安装偏心便会引起较大的角度测量偏差。以测量机的单点重复测量精度为目标函数,提出了一种基于模拟退火算法的角度传感器偏心参数辨识方法,并将其用于测量机关节圆光栅12个偏心参数的辨识和修正,实验结果表明,修正之后测量机的重复测量精度提高了11.3%。 展开更多
关键词 关节臂式坐标测量机 角度传感器 偏心误差 参数辨识 误差修正
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零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析 被引量:21
15
作者 黄强先 余夫领 +2 位作者 宫二敏 王晨晨 费业泰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期664-671,共8页
为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量... 为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动,x导轨和y导轨采用共平面结构;工作台三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,x向和y向测量系统的测量线与xy导轨面共面。针对本工作台的特点,在参考常规三坐标测量机误差分析的基础上,详细分析了该工作台中各项误差的影响,给出了影响测量机不确定度的主要误差源,并对这些误差提出了修正方法。在研制的工作台上对一等量块进行了实验测试。结果显示,一等量块工作面的平面度测量标准差为11nm,台阶高度标准差为21nm,其中台阶高度测量平均值与检定值相差1nm。理论分析和实验结果表明,所研制的工作台从结构上避免了CMM中多项误差源的影响,尤其是避免了阿贝误差的影响,可用于高精度的三维测量。 展开更多
关键词 三维纳米工作台 纳米三坐标测量机 阿贝误差 误差修正
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基于步距规的坐标测量机的误差补偿方法 被引量:16
16
作者 位恒政 王为农 +1 位作者 裴丽梅 郑庆国 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2374-2380,共7页
数值误差补偿是提高三坐标测量机测量精度的经济而有效的手段。利用步距规在测量空间的不同位置与几何误差的数学关系,提出一种基于步距规的三坐标测量机的误差分析方法,得出三坐标测量机的定位误差、角摆误差、垂直度误差和直线度误差... 数值误差补偿是提高三坐标测量机测量精度的经济而有效的手段。利用步距规在测量空间的不同位置与几何误差的数学关系,提出一种基于步距规的三坐标测量机的误差分析方法,得出三坐标测量机的定位误差、角摆误差、垂直度误差和直线度误差,并在三坐标测量机上进行了误差补偿实验,验证了该方法的有效性。该方法对机床导轨的几何误差分析也同样适用。 展开更多
关键词 步距规 几何误差 误差补偿 三坐标测量机
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基于RBF神经网络的关节转角误差补偿 被引量:24
17
作者 高贯斌 王文 +1 位作者 林铿 陈子辰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期20-24,共5页
关节转角误差对关节臂式坐标测量机的精度有非常重要的影响,影响关节转角误差的因素众多,难以用准确的数学模型来描述,为此提出一种采用三坐标测量机标定关节转角误差、基于径向基函数(Radial basis function,RBF)神经网络进行关节转角... 关节转角误差对关节臂式坐标测量机的精度有非常重要的影响,影响关节转角误差的因素众多,难以用准确的数学模型来描述,为此提出一种采用三坐标测量机标定关节转角误差、基于径向基函数(Radial basis function,RBF)神经网络进行关节转角误差补偿的方法。应用该方法对关节臂式坐标测量机6个关节的转角误差进行离散标定,标定数据训练各关节的RBF神经网络,使用经过训练的RBF神经网络分别对6个关节进行转角误差补偿。试验结果表明经过补偿后关节转角精度提高了约两个数量级,基于RBF神经网络的补偿效果优于正弦函数补偿模型,且其适用范围更广,具有很强的工程应用价值。 展开更多
关键词 角度测量 误差补偿 关节臂式坐标测量机 径向基函数神经网络 标定
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便携式三坐标测量臂校准和误差补偿 被引量:15
18
作者 刘万里 曲兴华 闫勇刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期81-84,共4页
本文提出了用高精度正交三坐标测量机作为空间位置基准,校准便携式三坐标测量臂空间位置误差的方法。采用Denavit-Hartenbeng方法建立了测量臂的测量方程及误差模型。测量臂给出其工作空间内三维坐标位置的测量值与三坐标测量机提供的... 本文提出了用高精度正交三坐标测量机作为空间位置基准,校准便携式三坐标测量臂空间位置误差的方法。采用Denavit-Hartenbeng方法建立了测量臂的测量方程及误差模型。测量臂给出其工作空间内三维坐标位置的测量值与三坐标测量机提供的标准值,分别代入测量臂的误差模型,以误差模型的计算结果作为补偿量,建立误差数据库,直接对测量臂空间位置误差进行校准和误差补偿。利用海克斯康G9128三坐标测量机对FARO便携式三坐标测量臂校准和误差补偿进行了实验研究,并对误差补偿前后实验结果进行了分析与讨论。研究结果表明该方法可有效、快速地对便携式三坐标测量臂空间位置误差进行校准和补偿。 展开更多
关键词 便携式三坐标测量臂 三坐标测量机 校准 误差补偿
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关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿 被引量:24
19
作者 罗哉 刘晖 +1 位作者 田焜 李冬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1159-1167,共9页
针对接触测量力对关节臂式坐标测量机(AACMM)测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理论和实验分析,得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节臂式坐标测... 针对接触测量力对关节臂式坐标测量机(AACMM)测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理论和实验分析,得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节臂式坐标测量机测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形的数学模型,并对测量结果进行了测量力误差补偿。实验结果研究表明,测量力引起的误差对接触式关节臂式坐标测量机测量精度影响很大。通过本研究成果,可在很大程度上补偿测量力引起的误差:平均长度测量误差降低82%左右,最大误差降低约47μm,有效地提高了关节臂式坐标测量机的测量精度。 展开更多
关键词 关节臂式坐标测量机 测量力 测杆弯曲变形 误差补偿
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三坐标测量机动态误差补偿的研究 被引量:11
20
作者 宋开臣 张奕群 +1 位作者 李书和 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期23-25,59,共4页
本文研究了三坐标测量机在高速测量过程中的动态误差。针对一移动桥式三坐标测量机,分析了其动态误差的产生原因,建立了动态误差的数学模型,对动态误差进行了全面的测量和补偿。实验证明动态误差具有一定的重复性,可用软件补偿,从... 本文研究了三坐标测量机在高速测量过程中的动态误差。针对一移动桥式三坐标测量机,分析了其动态误差的产生原因,建立了动态误差的数学模型,对动态误差进行了全面的测量和补偿。实验证明动态误差具有一定的重复性,可用软件补偿,从而提高三坐标测量机快速测量的精度。 展开更多
关键词 三坐标测量机 动态误差 误差补偿
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