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电弧离子镀(Ti,Cr)N硬质薄膜的成分、结构与硬度 被引量:7
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作者 陈军 林国强 +2 位作者 陈静 韦江 王富岗 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期555-559,共5页
用 Bulat6型电弧离子镀设备在高速钢表面沉积合成 (Ti,Cr) N硬质薄膜 ,通过改变分离靶弧电流的配置来调节薄膜成分 ,制取了 x =0 .62~ 0 .83的 (Tix Cr1 - x) N薄膜 ;考察了薄膜的成分、结构与硬度间的相互关系 ,明确了 Cr在 Ti N基薄... 用 Bulat6型电弧离子镀设备在高速钢表面沉积合成 (Ti,Cr) N硬质薄膜 ,通过改变分离靶弧电流的配置来调节薄膜成分 ,制取了 x =0 .62~ 0 .83的 (Tix Cr1 - x) N薄膜 ;考察了薄膜的成分、结构与硬度间的相互关系 ,明确了 Cr在 Ti N基薄膜中使硬度提高的合金强化作用 ;结合元素周期律中的基本性质和热力学特征 ,讨论了 Ti、Cr两种元素在 (Ti,Cr) N薄膜的相结构 (fcc) 展开更多
关键词 (Ti cr)n薄膜 合金强化 薄膜成分 电弧离子镀 氮化钛铬 薄膜相结构 合成
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