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Na_2O对MoSi_2/oxide发热元件特性的影响 被引量：2
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作者 赵世柯 王刚 江莞 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2002年第2期167-169,共3页
为了克服半导体热处理炉中MoSi2发热元件的低温氧化问题,通过添加高Na2O粘土获得了由MoSi2/oxide复合材料制成的发热元件,考查了脱Na工艺前后MoSi2/oxide发热元件使用特性的变化.研究结果表明,脱Na工艺较好地解决了半导体制品热处理装... 为了克服半导体热处理炉中MoSi2发热元件的低温氧化问题,通过添加高Na2O粘土获得了由MoSi2/oxide复合材料制成的发热元件,考查了脱Na工艺前后MoSi2/oxide发热元件使用特性的变化.研究结果表明,脱Na工艺较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性有了明显地改善,提高了发热元件的使用寿命. 展开更多
关键词 MoSi2/oxide 二硅化钼 发热元件 蠕变特性 半导体 热处理炉 氧化钠 复合材料 制备装置
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