氧化铬薄膜的界面高分辨研究

氧化铬薄膜具有高的硬度,很好的耐磨、耐蚀性能,因而具有广泛的应用。但是到目前为止还没有看到对其微观结构研究的报道。本文通过扫描电镜、高分辨电镜及原子力显微镜研究了氧化铬薄膜及界面的微观结构。研究发现,在铬过渡层和基体的界面及氧化铬薄膜与铬过渡层间观察到约100 nm厚的非晶态铬和氧化铬,在铬过渡层和基体的界面中存在有Fe—Cr中间相。非晶层的出现为制备涂层表面光滑、晶粒细小、内应力降低、且具有较高厚度的薄膜提供了一个全新的思路。