离子镀制备Cr/W混合过渡层的氢氘辐照效应研究

用双离子束镀膜方法在W基底表面制备不同厚度的Cr薄膜.用冷场扫描电镜能谱分析仪对镀膜样品成分深度分布进行分析,使用重离子加速器对镀膜样品进行高能、低束流的氢或氘辐照,用扫描电镜对样品表面形貌变化进行分析,运用粒子注入射程模拟软件SRIM对氢粒子在Cr/W双层块体中的射程进行模拟分析.实验结果表明,运用双离子束镀膜法能够在膜与基底的接触面区域制得Cr/W混合过渡层;在高能、低束流的氢或氘辐照下,Cr/W混合过渡层易于使气体滞留而起泡,双离子束制备的Cr膜层不易聚集氢或氘气体成泡.