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制作低温度系数的Cr-SiO薄膜电阻的工艺探讨 被引量:1
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作者 张允济 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第3期44-46,共3页
本文提出要制得最低温度系数(TCR)的Cr-SiO薄膜电阻,粉料组份或退火温度必须取在工艺决定的TCR 曲线与横坐标轴交点上.以此作为制作低TCR 的Cr-SiO 薄膜电阻的工艺原则.
关键词 cr-sio 薄膜电阻 低温度系统
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以铜代金作导电带的Cr-SiO薄膜电阻网络
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作者 江德海 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1989年第3期15-17,共3页
将电解铜丝和NiCr丝进行蒸发。为防止氧化,铜膜应侵锡。电阻经150℃大气热处理,即可制成NiCr-Cu导电带。用Cr-SiO作电阻材料。试验证明,这种薄膜具有良好的电气性能。
关键词 导电带 cr-sio薄膜 电阻网络
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仲丁醇在Cu-ZnO-Cr_2O_3/SiO_2催化剂上的脱氢 被引量:9
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作者 王振旅 马红超 +3 位作者 朱万春 井淑波 吉定豪 王国甲 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期308-312,共5页
采用浸渍法制备 Cu-Zn O-Cr2 O3 / Si O2 催化剂 ,考察了反应条件和催化剂的制备条件对仲丁醇脱氢活性和选择性的影响 .借助 XRD,TPD,TPR和 BET等手段对催化剂进行表征 ,结果表明 ,催化剂的焙烧温度、还原温度、还原时间和载体的预处理... 采用浸渍法制备 Cu-Zn O-Cr2 O3 / Si O2 催化剂 ,考察了反应条件和催化剂的制备条件对仲丁醇脱氢活性和选择性的影响 .借助 XRD,TPD,TPR和 BET等手段对催化剂进行表征 ,结果表明 ,催化剂的焙烧温度、还原温度、还原时间和载体的预处理对仲丁醇的转化率和甲乙酮的选择性均有较大影响 . 展开更多
关键词 仲丁醇 Cu-ZnO-Cr2O3/SiO2催化剂 脱氢活性 焙烧温度 还原温度 反应条件
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采用扩散掺铝方法提高Cr-SiO薄膜电阻热稳定性
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作者 王爱云 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1994年第4期31-33,共3页
采用扩散掺铝方法可以显著降低Cr-SiO薄膜电阻的温度系数,1~5kΩ/□,TCR≤±500×10(-6)℃(-1);10kΩ/□,TCR≤±100×10(-6)℃(-1)。该方法尤其适用于设备较为简... 采用扩散掺铝方法可以显著降低Cr-SiO薄膜电阻的温度系数,1~5kΩ/□,TCR≤±500×10(-6)℃(-1);10kΩ/□,TCR≤±100×10(-6)℃(-1)。该方法尤其适用于设备较为简单的蒸发镀膜工艺。 展开更多
关键词 扩散 掺铝 cr-sio 薄膜电阻
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关于“制作低温度系数的Cr—SiO薄膜电阻的工艺探讨”一文的讨论
5
作者 夏银水 竺树声 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1991年第4期46-47,共2页
最近我们收到杭州大学夏银水同志的来稿,对本刊1990年第3期发表的“制作低温度系数的Cr—SiO薄膜电阻的工艺探讨”一文提出了一些不同看法.为贯彻“百花齐放,百家争鸣”的方针,活跃刊物气氛,我们决定将夏银水同志的文章全文发表,以期有... 最近我们收到杭州大学夏银水同志的来稿,对本刊1990年第3期发表的“制作低温度系数的Cr—SiO薄膜电阻的工艺探讨”一文提出了一些不同看法.为贯彻“百花齐放,百家争鸣”的方针,活跃刊物气氛,我们决定将夏银水同志的文章全文发表,以期有兴趣的同志对此展开讨论. 展开更多
关键词 cr-sio薄膜电阻 工艺 低温度系数 标准偏差
全文增补中
制作高薄层电阻值Cr/SiO薄膜电阻的探讨
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作者 张允济 张桂云 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第3期42-43,共2页
本文简要报道了用最佳退火温度制得10kΩ/口的薄膜电阻.其|TCR|(?)40ppm/℃.工艺重复性较好.
关键词 Cr/SiO 薄膜电阻 退火 集成电路
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高效V-Cr-Mo-O/SiO_2催化剂的制备及应用——氨氧化合成酞腈新工艺
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作者 秦玉楠 《中国钼业》 2002年第6期18-21,共4页
气相氨氧化邻二甲苯合成酞腈 (邻苯二甲腈 )是目前最简便、最经济的合成工艺。针对邻二甲苯的特点 ,开发成功选择性高、寿命长、氨与邻二甲苯的物质的量之比 (A2 )较小的新型V -Cr-Mo-O/SiO2 催化剂。经流化床中试生产结果证明 :邻苯二... 气相氨氧化邻二甲苯合成酞腈 (邻苯二甲腈 )是目前最简便、最经济的合成工艺。针对邻二甲苯的特点 ,开发成功选择性高、寿命长、氨与邻二甲苯的物质的量之比 (A2 )较小的新型V -Cr-Mo-O/SiO2 催化剂。经流化床中试生产结果证明 :邻苯二甲腈重量收率可达 78% ,产品纯度≥98% 。 展开更多
关键词 V-Cr-Mo-O/SiO2催化剂 邻苯二甲腈 氨氧化法 邻二甲苯 合成
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