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电弧离子镀Cr1-xAlxN硬质薄膜的成分、结构与性能 被引量:4
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作者 莫亚杰 王明磊 +1 位作者 程玮杰 林国强 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期675-681,共7页
采用电弧离子镀的分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上制备了4组不同Al含量的Cr1-xAlxN硬质薄膜,采用SEM、XPS、GIXRD、Nanoindenter及划痕仪分别表征了薄膜的形貌、成分、相结构和力学性能。结果表明:4组薄膜厚度分别为1.28、1.42、1.6... 采用电弧离子镀的分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上制备了4组不同Al含量的Cr1-xAlxN硬质薄膜,采用SEM、XPS、GIXRD、Nanoindenter及划痕仪分别表征了薄膜的形貌、成分、相结构和力学性能。结果表明:4组薄膜厚度分别为1.28、1.42、1.64和1.79μm;成分x随着Al靶的弧流相对增大而增大,分别为x=0.41、0.53、0.64和0.73;相结构与成分密切相关,当x=0.41时,薄膜呈单一的c-(Cr,Al)N相;而当x≥0.53时,则由c-(Cr,Al)N相和hcp-AlN相混相构成;随着Al含量增加,晶粒尺寸先减小后增大,在x=0.64时达到最小值8.9 nm;相应地硬度则先增大后减小,在x=0.64时达到峰值35.3 GPa;4组Cr1-xAlxN薄膜的膜基结合良好,结合力均在60 N以上。综合测试结果发现,当x=0.53时,Cr1-xAlxN薄膜的韧性最佳,弹性恢复系数最高为57.4%,同时兼具较高的硬度34.7 GPa,此时薄膜具有最佳的综合性能。 展开更多
关键词 电弧离子镀 crALN 硬质薄膜 成分 相结构 力学性能
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Cr_(1-x)Al_xN涂层的微结构和抗氧化性能研究 被引量:11
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作者 钟春良 董师润 +1 位作者 喻利花 许俊华 《表面技术》 EI CAS CSCD 2007年第6期12-14,24,共4页
采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层,通过能谱仪(EDS)测试涂层的成分,X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响。结果表明,涂层取... 采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层,通过能谱仪(EDS)测试涂层的成分,X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响。结果表明,涂层取CrN的面心立方结构生长,且呈(111)择优取向。随着Al含量增加,涂层的晶格常数减小,涂层的高温抗氧化性能显著提高。Cr0.6356Al0.3644N涂层随着氧化温度的升高,表面的Al含量略为上升,在900℃涂层产生裂纹失效。 展开更多
关键词 磁控溅射 cr1-xalxn涂层 微结构 抗氧化
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Ti_3Al基合金表面两种Cr_(1-x)Al_xN(x=0.18,0.47)涂层的热腐蚀性能 被引量:3
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作者 朱明 李美栓 周延春 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期306-311,共6页
利用磁控反应溅射的方法在Ti_3Al基合金表面制备了两种不同铝含量的Cr_(0.82)Al_(0.18)N与Cr_(0.53)Al_(0.47)N涂层,测试了这两种涂层在800℃(Na_2SO_4+25 mass%K_2SO_4)熔融盐膜下的热腐蚀动力学,并采用X射线衍射仪和带能谱的扫描电镜... 利用磁控反应溅射的方法在Ti_3Al基合金表面制备了两种不同铝含量的Cr_(0.82)Al_(0.18)N与Cr_(0.53)Al_(0.47)N涂层,测试了这两种涂层在800℃(Na_2SO_4+25 mass%K_2SO_4)熔融盐膜下的热腐蚀动力学,并采用X射线衍射仪和带能谱的扫描电镜分析腐蚀产物相组成以及微观结构。结果表明,两种涂层均可降低Ti_3Al基合金的热腐蚀速率;涂层热腐蚀产物主要为具有保护性的Cr_2O_3和θ-Al_2O_3混合氧化膜,θ-Al_2O_3的含量随着涂层中Al含量上升递增;和θ-Al_2O_3相比,Cr_2O_3在熔融硫酸盐中的稳定性更好,Cr_(0.82)Al_(0.18)N涂层抗热腐蚀性能优于Cr_(0.53)Al_(0.47)N涂层。 展开更多
关键词 cr1-xalxn涂层 热腐蚀 TI3AL基合金
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Improvement on the Oxidation Resistance of a Ti_3Al Based Alloy by Cr1-xAl_xN (0≤x≤0.47) Coatings 被引量:2
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作者 Ming ZHU Meishuan LI +1 位作者 Shuwang DUO Yanchun ZHOU 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第3期373-378,共6页
Cr1-xAlxN coatings have been deposited on a Ti3Al based alloy by reactive sputtering method. The results of the isothermal oxidation test at 800-900℃ showed that Cr1-xAlxN coatings could remarkably reduce the oxidati... Cr1-xAlxN coatings have been deposited on a Ti3Al based alloy by reactive sputtering method. The results of the isothermal oxidation test at 800-900℃ showed that Cr1-xAlxN coatings could remarkably reduce the oxidation rate of the alloy owing to the formation of Al2O3+Cr2O3 mixture oxide scale on the surface of the coatings. No spallation of the coatings or oxide scales took place during the cyclic oxidation at 800℃. Ti was observed to diffuse into the coatings, the diffusion distance of which was very short, and the diffusion ability of it was proportional to the AI content in the coatings. Compared to Ti, Nb can diffuse much more easily through the whole coatings and oxide scales. 展开更多
关键词 cr1-xalxn coatings OXIDATION INTERDIFFUSION Ti3Al based alloy
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B和Si掺杂对CrAlN涂层结构和切削钛合金寿命的影响
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作者 王羽中 史耀耀 +1 位作者 张国飞 贺云鹏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期360-366,393,共8页
目的 CrAlN涂层以其优异的抗氧化性能被广泛应用于切削刀具涂层领域,针对CrAlN涂层热稳定性较低,在超过900℃后会发生热分解,导致其力学性能显著下降的问题,通过B、Si共掺杂方法改善CrAlN涂层的性能。方法 采用阴极弧蒸发方法制备Cr_(0.... 目的 CrAlN涂层以其优异的抗氧化性能被广泛应用于切削刀具涂层领域,针对CrAlN涂层热稳定性较低,在超过900℃后会发生热分解,导致其力学性能显著下降的问题,通过B、Si共掺杂方法改善CrAlN涂层的性能。方法 采用阴极弧蒸发方法制备Cr_(0.42)A1_(0.58)N、Cr_(0.35)Al_(0.59)B_(0.06)N、Cr_(0.37)Al_(0.54) Si_(0.09)N涂层,借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪,通过划痕和切削实验研究B和Si掺杂对CrAlN涂层晶体结构、硬度、结合力、热性能和切削寿命的影响。结果 Cr_(0.42)A1_(0.58)N和Cr_(0.35)A1_(0.59)B_(0.06)N涂层为单相立方结构,Cr_(0.37)Al_(0.54)Si_(0.09)N涂层为立方和六方的两相结构;Cr_(0.42)A1_(0.58)N、Cr_(0.35)Al_(0.59)B_(0.06)N、Cr_(0.37)A1_(0.54)Si_(0.09)N涂层的硬度分别为(29.8±1.5)、(36.9±1.4)、(33.8±1.6)GPa,与基体的结合力分别为116.2、58.3、58.0 N;通过B和Si掺杂抑制了CrAlN涂层的热分解过程,Cr-N键的断裂起始温度由Cr_(0.42)A1_(0.58)N的1 000℃提高到Cr_(0.35)Al_(0.59)B_(0.06)N的1 200℃和Cr_(0.37)Al_(0.54)Si_(0.09)N的1 100℃;在1 100℃下氧化15 h后,Cr_(0.42)A1_(0.58)N、Cr_(0.35)Al_(0.59)B_(0.06)N、Cr_(0.37)Al_(0.54)Si_(0.09)N涂层的氧化层厚度分别为2.38、1.80、0.53μm。结论 通过B和Si掺杂提高了CrAlN涂层的力学性能、热稳定性和抗氧化性,其中CrAlBN涂层呈现出最优异的热稳定性和切削性能,CrAlSiN涂层的抗氧化性最佳。 展开更多
关键词 cr_(1–x)Al_(x)N涂层 多元掺杂 热稳定性 抗氧化性 切削性能
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