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闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB铣刀上的应用与研究
被引量:
1
1
作者
李凌
文晓斌
李小泉
《印制电路信息》
2006年第1期43-45,共3页
介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的超硬纳米梯度复合镀层在PCB铣刀上的应用,实验结果证明,镀层后铣刀的寿命提高到原来的4倍以上。采用SEM和TEM法,分析了镀层的组织与相结构,揭示了镀层提高铣刀寿命的原因。
关键词
PCB铣刀
闭合场非平衡磁控溅射离子镀
超硬纳米梯度复合镀层
craitin
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职称材料
题名
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB铣刀上的应用与研究
被引量:
1
1
作者
李凌
文晓斌
李小泉
机构
西安理工大学材料科学与工程学院
东莞秦人科技有限公司
出处
《印制电路信息》
2006年第1期43-45,共3页
文摘
介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的超硬纳米梯度复合镀层在PCB铣刀上的应用,实验结果证明,镀层后铣刀的寿命提高到原来的4倍以上。采用SEM和TEM法,分析了镀层的组织与相结构,揭示了镀层提高铣刀寿命的原因。
关键词
PCB铣刀
闭合场非平衡磁控溅射离子镀
超硬纳米梯度复合镀层
craitin
Keywords
router for PCB closed field unbalanced magnetron sputter ion plating nano-scale graded hard coating
craitin
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ021.3 [化学工程]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB铣刀上的应用与研究
李凌
文晓斌
李小泉
《印制电路信息》
2006
1
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