磁控溅射CrAlCN涂层的结构与性能研究

采用离子化增强磁控溅射设备在硬质合金(YG8)基体表面沉积CrAlCN涂层,通过控制碳靶电流的大小,从而改变涂层中的碳含量。沉积后的涂层进行了纳米硬度、扫描电镜、X射线衍射、电子能谱和洛氏硬度结合力检测。随着碳靶电流的升高,涂层中的碳含量呈线性上升,涂层由晶态逐渐转变为非晶态,当涂层中的碳含量达到某个临界值时,超过临界值的碳以脆性非晶态继续沉积在涂层表面,其硬度低,韧性差,导致涂层的结合力与硬度下降。