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TiAlSiN/CrAlSiN纳米多层涂层刀具干切削TC4钛合金切削性能
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作者 刘杰 华俊芳 +2 位作者 段慧珍 易根苗 邓欣 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期103-109,共7页
钛合金因其化学活性和切削高温引起刀具磨损严重。刀具表面施加涂层是有效地延长刀具服役时间的方法。借助PVD阴极电弧蒸发技术,使用TiAlSi靶和CrAlSi靶交替叠加制成TiAlSiN/CrAlSiN纳米多层涂层刀具,并使用这种刀具分别切削常规钛合金... 钛合金因其化学活性和切削高温引起刀具磨损严重。刀具表面施加涂层是有效地延长刀具服役时间的方法。借助PVD阴极电弧蒸发技术,使用TiAlSi靶和CrAlSi靶交替叠加制成TiAlSiN/CrAlSiN纳米多层涂层刀具,并使用这种刀具分别切削常规钛合金和3D打印钛合金。所制成的TiAlSiN/CrAlSiN纳米多层涂层表现了较高的硬度;切削钛合金时,刀具的磨损形式表现为涂层剥离,前刀面月牙洼,后刀面均匀磨损和刀尖崩刃。引起刀具磨损的主因是粘结,其次是高温氧化。三个切削用量中,切削速度对切削力和切削温度的影响要远大于切削深度和进给量对二者的影响。与常规TC4相比,3D打印TC4因伸长率和硬度下降,弹性模量提高促使切削温度和切削力均低于常规TC4,刀具寿命相应的延长。 展开更多
关键词 纳米多层涂层 TiAlSiN/cralsin 刀具磨损 钛合金 3D打印钛合金
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多弧离子镀CrAlSiN涂层对Cr12MoV钢显微硬度和耐磨性影响的研究
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作者 汪学静 周志明 +4 位作者 袁林 曾潇 陈曦 李成信 曾华成 《热加工工艺》 北大核心 2024年第8期151-154,共4页
为了提高Cr12MoV表面的硬度和耐磨性能,采用多弧离子镀技术在淬火及氮化处理后的Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrAlSiN涂层。结果表明:经淬火、氮化和镀膜处理后Cr12MoV钢的显微硬度得到提高,淬火后镀膜的硬度为3028 HV,氮化后镀膜的硬度为... 为了提高Cr12MoV表面的硬度和耐磨性能,采用多弧离子镀技术在淬火及氮化处理后的Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrAlSiN涂层。结果表明:经淬火、氮化和镀膜处理后Cr12MoV钢的显微硬度得到提高,淬火后镀膜的硬度为3028 HV,氮化后镀膜的硬度为3471 HV,是基体硬度(283HV)的12倍以上。氮化处理后镀膜层的摩擦系数低于淬火后镀膜层的摩擦系数。综合对比各试样的硬度、耐磨性、摩擦系数可知,多弧离子镀CrAlSiN涂层前氮化处理的效果优于淬火处理的。 展开更多
关键词 多弧离子镀 cralsin涂层 CR12MOV钢 淬火 氮化
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Si元素掺杂CrAlSiN涂层海水环境下的磨蚀研究
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作者 许紫婧 刘孟奇 《山东化工》 CAS 2024年第11期54-57,共4页
采用多弧离子镀技术制备不同Si含量的Cr/CrAlSiN涂层,通过SEM、XRD表征了涂层的微观结构和成分,采用Rect摩擦磨损试验机在开路电位下进行摩擦实验。结果表明:涂层的结构主要有CrN相、AlN相以及非晶态Si_(3)N_(4)包裹CrN、AlN相,{111}择... 采用多弧离子镀技术制备不同Si含量的Cr/CrAlSiN涂层,通过SEM、XRD表征了涂层的微观结构和成分,采用Rect摩擦磨损试验机在开路电位下进行摩擦实验。结果表明:涂层的结构主要有CrN相、AlN相以及非晶态Si_(3)N_(4)包裹CrN、AlN相,{111}择优取向最为明显;在海水环境下,开路电位时,Cr/CrAlSiN涂层随着硅含量的增加,摩擦系数先减小后增加。Si原子百分比为5.5%时,平均摩擦系数最小,为0.145;自腐蚀电位为-0.197 V、自腐蚀电流密度0.742μA/cm^(2),有较好的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 Cr/cralsin涂层 耐腐蚀性能 摩擦性能 海水
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CrAlSiN纳米复合涂层的最新研究进展 被引量:1
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作者 郭明璐 范其香 王铁钢 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第12期125-139,共15页
随着工业对切削精度和效率的要求不断提高以及钛合金等难加工材料的出现,具有优异综合性能的新型硬质涂层材料的开发与改性成为研究热点。CrAlSiN涂层因其具有纳米复合结构而表现出超高的硬度,同时具有优异的抗高温氧化和耐磨性能,获得... 随着工业对切削精度和效率的要求不断提高以及钛合金等难加工材料的出现,具有优异综合性能的新型硬质涂层材料的开发与改性成为研究热点。CrAlSiN涂层因其具有纳米复合结构而表现出超高的硬度,同时具有优异的抗高温氧化和耐磨性能,获得了研究者的广泛关注。本文归纳了CrAlSiN涂层的微观结构、力学性能、耐磨性能、高温抗氧化性、高温热稳定性、耐蚀性和切削性能的特点及相关机制;阐述了涂层中Al和Si含量对其微观结构和性能的影响规律及作用机理;综述了元素掺杂(掺Ti、V、O、Mo等)与微观结构设计(添加过渡层、多层和梯度结构)对CrAlSiN涂层微观结构与性能的影响和作用机制;最后对CrAlSiN涂层的发展与研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 cralsin涂层 微观结构 力学性能 掺杂元素 结构设计
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多弧离子镀CrAlSiN涂层对H13钢显微硬度和耐磨性的影响 被引量:2
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作者 翟力 袁海军 +4 位作者 李献锋 胡峰荣 张军 陈文雄 周志明 《热加工工艺》 北大核心 2023年第16期94-98,共5页
研究了多弧离子镀CrAlSiN涂层对淬火、渗氮处理H13模具钢的显微硬度及摩擦性能。结果表明:较之于镀膜处理后的和未镀膜的共6种H13钢,淬火处理后H13钢显微硬度为530 HV;等离子渗氮处理H13钢的显微硬度为1095 HV;镀膜后的H13钢硬度达到269... 研究了多弧离子镀CrAlSiN涂层对淬火、渗氮处理H13模具钢的显微硬度及摩擦性能。结果表明:较之于镀膜处理后的和未镀膜的共6种H13钢,淬火处理后H13钢显微硬度为530 HV;等离子渗氮处理H13钢的显微硬度为1095 HV;镀膜后的H13钢硬度达到2697 HV;镀膜后的淬火处理H13钢硬度为2840 HV,镀膜后的渗氮处理H13钢显微硬度是4010 HV。总体来看,镀膜后其磨损量明显降低,表面质量明显改善,耐磨性得到极大提升。 展开更多
关键词 多弧离子镀 H13模具钢 渗氮处理 cralsin涂层 显微硬度 耐磨性
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Al/Si比例对CrAlSiN/TiVN复合涂层的摩擦和电化学腐蚀性能的影响
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作者 付福兴 秦锦 +1 位作者 朱倩文 田豫 《西安文理学院学报(自然科学版)》 2021年第2期78-81,共4页
通过阴极多弧离子镀膜技术在高速钢试片表面制备CrAlSiN/TiVN涂层,分析了Al/Si比例对CrAlSiN/TiVN涂层表面的微观组织、硬度、摩擦系数以及抗腐蚀性能的影响.研究结果表明:Al/Si比例为80/20的CrAlSiN/TiVN涂层的表面组织相对均匀和致密... 通过阴极多弧离子镀膜技术在高速钢试片表面制备CrAlSiN/TiVN涂层,分析了Al/Si比例对CrAlSiN/TiVN涂层表面的微观组织、硬度、摩擦系数以及抗腐蚀性能的影响.研究结果表明:Al/Si比例为80/20的CrAlSiN/TiVN涂层的表面组织相对均匀和致密,不同Al/Si比例的涂层硬度相对于基材均有明显的提升,其中Al/Si比例为50/50的涂层表面硬度最高,达到了4075 HV,而Al/Si比例为80/20的涂层具有最低的摩擦系数(0.15)和最好的抗腐蚀性能(自腐蚀电位-0.389 V、自腐蚀电流4.40×10^(-6)A·cm^(-2)). 展开更多
关键词 cralsin/tivn涂层 多层 摩檫学性能 耐腐蚀性能
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CrAlSiN涂层斜刃剪切刀具的摩擦及剪切性能研究 被引量:4
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作者 阎秋生 邝志辉 路家斌 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期251-258,共8页
为了研究CrAlSiN涂层的摩擦性能及涂层刀具对电工钢板材剪切性能的影响,采用电弧离子镀工艺在硬质合金基体和斜刃剪切刀具上沉积CrAlSiN涂层。采用球-盘式摩擦磨损试验仪对硬质合金基体和涂层的干式摩擦学行为进行研究。采用剪切加工试... 为了研究CrAlSiN涂层的摩擦性能及涂层刀具对电工钢板材剪切性能的影响,采用电弧离子镀工艺在硬质合金基体和斜刃剪切刀具上沉积CrAlSiN涂层。采用球-盘式摩擦磨损试验仪对硬质合金基体和涂层的干式摩擦学行为进行研究。采用剪切加工试验对比研究了未涂层和涂层刀具对电工钢板材剪切性能的影响,并考察了不同剪切次数时的剪切断面质量、剪切力和刀具的刃口半径变化。研究结果表明:有CrAlSiN涂层的刀具摩擦系数要比未涂层前小11.8%;采用CrAlSiN涂层刀具剪切的电工钢板材的断面质量明显高于未涂层刀具,表现为剪切带增大25.9%、毛刺高度降低29.6%。在正常剪切阶段,涂层刀具的剪切力比未涂层刀具要小9.6%。刀具磨损及刃口半径变化小于未涂层刀具,刀具的剪切性能明显优于未涂层刀具。 展开更多
关键词 cralsin涂层 电工钢 剪切性能 磨损 刃口半径
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CrN/CrAlSiN涂层海水环境下的摩擦学性能 被引量:9
8
作者 刘孟奇 郭惠霞 +2 位作者 王永欣 李金龙 鲁侠 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期63-70,共8页
为提高海洋装备摩擦零部件的摩擦学性能,采用多弧离子镀技术在316L不锈钢上制备了CrN/CrAlSiN涂层。通过XRD、XPS表征涂层的物相及成分,SEM和TEM表征涂层的形貌和微观结构,并用纳米压痕仪测试其硬度,采用摩擦磨损试验机对涂层在大气和... 为提高海洋装备摩擦零部件的摩擦学性能,采用多弧离子镀技术在316L不锈钢上制备了CrN/CrAlSiN涂层。通过XRD、XPS表征涂层的物相及成分,SEM和TEM表征涂层的形貌和微观结构,并用纳米压痕仪测试其硬度,采用摩擦磨损试验机对涂层在大气和海水环境中的摩擦磨损性能进行测试。结果表明:CrN/CrAlSiN涂层的微观结构主要有CrN相、AlN相以及非晶态Si_3N_4包裹CrN、AlN相,(111)择优取向最为明显;基于微观结构与CrN过渡层的设计,CrAlSiN涂层硬度高达35.5 GPa;较之于316L基底,涂层致密的结构使其在海水环境下表现出更好的耐腐蚀性能;在大气和海水环境下,CrN/CrAlSiN涂层的摩擦因数及磨损率均明显降低,在海水环境下达到最优。 展开更多
关键词 CrN/cralsin涂层 耐腐蚀性能 摩擦性能 海水
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Si元素掺杂CrAlSiN涂层的性能研究进展 被引量:10
9
作者 张而耕 何澄 陈强 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期7-14,共8页
多元涂层由于其优异的物理、化学性能被广泛的应用于汽车零部件、航空航天等领域。其中四元涂层CrAlSiN具有比传统CrAlN更高的硬度、优异的耐高温氧化性而受到人们的广泛关注。介绍了目前CrAlSIN涂层的主流制备方法,并概括了Si元素掺杂... 多元涂层由于其优异的物理、化学性能被广泛的应用于汽车零部件、航空航天等领域。其中四元涂层CrAlSiN具有比传统CrAlN更高的硬度、优异的耐高温氧化性而受到人们的广泛关注。介绍了目前CrAlSIN涂层的主流制备方法,并概括了Si元素掺杂对CrAlSiN涂层组织结构、力学性能的影响,以及产生上述影响的作用机理。此外,对比分析了单层CrAlSiN与多层复合CrAlSiN涂层的性能特点,及其对刀具切削性能的影响。对CrAlSIN涂层的多层化、复合化进行了展望,提出多元素掺杂涂层研究的必要性,以及持续开发新型涂层制备工艺的迫切性。发挥多层复合层间结构协同作用是未来涂层研究的主要方向。 展开更多
关键词 cralsin Si元素掺杂 组织结构 力学性能 复合涂层
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CrAlSiN涂层与不同材料配副时的摩擦学特性 被引量:9
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作者 韦春贝 唐明 +3 位作者 林松盛 代明江 侯惠君 李洪 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期181-187,共7页
目的研究CrAlSiN涂层分别与304不锈钢、TC4钛合金、Al_2O_3陶瓷和GCr15钢四种不同材料配副时的摩擦学特性。方法采用阴极电弧离子镀技术在M35高速钢上制备了CrAlSiN涂层,采用扫描电镜(SEM)、显微硬度计、划痕仪、球-盘式摩擦磨损试验仪... 目的研究CrAlSiN涂层分别与304不锈钢、TC4钛合金、Al_2O_3陶瓷和GCr15钢四种不同材料配副时的摩擦学特性。方法采用阴极电弧离子镀技术在M35高速钢上制备了CrAlSiN涂层,采用扫描电镜(SEM)、显微硬度计、划痕仪、球-盘式摩擦磨损试验仪和3D轮廓仪分别测试了涂层的结构和性能。结果 CrAlSiN涂层与304不锈钢、TC4钛合金和GCr15钢配副时的磨损形式为粘着磨损和磨粒磨损,其中与亲和性高的304不锈钢、TC4钛合金粘着磨损严重。CrAlSiN涂层与不锈钢对磨时,摩擦系数最高,达到0.71;与GCr15钢对磨时,摩擦系数最低,但摩擦系数波动大;与钛合金对磨时,摩擦系数介于两者之间。CrAlSiN涂层与亲和性较差的Al_2O_3陶瓷之间的磨损形式为磨粒磨损,随着磨损的进行,摩擦系数逐渐降低。结论 CrAlSiN涂层与亲和性较高的材料对磨时,磨损形式为粘着磨损和磨粒磨损,与亲和性较差的Al_2O_3对磨时为磨粒磨损。 展开更多
关键词 cralsin涂层 304不锈钢 TC4钛合金 GCR15钢 AL2O3陶瓷 摩擦磨损特性
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TiVN涂层的耐磨性与切削性能的关联研究 被引量:2
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作者 范庆波 杨帆 +3 位作者 关晓艳 李浩 樊小强 朱旻昊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1493-1503,共11页
通过多弧离子镀沉积技术制备了TiN和TiVN涂层,对比了两种涂层在不同工况下的摩擦磨损性能和切削性能,并指出影响刀具涂层服役性能的主要因素。结果表明,V元素掺杂有效提高了TiN涂层的硬度和结合力、减小了TiN涂层的摩擦因数和低温下的... 通过多弧离子镀沉积技术制备了TiN和TiVN涂层,对比了两种涂层在不同工况下的摩擦磨损性能和切削性能,并指出影响刀具涂层服役性能的主要因素。结果表明,V元素掺杂有效提高了TiN涂层的硬度和结合力、减小了TiN涂层的摩擦因数和低温下的磨损率,但V容易氧化的特性导致500℃及以上温度TiVN涂层产生较高的磨损率。切削测试表明,在麻花钻的主切削刃和横刃区域两种涂层发生明显的剥落,而在后刀面涂层未发生明显剥落,TiVN涂层较高的膜基结合强度和耐磨性能使得它对刀具的防护效果更佳;刀具涂层的服役性能与其耐磨性能和膜基结合强度有关,刀具的主切削刃和横刃区域对涂层的耐磨性能和膜基结合强度有着苛刻的要求,且切削刃尖端温度较高,对涂层的高温耐磨性能和膜基结合强度要求也高。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIN涂层 tivn涂层 摩擦磨损 切削性能
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CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征 被引量:1
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作者 王志超 王政权 +2 位作者 孙帅 王菁 范其香 《科技与创新》 2019年第2期59-59,62,63,共3页
采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)相,结构致密,与基体的... 采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)相,结构致密,与基体的结合力可达25 N。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射技术 纳米复合cralsin涂层 相结构 力学性能
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磁控溅射Cr/CrN/CrAlSiN复合涂层高温氧化行为研究 被引量:1
13
作者 张雪 常伟杰 +4 位作者 张豪 谢声亮 严臣 韩若祺 多树旺 《江西科技师范大学学报》 2019年第6期31-35,共5页
采用等离子增强磁控溅射(Plasma Enhanced Magnetron Sputtering,PEMS)技术通过改变Al靶功率成功制备了不同Al含量Cr/CrN/CrAlSiN多层纳米复合涂层。本实验先将试样在900℃下保温15 h后随炉冷却至室温,分别采用X射线衍射仪(XRD)、场发... 采用等离子增强磁控溅射(Plasma Enhanced Magnetron Sputtering,PEMS)技术通过改变Al靶功率成功制备了不同Al含量Cr/CrN/CrAlSiN多层纳米复合涂层。本实验先将试样在900℃下保温15 h后随炉冷却至室温,分别采用X射线衍射仪(XRD)、场发射电子扫描显微镜(FESEM)以及能量散射X射线能谱仪(EDS)分析了涂层氧化前后的晶体结构,表、截面形貌及化学元素种类、分布,另外使用原子力显微镜(AFM)表征了涂层的三维形貌与粗糙度。随着Al含量的增加,涂层晶粒尺寸、膜厚度及表面粗糙度均逐渐增大,晶粒沿着CrN(200)晶面呈现出择优取向。氧化后涂层表面形成了致密的Al2O3、SiO2及Cr2O3混合氧化物薄膜,可有效抑制氧的进一步扩散。多层涂层对基体具有良好的保护作用,且Al含量为15.18%时,纳米复合涂层的综合性能最佳。 展开更多
关键词 cralsin涂层 AL掺杂 抗高温氧化性能 氧化机制 磁控溅射
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CrAlSiN涂层的制备及其性能研究 被引量:4
14
作者 陈建国 邝志辉 周志恒 《机电工程技术》 2019年第9期62-64,共3页
利用电弧离子镀技术在硬质合金上涂覆CrAlSiN涂层,研究涂层的微观结构及纳米力学性能。通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了CrAlSiN涂层的微观结构,发现涂层由CrN过渡层和CrAlSiN涂层组成,涂层表面致密,截面呈致密结构,涂层物相主要... 利用电弧离子镀技术在硬质合金上涂覆CrAlSiN涂层,研究涂层的微观结构及纳米力学性能。通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了CrAlSiN涂层的微观结构,发现涂层由CrN过渡层和CrAlSiN涂层组成,涂层表面致密,截面呈致密结构,涂层物相主要以AlN、CrN的固溶相存在。通过纳米压痕和划痕实验研究了CrAlSiN涂层的力学性能,结果发现涂层的纳米硬度为31.445GPa,是涂层前的1.41倍,并且结合力为18.49 N。通过摩擦磨损实验发现涂层后的摩擦系数相对降低11%左右。 展开更多
关键词 cralsin涂层 电弧离子镀 硬质合金 力学性能 摩擦系数
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电弧离子镀制备CrAlSiN/CrN/Cr涂层的电化学腐蚀行为研究
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作者 杜倍庆 李志心 +2 位作者 陈希明 宋德畅 王泽松 《冶金与材料》 2021年第1期1-2,5,共3页
为探寻海洋特种工程装备表面的耐腐蚀性涂层材料,引入一种应用在工业干式切削及压铸件工模具领域中的一种最具代表性的四元CrAlSiN硬质涂层,并研究其电化学腐蚀行为与制备工艺参数的关系。通过改变多弧离子镀工艺中阴极弧电流大小从50A... 为探寻海洋特种工程装备表面的耐腐蚀性涂层材料,引入一种应用在工业干式切削及压铸件工模具领域中的一种最具代表性的四元CrAlSiN硬质涂层,并研究其电化学腐蚀行为与制备工艺参数的关系。通过改变多弧离子镀工艺中阴极弧电流大小从50A到90A,在316 L不锈钢基片上制备了CrAlSIN/CrN/Cr涂层,将这些涂层试片置于3.5%NaCl溶液中进行电化学腐蚀测试实验。结果表明,当阴极CrAlSi靶电流为80A时,涂层表现出良好的抗腐蚀性能。 展开更多
关键词 cralsin/CrN/Cr涂层 电弧离子镀 阴极靶电流 电化学腐蚀
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TC4钛合金表面沉积CrAlSiN涂层的组织与性能 被引量:4
16
作者 吴一若 谢峰 +5 位作者 张月霞 张毓军 刘满红 胡瀚杰 陈全龙 周志明 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期202-207,共6页
为了提高TC4钛合金表面硬度和耐磨性能,通过等离子渗氮技术和多弧离子镀技术相结合的方法对TC4钛合金进行表面改性处理。通过扫描电镜、维氏显微硬度计、三维轮廓仪、高速往复摩擦磨损试验仪和电化学工作站,对比研究了TC4钛合金、渗氮层... 为了提高TC4钛合金表面硬度和耐磨性能,通过等离子渗氮技术和多弧离子镀技术相结合的方法对TC4钛合金进行表面改性处理。通过扫描电镜、维氏显微硬度计、三维轮廓仪、高速往复摩擦磨损试验仪和电化学工作站,对比研究了TC4钛合金、渗氮层和CrAlSiN涂层的显微组织、硬度、耐磨性能和耐腐蚀性能。结果表明,经渗氮处理后,TC4合金表面渗氮层硬度提高了约2倍,在此基础上制备的CrAlSiN涂层的平均硬度高达3222 HV0.025,涂层表面存在少许大颗粒和凹坑;CrAlSiN涂层平均摩擦因数为0.22,磨损机理主要为粘着磨损,对磨副的材料粘着到涂层表面,而涂层几乎无磨损,耐磨性能显著提高。CrAlSiN涂层的自腐蚀电位为-0.542 V,比TC4钛合金基体的自腐蚀电位-0.747 V正移了0.205 V,表明在渗氮层基础上沉积CrAlSiN涂层显著提高了合金的耐电化学腐蚀性能。 展开更多
关键词 TC4钛合金 多弧离子镀 等离子渗氮 cralsin涂层 耐磨性能
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[CrAlSiN/Si_3N_4]_n多层膜的性能和抗氧化行为的研究 被引量:7
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作者 王来森 刘小龙 +1 位作者 张魁 彭栋梁 《金属功能材料》 CAS 2016年第4期17-23,共7页
采用反应溅射的方法制备了一系列不同CrAlSiN层厚度的[(CrAlSiN)d/(Si3N4)0.33nm]n多层膜,并系统研究了CrAlSiN层厚度对其结构、形貌、力学性能和抗氧化行为的影响。研究表明,当CrAlSiN层厚度为3.2nm时,[(CrAlSiN)d/(Si3N4)0.33nm]n纳... 采用反应溅射的方法制备了一系列不同CrAlSiN层厚度的[(CrAlSiN)d/(Si3N4)0.33nm]n多层膜,并系统研究了CrAlSiN层厚度对其结构、形貌、力学性能和抗氧化行为的影响。研究表明,当CrAlSiN层厚度为3.2nm时,[(CrAlSiN)d/(Si3N4)0.33nm]n纳米多层膜具有最优异的力学性能,此时硬度高达34GPa。随后在空气气氛下用高温管式炉对[(CrAlSiN)d/(Si3N4)0.33nm]n多层膜进行氧化实验,氧化温度为700、800、900℃,保温时间2h。实验结果表明,800℃氧化处理后,多层膜仍能保持28.5GPa的硬度值,显示出优秀的抗氧化能力。 展开更多
关键词 [cralsin/Si3N4]n多层膜 硬质涂层 磁控溅射 力学性能 抗氧化性能
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