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Formation of nanocrystalline microstructure in arc ion plated CrN films 被引量:4
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作者 Qi-min WANG Se-Hun KWON Kwang-Ho KIM 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第A01期73-77,共5页
Applying negative bias voltages caused significant microstructure changes in arc ion plated CrN films. Nanocrystalline microstructures were obtained by adjusting the negative bias voltage. Structural characterizations... Applying negative bias voltages caused significant microstructure changes in arc ion plated CrN films. Nanocrystalline microstructures were obtained by adjusting the negative bias voltage. Structural characterizations of the films were carried out using X-ray diffractometry (XRD) and high-resolution transmission electron microscopy (HR-TEM). The results indicated that increasing ion bombardment by applying negative bias voltages resulted in the formation of defects in the CrN films, inducing microstructure evolution from micro-columnar to nanocrystalline. The microhardness and residual stresses of the films were also affected. Based on the experimental results, the evolution mechanisms of the film microstructure and properties were discussed by considering ion bombardment effects. 展开更多
关键词 多弧离子镀 微观结构 铬薄膜 氮化铬 纳米晶 高分辨透射电子显微镜 偏置电压 离子轰击
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Effect of Axial Magnetic Field on the Microstructure and Mechanical Properties of CrN Films Deposited by Arc Ion Plating 被引量:2
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作者 Yan-Hui Zhao Li Xu +3 位作者 Chao-Qian Guo Wen-Jin Yang Guo-Qiang Lin Bao-Hai Yu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期546-553,共8页
CrN films were deposited on the high-speed-steel substrates by arc ion plating. The effect of an axial magnetic field on the microstructure and mechanical properties was investigated. The chemical composition, microst... CrN films were deposited on the high-speed-steel substrates by arc ion plating. The effect of an axial magnetic field on the microstructure and mechanical properties was investigated. The chemical composition, microstructure, surface morphology, surface roughness, hardness and film/substrate adhesion of the film were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy, X-ray diffraction, scanning electron microscope(SEM), surface morphology analyzer, Vickers microhardness test and scratch test. The results showed that the magnetic field puts much effect on the microstructure,chemical composition, hardness and film/substrate adhesion of the Cr N films. The N content increases and Cr content decreases when the magnetic flux density increases from 0 to 30 m T. All of the Cr N films were found to be substoichiometric. With an increase in the magnetic flux density, the film structures change in such way: Cr_2N →Cr_(2-N)+CrN→CrN+Cr_2N→CrN.The SEM results showed that the number of macroparticles(MPs) on the film surface is significantly reduced when the magnetic flux density increases to 10 mT or higher. The surface roughness decreases with the magnetic field, which is attributed to the fewer MPs and sputtered craters on the film surface. The hardness value increases from 2074 HV_(0.025) at 0 mT(without magnetic field) and reaches a maximum value of 2509 HV_(0.025) at 10 m T.The further increase in the magnetic flux density leads to a decrease in the film hardness. The critical load of film/substrate adhesion shows a monotonous increase with the increase in magnetic flux density. 展开更多
关键词 Magnetic field Arc ion plating crn films Hardness Adhesion
原文传递
Cr/CrN Compound Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition for Improving the Performance of Bearing Steel
3
作者 金凡亚 童洪辉 +3 位作者 沈丽如 陈庆川 王苛 Paul K.Chu 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第4期2959-2961,共3页
With the development of industry, much attention has been paid to lengthening the life span of bearings. As reported in this paper, we investigated the Cr/CrN compound films formed on the specimens of W9Cr4V2Mo bearin... With the development of industry, much attention has been paid to lengthening the life span of bearings. As reported in this paper, we investigated the Cr/CrN compound films formed on the specimens of W9Cr4V2Mo bearing steel by ion beam assisted deposition for improving the performance of bearing steels. The Vicker's microhardness, pin-on-disc, electrochemical measurement, XRD and SEM tests were used to characterize and analyze the treated samples. All results indicated that the mechanical properties of the treated samples were good, with the microhardness greater than that of the uncoated specimen, and the wear resistance, the passivity and pitting corrosion resistance increased considerably, the films possessed alternate Cr and CrN compound phases and produced different effects on the improvement of the performance of W9Cr4V2Mo bearing steels with different composing phases. 展开更多
关键词 Cr/crn compound films ion beam assisted deposition bearing steel
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ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
4
作者 沈嘉豪 王静静 +3 位作者 杨志明 岳建岭 李伟 马迅 《有色金属材料与工程》 CAS 2023年第5期53-59,74,共8页
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大... 采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜中CrN相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势;纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势;当ZrYN层厚度为0.9 nm时,纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性,分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m^(1/2)。上述结果表明,随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜出现由晶态向非晶态转变,在非晶态下,能够获得良好的综合力学性能。 展开更多
关键词 crn/ZrYN纳米多层膜 磁控溅射 硬度 韧性
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Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜厚度对结构和性能的影响
5
作者 林松盛 刘若愚 +8 位作者 田甜 吕亮 苏一凡 汪云程 石倩 云海涛 唐鹏 郑彩凤 易出山 《真空》 CAS 2023年第4期1-7,共7页
采用电弧离子镀技术在TC4钛合金表面制备不同厚度的Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜,研究了多层膜厚度对其结构及性能的影响。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、应力测试仪、砂粒冲蚀试验仪和拉伸试验机检测分析了多层膜的... 采用电弧离子镀技术在TC4钛合金表面制备不同厚度的Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜,研究了多层膜厚度对其结构及性能的影响。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、应力测试仪、砂粒冲蚀试验仪和拉伸试验机检测分析了多层膜的表面及截面形貌、微观结构、硬度、结合力、残余应力、抗砂粒冲蚀性能和拉伸性能等。结果表明:随着多层膜厚度的增加,膜层表面颗粒增多,表面质量略有下降,择优取向由(200)晶面逐渐向(111)晶面转变;随着厚度的增加,残余应力逐渐增加,膜层硬度、膜基结合力、裂纹扩展抗力先上升后下降,在厚度为10.58μm时达到最佳,其硬度为3404Hv、结合力为58.6N、裂纹扩展抗力为758.49,抗砂粒冲蚀性能提高3倍以上;TC4钛合金表面镀多层膜后,屈服强度和抗拉强度均略有提升,但断后伸长率降低,当膜层厚度为14.50μm时,断后伸长率较基材降低30%,断裂机制由韧性断裂转变为脆性断裂。在一定范围内增加膜层厚度有利于提升性能,但需合理控制其厚度以减小对钛合金基材的负面影响。 展开更多
关键词 Cr-crn-Cr-CrAlN多层膜 抗砂粒冲蚀性能 拉伸性能 电弧离子镀 钛合金
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CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能 被引量:23
6
作者 付英英 李红轩 +3 位作者 吉利 刘晓红 周惠娣 陈建敏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期34-41,共8页
采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)和不锈钢(1Cr18Mn8Ni5N)基材上制备了CrN和CrAlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化... 采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)和不锈钢(1Cr18Mn8Ni5N)基材上制备了CrN和CrAlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学组成、表面形貌、断面结构和力学性能进行了测试分析。利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察了两种薄膜在不同介质(空气、自来水、oil-1(TAO-40)及oil-2(150BS))中和Al2O3球对磨的摩擦学性能。结果表明:CrN薄膜中Al元素的掺杂并未改变薄膜晶体结构,但却降低了薄膜的表面粗糙度、增强了薄膜的致密性、提高了薄膜的力学性能、改善了水润滑和油润滑条件下薄膜的摩擦学性能。由于CrN和CrAlN薄膜的摩擦磨损性能显著依赖于测试介质,因此重点讨论了它们在不同介质中的摩擦磨损机理。 展开更多
关键词 磁控溅射 crn薄膜 CrAlN薄膜 摩擦磨损
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磁控溅射CrN_x薄膜的制备与力学性能 被引量:17
7
作者 韩增虎 田家万 +2 位作者 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期500-502,共3页
采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列CrNx 薄膜 ,并利用EDS和XRD表征了薄膜的成分和相组成 ,采用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量。研究了氮分压对薄膜成分、相组成和力学性能的影响。结果表明 ,随氮分压的升高 ,薄膜... 采用反应磁控溅射法在不同的氮分压下制备了一系列CrNx 薄膜 ,并利用EDS和XRD表征了薄膜的成分和相组成 ,采用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量。研究了氮分压对薄膜成分、相组成和力学性能的影响。结果表明 ,随氮分压的升高 ,薄膜的沉积速率明显降低 ;薄膜中的氮含量增加 ,相应地 ,相组成从Cr +Cr2 N过渡到单相Cr2 N ,再逐步经Cr2 N +CrN过渡到单相CrN ,并在Cr :N原子比为 1∶2和 1∶1时 ,薄膜的硬度出现极值 (HV2 7.1GPa和HV2 6.8GPa) ,而薄膜的弹性模量则在Cr2 N时呈现 3 5 0GPa的最高值。 展开更多
关键词 制备 磁控溅射 crnX薄膜 氮分压 力学性能
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TC4钛合金表面电弧离子镀TiN/CrN纳米多层薄膜研究 被引量:13
8
作者 胡霖 胡建军 +3 位作者 林国强 张林 孙刚 马国佳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期872-877,共6页
用电弧离子镀技术在TCA钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征。结果表明,薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜,薄膜的... 用电弧离子镀技术在TCA钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征。结果表明,薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜,薄膜的调制周期为60nm,总的厚度约为480nm。与基体钛合金相比,镀膜后样品的表面性能与偏压幅值密切相关并有显著提高:显微硬度从基体的3GPa提高到16.5-24.7GPa;摩擦系数从基体的0.35大幅度降低到0.14—0.17;薄膜与基体结合牢固,膜基临界载荷在60-80N之间。经电弧离子镀TiN/CrN纳米多层薄膜处理后,TC4钛合金可以满足沙粒和尘埃磨损条件下的耐磨性能要求。 展开更多
关键词 TC4钛合金 电弧离子镀 TiN/crn纳米多层薄膜
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CrN基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究 被引量:22
9
作者 张广安 王立平 +1 位作者 刘千喜 薛群基 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期181-186,共6页
采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为面心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al... 采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为面心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体;CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构.复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高,在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力,能够有效阻止裂纹,抗摩擦磨损性能较CrN薄膜均有不同程度的提高. 展开更多
关键词 复合材料 crn基薄膜 结构:摩擦磨损
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DLC和CrN薄膜在油润滑下的摩擦性能 被引量:4
10
作者 王顺花 尚伦霖 +2 位作者 张广安 耿中荣 刘千喜 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期20-25,共6页
文摘采用闭合场非平衡直流磁控溅射技术和阴极电弧离子镀技术在轴承钢表面分别制备了DLC和Cr N薄膜,在全配方发动机油(CF-4,15W/40)润滑条件下,选择DLC/钢、Cr N/钢摩擦配副,用SRV-IV摩擦实验机考察了25℃和100℃时DLC与Cr N薄膜在不同... 文摘采用闭合场非平衡直流磁控溅射技术和阴极电弧离子镀技术在轴承钢表面分别制备了DLC和Cr N薄膜,在全配方发动机油(CF-4,15W/40)润滑条件下,选择DLC/钢、Cr N/钢摩擦配副,用SRV-IV摩擦实验机考察了25℃和100℃时DLC与Cr N薄膜在不同载荷下的摩擦因数和磨损率,并对摩擦界面进行分析。结果表明:DLC和Cr N薄膜在油润滑条件下的摩擦因数都随着载荷的增加而降低;DLC和CF-4构成的固液复合润滑体系具有更加优异的摩擦学性能;活性较高的Cr N薄膜与发动机油中的添加剂相互作用,在摩擦界面上发生摩擦化学反应形成摩擦化学反应膜,并且薄膜表面形成的氧化层有利于提高薄膜在高温时的耐磨性。 展开更多
关键词 DLC薄膜 crn薄膜 摩擦因数 磨损率 摩擦学性能 固液复合润滑 摩擦化学反应
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Cr/CrN多层膜的结构及腐蚀性能研究 被引量:9
11
作者 钟彬 徐小连 +4 位作者 陈义庆 艾芳芳 胡绍伟 王永 李国卿 《真空》 CAS 北大核心 2009年第5期22-25,共4页
利用电弧离子镀设备,在45#钢基体上制备了两种调制比的Cr/CrN多层膜。采用X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、M273A电化学系统等技术分析了薄膜的相结构、表面形貌、横截面元素分布、模拟海水中的抗腐蚀性能。... 利用电弧离子镀设备,在45#钢基体上制备了两种调制比的Cr/CrN多层膜。采用X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、M273A电化学系统等技术分析了薄膜的相结构、表面形貌、横截面元素分布、模拟海水中的抗腐蚀性能。结果表明:膜层主要由CrN、Cr2N和Cr组成,以Cr2N(111)为择优取向;膜层为Cr层-过渡层-CrN层的"三明治"调制结构;Cr/CrN多层膜结构与中间Cr层的存在可以显著提高基体和单层CrN抗腐蚀性能,45#钢+Cr/CrN(5/10)的防护体系抗腐蚀性能最佳。 展开更多
关键词 Crlcrn 多层膜 电弧离子镀 腐蚀
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CrN硬质镀层对磨热固性塑料的摩擦学行为研究 被引量:6
12
作者 冶艳 尚魁平 +3 位作者 鲍明东 徐雪波 葛培林 江利 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期27-29,36,共4页
采用封闭非平衡磁控溅射法制备了CrN硬质镀层,以热固性塑料PA66和ABS为其中一个摩擦副,在Pin-on-disc磨损试验机上测试了对磨CrN硬质镀层和M42高速钢时的摩擦系数。应用立体显微镜和扫描电子显微镜对摩擦副表面磨损轨迹的微观形貌及磨... 采用封闭非平衡磁控溅射法制备了CrN硬质镀层,以热固性塑料PA66和ABS为其中一个摩擦副,在Pin-on-disc磨损试验机上测试了对磨CrN硬质镀层和M42高速钢时的摩擦系数。应用立体显微镜和扫描电子显微镜对摩擦副表面磨损轨迹的微观形貌及磨屑进行了观察和分析。结果表明:CrN硬质薄膜与M42高速钢对磨PA66和ABS塑料时,CrN硬质薄膜的摩擦系数要比高速钢小,而且数值稳定;塑料直接与高速钢对磨的摩擦系数波动较大。 展开更多
关键词 crn硬质薄膜 热固性塑料 摩擦系数 磨损
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磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究 被引量:16
13
作者 李钦虎 王军 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第6期40-41,44,共3页
通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制。结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性... 通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜。用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制。结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能。当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 crn薄膜 抗氧化性
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GNiCr40Al3Ti合金表面Cr-DLC、CrAlN和CrN薄膜在去离子水环境中的摩擦磨损性能 被引量:5
14
作者 詹华 李振东 汪瑞军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期212-217,244,共7页
目的在去离子水环境中,研究GNiCr40Al3Ti合金表面制备的铬掺杂类金刚石(Cr-DLC)、氮化铬铝(CrAlN)和氮化铬(CrN)等薄膜的摩擦磨损性能。方法在GNiCr40Al3Ti合金表面采用离子源辅助非平衡磁控溅射制备Cr-DLC薄膜,采用多弧离子镀技术制备C... 目的在去离子水环境中,研究GNiCr40Al3Ti合金表面制备的铬掺杂类金刚石(Cr-DLC)、氮化铬铝(CrAlN)和氮化铬(CrN)等薄膜的摩擦磨损性能。方法在GNiCr40Al3Ti合金表面采用离子源辅助非平衡磁控溅射制备Cr-DLC薄膜,采用多弧离子镀技术制备CrAlN薄膜和CrN薄膜。利用冷场发射扫描电镜、拉曼光谱仪和X射线衍射仪,对薄膜的微观结构和形貌进行分析。利用显微硬度计、摩擦磨损试验机、白光干涉扫描轮廓仪等,对薄膜的硬度、摩擦磨损性能、磨痕二维轮廓等进行研究。结果在10 h连续的去离子水环境摩擦过程中,CrN薄膜的平均摩擦系数最低,仅为0.17,比GNiCr40Al3Ti合金的摩擦系数降低了54%。与GNiCr40Al3Ti合金相比,其表面制备的Cr-DLC、CrAlN和CrN薄膜在去离子水环境摩擦条件下都减小了磨损体积,其中,CrN薄膜表现出最好的耐磨性,磨损体积为0.017 mm3,仅为GNiCr40Al3Ti合金磨损体积的0.18%。Cr-DLC薄膜与CrAlN薄膜的耐磨性不及CrN薄膜,主要是由薄膜的微观结构造成的,Cr-DLC薄膜的柱状疏松结构造成薄膜过早的被磨穿,CrAlN薄膜中存在的Cr相引起薄膜硬度降低,从而降低了抗剪切的能力。结论在去离子水环境中,CrN薄膜具有最低的摩擦系数和最佳的耐磨性。 展开更多
关键词 去离子水环境 Cr-DLC薄膜 CrAlN薄膜 crn薄膜 摩擦磨损
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离子束增强沉积制备CrN_x薄膜 被引量:7
15
作者 唐宾 朱晓东 +1 位作者 胡奈赛 何家文 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期69-70,共2页
利用离子束增强沉积(IBED)技术制备了CrNx薄膜。对不同能量氮离子轰击所制备的薄膜进行了X射线衍射、X射线光电子能谱分析、膜层断裂韧性以及摩擦学性能研究。试验结果表明,在相同试验条件下,氮离子轰击能量影响CrNx... 利用离子束增强沉积(IBED)技术制备了CrNx薄膜。对不同能量氮离子轰击所制备的薄膜进行了X射线衍射、X射线光电子能谱分析、膜层断裂韧性以及摩擦学性能研究。试验结果表明,在相同试验条件下,氮离子轰击能量影响CrNx薄膜的相组成及取向,低能氮离子轰击所制薄膜具有较高的KIC数值,且表现出更优异的摩擦学性能。 展开更多
关键词 离子束增强沉积 薄膜 氮化铬
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多弧离子镀CrN薄膜的耐腐蚀性能 被引量:4
16
作者 张焱 高原 吴炜钦 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期8-10,6,共3页
单相CrN薄膜较难制取,国外已形成商用,而国内相关研究尚处于起步阶段。采用多弧离子镀技术在45钢表面沉积CrN薄膜,通过扫描电镜观察了CrN薄膜的表面形貌,采用X射线衍射仪对其相结构进行了分析,分别讨论了CrN薄膜在3.5%NaCl溶液、1 mol/L... 单相CrN薄膜较难制取,国外已形成商用,而国内相关研究尚处于起步阶段。采用多弧离子镀技术在45钢表面沉积CrN薄膜,通过扫描电镜观察了CrN薄膜的表面形貌,采用X射线衍射仪对其相结构进行了分析,分别讨论了CrN薄膜在3.5%NaCl溶液、1 mol/L NaOH溶液和1 mol/L H2SO4溶液中的电化学腐蚀性能,在其他制备参数不变的条件下,考察了氩氮流量比对薄膜组织结构以及性能的影响。结果表明:随着氩氮流量比的减小,CrN薄膜表面的液滴尺寸和数目逐渐减小;薄膜主要以CrN相为主,随着氩氮流量比的增大,CrN(110)的峰值逐渐减弱,CrN(200)的峰值逐渐增强;随着氩氮流量比的减小,CrN薄膜在3.5%NaCl溶液、1 mol/L NaOH溶液和1mol/L H2SO4溶液中的耐蚀性均得到提高,在氩氮流量比1∶3时,薄膜的耐腐蚀性最佳。 展开更多
关键词 多弧离子镀 crn薄膜 耐蚀性 氩氮流量比 45钢
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TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的制备及应用研究 被引量:3
17
作者 王辉 梁红樱 +2 位作者 张欣苑 赵海波 文季秋 《工具技术》 2009年第10期14-18,共5页
通过采用辅助增强磁控溅射方法,研究了在硬质合金刀片上制备TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工艺方法。利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电流、N2气量的变化对TiN-TiN/CrN-CrN膜的表面形貌及结构和织构影响,采用断续切削试验方法研究了TiN-TiN/C... 通过采用辅助增强磁控溅射方法,研究了在硬质合金刀片上制备TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工艺方法。利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电流、N2气量的变化对TiN-TiN/CrN-CrN膜的表面形貌及结构和织构影响,采用断续切削试验方法研究了TiN-TiN/CrN-CrN涂层刀片的耐磨性及抗剥落性,得出了一种TiN-TiN/CrN-CrN薄膜工业化制备方法。 展开更多
关键词 辅助增强磁控溅射 crn薄膜 制备 方法
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轴向磁场对电弧离子镀CrN薄膜显微组织及耐腐蚀性能的影响 被引量:1
18
作者 赵彦辉 李天书 +2 位作者 于宝海 肖金泉 林国强 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2190-2195,共6页
采用磁场增强电弧离子镀技术,通过改变位于靶材后方的轴向磁场强度,在2024Al合金表面沉积CrN薄膜,研究磁场强度对薄膜显微组织、显微硬度及耐腐蚀性能的影响。结果表明:随着磁场强度的增加,CrN薄膜结构由Cr2N与CrN的混合相逐渐转变为Cr... 采用磁场增强电弧离子镀技术,通过改变位于靶材后方的轴向磁场强度,在2024Al合金表面沉积CrN薄膜,研究磁场强度对薄膜显微组织、显微硬度及耐腐蚀性能的影响。结果表明:随着磁场强度的增加,CrN薄膜结构由Cr2N与CrN的混合相逐渐转变为CrN的单一相结构;磁场强度对薄膜表面形貌有明显影响,随着磁场强度的增加,薄膜表面小颗粒的数量逐渐减少,较大尺寸颗粒的数量有所增加;CrN薄膜的显微硬度和弹性模量在磁场强度为7960 A/m时达到最大值,分别为23.9 GPa与392.6 GPa;CrN薄膜的阳极极化曲线的腐蚀电位随着磁场强度的增加先增加而后降低,在磁场强度为3184 A/m时,具有最大值,即具有较好的抗腐蚀性。 展开更多
关键词 crn薄膜 磁场 电弧离子镀 显微组织 耐腐蚀性
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Ag含量对CrN/Ag薄膜微结构、力学及摩擦磨损性能的影响 被引量:5
19
作者 喻利花 叶刚 +1 位作者 鞠洪博 许俊华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期413-417,共5页
通过反应磁控溅射法分别沉积了不同Ag含量(Ag/(Ag+Cr)=2.9~21.2%(原子比))的CrN/Ag复合膜,采用能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、摩擦磨损仪等研究了CrN/Ag复合膜的化学成份、微观结构、力学性能及摩擦磨损性能。结果表明:Cr... 通过反应磁控溅射法分别沉积了不同Ag含量(Ag/(Ag+Cr)=2.9~21.2%(原子比))的CrN/Ag复合膜,采用能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、摩擦磨损仪等研究了CrN/Ag复合膜的化学成份、微观结构、力学性能及摩擦磨损性能。结果表明:CrN/Ag薄膜为面心立方结构,由fcc-CrN及fcc-Ag构成。薄膜晶粒尺寸随Ag含量的升高逐渐降低。薄膜硬度随Ag含量的升高先升高后降低,当Ag含量为8.3%时,薄膜硬度最高,其最高值为23 GPa。薄膜硬度受细晶强化与软质Ag相的共同作用。CrN/Ag薄膜平均摩擦系数及磨损率随Ag含量的升高先降低后升高,当Ag含量为8.3%时,薄膜平均摩擦系数与磨损率最小,其最小值分别为0.50和0.68×10^(-8)mm^3。/N·mm。薄膜平均摩擦系数及磨损率主要受低剪切强度Ag含量和H/E值的影响。 展开更多
关键词 crn/Ag复合膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能
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氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响 被引量:3
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作者 范喜迎 黄美东 +4 位作者 李洪玉 刘野 许世鹏 薛利 潘玉鹏 《真空》 CAS 2013年第3期63-65,共3页
利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构。实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具... 利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构。实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响。 展开更多
关键词 电弧离子镀 crn薄膜 氮气流量 结构 性能
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