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Structure and mechanical properties of thick Cr/Cr_2N/CrN multilayer coating deposited by multi-arc ion plating 被引量:7
1
作者 单磊 王永欣 +3 位作者 李金龙 李赫 鲁侠 陈建敏 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期1135-1143,共9页
A Cr/Cr2N/CrN multilayer coating with a thickness of 24.4 μm was deposited by multi-arc ion plating. The coating was systematically characterized by field emission scanning electron microscopy(FESEM), X-ray photoelec... A Cr/Cr2N/CrN multilayer coating with a thickness of 24.4 μm was deposited by multi-arc ion plating. The coating was systematically characterized by field emission scanning electron microscopy(FESEM), X-ray photoelectron spectrometry(XPS), energy dispersive spectroscopy(EDS), X-ray diffraction(XRD) and transmission electron microscopy(TEM). Hardness and adhesion were tested by nanoindentation and scratch tester, respectively. The friction properties were investigated by a reciprocating UMT-3MT ball-on-disk tribometer in air and seawater. The results showed that the multilayer coating consisted of three different layers, with Cr,Cr2N and CrN phases, respectively. Compared with CrN single layer coating, the adhesion of the multilayer coating was improved significantly, the hardness of the multilayer coating was(21±2) GPa. The corrosion resistance of the multilayer coating was also improved in artificial seawater. The friction coefficient of multilayer coating was lower than that of CrN single layer coating both in air and seawater. 展开更多
关键词 Cr/Cr2N/crn multilayer coating microstructure mechanical properties corrosion resistance FRICTION
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Microstructure and indentation toughness of Cr/CrN multilayer coatings by arc ion plating 被引量:5
2
作者 宋贵宏 娄茁 +2 位作者 李锋 陈立佳 贺春林 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期811-816,共6页
Cr/CrN multilayer coatings with bilayer periods in the range from 1351 to 260 nm were prepared on 304 stainless steel substrates by arc ion plating to study the microstructure and properties of multilayer coatings and... Cr/CrN multilayer coatings with bilayer periods in the range from 1351 to 260 nm were prepared on 304 stainless steel substrates by arc ion plating to study the microstructure and properties of multilayer coatings and stimulate their application.SEM results confirm the clear periodicity of the Cr/CrN multilayer coatings and the clear interface between individual layers.XRD patterns reveal that these multilayer coatings contain Cr,CrN and Cr_2N phases.Because Cr layer is softer than its nitride layer,the hardness decreases with the shortening of the bilayer period(or increasing volume fraction of Cr layer).The Cr/CrN multilayer coating with 862 nm period possesses the highest indentation toughness due to a proper individual Cr and nitride layer thickness.However,for the Cr/CrN multilayer with the bilayer period of 1351 nm,it possesses the lowest toughness due to more nitride phase.The indentation toughness of Cr/CrN multilayer coatings is related with their bilayer period.A coating with a proper individual Cr and nitride layer thickness possesses the highest indentation toughness. 展开更多
关键词 Cr/crn multilayer coating bilayer period HARDNESS indentation toughness
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TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer deposited by a filtered cathodic vacuum arc technique 被引量:1
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作者 ChengmingLi QiHe +3 位作者 GangLin XiaojunSunt WeizhongTang FanxiuLu 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2004年第5期420-424,共5页
TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer were deposited onhigh speed steel substrates by using a filtered cathodic vacuum arc technique. The structure andcomposition of the coatings were characterized ... TiN/CrN multilayered hard coatings with TiCrN interlayer were deposited onhigh speed steel substrates by using a filtered cathodic vacuum arc technique. The structure andcomposition of the coatings were characterized by scanning electron microscopy (SEM) and Augerelectron spectroscopy (AES). A high adhesion of up to 80 N was demonstrated by scratching tests forthe multi-layered coatings. Nanoindentation tests were performed to determine the hardness andelastic modulus of the coatings as a function of the multiplayer modulation period. It was observedthat the hardness of the multilayered coatings is higher than those of either TiN or CrN singlecoatings, and it increases with decreasing modulation periods, which is consistent with predictionsfrom the Hall-Petch type strengthening mechanism, though at small modulation periods, deviation fromthe Hall-Petch relation has been observed for the multilayered coatings. The life-span of drillscoated with TiN/CrN multilayered is triple as long as that coated with TiN layer. 展开更多
关键词 TiN/crn multilayer hard coatings Ticrn interlayer HARDNESS drilling life
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Multilayered gradient CrN/ZrN coatings synthesized by magnetron sputtering
4
作者 LIU Feng WANG Ming-xia LIU Qian-xiang LI De-jun 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2004年第z1期243-246,共4页
The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was... The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was investigated using XRD, AES, XPS, and nanoindentation. The results show that N2-NH3 mixture process gas is of benefit to the synthesis of superhard multilayered gradient CrN/ZrN coatings. The presence of the preferred orientations of CrN(111), (200) and ZrN (111), (220) in the structure is a main reason for superhardness of multilayered gradient coatings. 展开更多
关键词 MAGNETRON SPUTTERING multilayerED GRADIENT coating crn/ZrN NANOINDENTATION
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CrN/TiAlN多层涂层的微观结构和摩擦磨损性能
5
作者 田峰 段海涛 +4 位作者 潘邻 许鑫宇 秦江林 魏琴琴 罗国强 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期232-241,共10页
特种装备车辆往往在高速、高冲击等复杂环境下运行,底盘选装密封件表面容易被磨损造成密封失效,在密封工作面制备硬质涂层是提高服役寿命、延长维修周期的重要方法。采用物理气相沉积法在45#钢表面制备单层CrN涂层和不同过渡层厚度的多... 特种装备车辆往往在高速、高冲击等复杂环境下运行,底盘选装密封件表面容易被磨损造成密封失效,在密封工作面制备硬质涂层是提高服役寿命、延长维修周期的重要方法。采用物理气相沉积法在45#钢表面制备单层CrN涂层和不同过渡层厚度的多层CrN/TiAlN涂层,用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、表面轮廓仪、纳米压痕仪和往复式摩擦磨损试验机,研究涂层的微观结构、机械性能和摩擦磨损性能。结果表明单层CrN涂层厚度为0.87μm,其硬度和模量最小为19.49 GPa和160.53 GPa。CrN/TiAlN多层涂层的硬度和模量明显提高,且随过渡层厚度增加而增大,4CrN/TiAlN涂层的硬度和模量可达到39.86 GPa和386.72 GPa。在空气环境下的摩擦磨损试验中,单层CrN涂层被快速破坏;CrN/TiAlN多层涂层的平均摩擦因数随着过渡层厚度的增加先增大后减小,最大磨损深度和磨痕截面积不断下降。4CrN/TiAlN涂层具有最优摩擦磨损性能,其平均摩擦因数为0.792 5,磨痕截面积为315.09μm^(2),磨损机理为磨粒磨损和少量粘着磨损。提高过渡层厚度能够降低基体的塑性变形,降低涂层与基体的物理性能差异,减少涂层开裂并提高涂层摩擦磨损性能。通过调控过渡层厚度获得性能优异的CrN/TiAlN多层涂层,研究成果可应用于车辆旋转密封件上,显著提高密封工作面耐磨损性能。 展开更多
关键词 45#钢 crn涂层 crn/TiAlN 多层涂层 耐磨性 磨损机制
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不同基体CrN/CrCN多层涂层海水环境摩擦学性能研究 被引量:1
6
作者 单磊 张朋 +4 位作者 吴俊 王春婷 姚懿容 王永欣 李金龙 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期13-20,共8页
为研究不同基体材料对CrN/CrCN多层涂层在海水环境下摩擦学性能的影响,采用多弧离子镀技术在H65铜合金、TC4钛合金和316L不锈钢基体上沉积CrN和CrN/CrCN多层复合涂层,通过XRD、SEM等技术对涂层的结构进行表征,通过结合力、硬度测试和摩... 为研究不同基体材料对CrN/CrCN多层涂层在海水环境下摩擦学性能的影响,采用多弧离子镀技术在H65铜合金、TC4钛合金和316L不锈钢基体上沉积CrN和CrN/CrCN多层复合涂层,通过XRD、SEM等技术对涂层的结构进行表征,通过结合力、硬度测试和摩擦磨损试验分析涂层在大气环境和海水环境下的力学性能和摩擦学性能。结果表明:CrN/CrCN多层涂层的内应力相对于CrN明显减小,且硬度相对CrN涂层较高;TC4钛合金为基体的涂层结合力较好且涂层硬度较高;在海水环境下涂层的摩擦因数相对于大气环境都有较大幅度下降,其中,以TC4钛合金和316L不锈钢为基体的涂层摩擦因数较小;以H65铜合金为基体的2种涂层在海水中的磨损率高于大气中,而以TC4合金、316L不锈钢为基体的CrN/CrCN多层涂层在海水环境下的磨损率低于大气环境;TC4钛合金为基体的CrN/CrCN多层涂层在海水环境下具有最低的磨损率,表明TC4钛合金更适合作为海水环境下CrN/CrCN多层涂层耐磨的基体材料。 展开更多
关键词 crn/crcn多层涂层 摩擦磨损 海水 基体材料
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Inconel 718合金表面纳米多层CrAlN/CrN涂层的制备及高温摩擦学性能研究 被引量:1
7
作者 宋宇涛 李春玲 +2 位作者 张淑珍 尚伦霖 张广安 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第5期63-70,共8页
为提高Inconel 718合金的表面硬度和高温摩擦磨损性能,采用多弧离子镀技术在其表面制备CrAlN/CrN涂层。使用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪和划痕仪等对涂层的微观结构、力学性能进行分析表征。... 为提高Inconel 718合金的表面硬度和高温摩擦磨损性能,采用多弧离子镀技术在其表面制备CrAlN/CrN涂层。使用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪和划痕仪等对涂层的微观结构、力学性能进行分析表征。使用UMT摩擦磨损试验机测试涂层在室温、350℃和650℃下的摩擦性能,并对磨痕的形貌特征、元素分布和物相进行分析,分析涂层在不同温度下的摩擦磨损机制。结果表明:纳米多层CrAlN/CrN涂层微观结构致密,主要由fcc-CrN相组成,择优取向为(200)晶面;CrAlN/CrN涂层在Inconel 718合金表面具有良好的力学性能,其硬度和结合力分别为(29.3±1.2)GPa和70.4 N;涂层在室温和350℃下具有优异的耐磨性,磨损率分别低至1.5×10^(-6)mm^(3)/(N·m)和1.7×10^(-6)mm^(3)/(N·m),主导的磨损机制分别为磨粒磨损和疲劳磨损;650℃时涂层达到最低摩擦系数(0.33),但磨损率有所升高,主要表现为磨粒磨损。 展开更多
关键词 纳米多层 CrAlN/crn涂层 微观结构 力学性能 高温摩擦学性能
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Microstructure, Interface, and Properties of Multilayered CrN/Cr_2O_3 Coatings Prepared by Arc Ion Plating 被引量:4
8
作者 Chang-Ming Shi Tie-Gang Wang +2 位作者 Zhi-Liang Pei Jun Gong Chao Sun 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第12期1193-1201,共9页
There has been much interest in developing multilayered or nanolayered physical vapor deposition(PVD) coatings identified as a group of promising protective coatings for their excellent mechanical properties and cor... There has been much interest in developing multilayered or nanolayered physical vapor deposition(PVD) coatings identified as a group of promising protective coatings for their excellent mechanical properties and corrosion resistance. In this study, the multilayered Cr N/Cr2O3 coatings with different bilayer periods(L) were synthesized on the polished high speed steel substrates from a Cr target with the alternative atmosphere of pure nitrogen and pure oxygen by arc ion plating(AIP) technique. The results revealed that the microstructure,morphologies and properties of the multilayered coatings were strongly influenced by the bilayer period(L).There were two kinds of interfaces in the multilayered Cr N/Cr2O3coatings: the sharp ones and the blurry ones. With reducing the value of L, the macro-particles densities decreased gradually, whereas the coating microhardness, adhesive strength and wear resistance first increased, and then decreased slightly or remained stable as the bilayer period L 〈 590 nm. The multilayered Cr N/Cr2O3 coating with the bilayer period L of 590 nm possessed the best comprehensive properties, namely the highest microhardness, the strongest adhesion, and the lowest wear rate. 展开更多
关键词 Cr2O3/crn multilayered coating Arc ion plating INTERFACE Mechanical properties WEAR
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直管磁过滤弧离子镀CrN涂层改善304不锈钢表面性能研究 被引量:10
9
作者 杨发展 王世庆 +3 位作者 唐德礼 杨作贵 金凡亚 沈丽如 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期67-70,共4页
采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积CrN单一涂层和Cr/CrN复合涂层,分别运用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及复合涂层的表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr/CrN复合涂层呈现... 采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积CrN单一涂层和Cr/CrN复合涂层,分别运用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及复合涂层的表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr/CrN复合涂层呈现出致密、均匀的表面形貌,且具有高硬度、低摩擦系数等优异的表面机械性能,显著提高了304不锈钢表面的耐摩擦磨损特性。 展开更多
关键词 直管磁过滤 crn单一涂层 Cr/crn复合涂层 耐磨损特性
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多弧离子镀制备的CrCN涂层组织及摩擦磨损性能 被引量:9
10
作者 陈颢 叶育伟 +2 位作者 王永欣 李金龙 羊建高 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期423-429,共7页
采用多弧离子镀技术在硅片和316L不锈钢上制备了CrN和CrCN涂层,利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)对其表面形貌及成分进行表征,采用纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机测试涂层力学及摩擦... 采用多弧离子镀技术在硅片和316L不锈钢上制备了CrN和CrCN涂层,利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)对其表面形貌及成分进行表征,采用纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机测试涂层力学及摩擦学性能,观察试样磨损形貌,并分析其磨损机理。结果表明:较之于CrN涂层,所制备的CrCN涂层具有更均匀、致密的结构,与基体结合良好;涂层主要成分为Cr、C和N,其中C元素主要以sp2、sp3和C—Cr键的形式存在;CrCN涂层中由于强化相Cr7C3的产生和杂化C的形成等多种强化作用,显著提高了其硬度和耐摩擦磨损性能。 展开更多
关键词 crcn涂层 crn涂层 显微组织 硬度 摩擦 磨损性能
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TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能 被引量:8
11
作者 陈灵 曾德长 +3 位作者 邱万奇 董小虹 黎炳雄 黄拿灿 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1608-1612,共5页
利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能。结果表明... 利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能。结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化。由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3450HV)高于TiAlCrN膜的(2500HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好。 展开更多
关键词 TiAlcrn TiAlcrn/crn多层膜 电弧镀 硬度 结合性能
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多界面CrN/CrAlN涂层在海水环境中的腐蚀磨损性能研究 被引量:6
12
作者 李文生 孙绪伟 +4 位作者 王永欣 李金龙 王春婷 隋永枫 蓝吉兵 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期69-78,共10页
目的通过多界面结构CrN/CrAlN涂层来提高316不锈钢在海水中的耐腐蚀磨损性能。方法采用多弧离子镀技术在316不锈钢基底表面制备CrAlN单层和CrN/CrAlN多层涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射仪(XRD)等设备... 目的通过多界面结构CrN/CrAlN涂层来提高316不锈钢在海水中的耐腐蚀磨损性能。方法采用多弧离子镀技术在316不锈钢基底表面制备CrAlN单层和CrN/CrAlN多层涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射仪(XRD)等设备表征涂层的微观结构和相组成;借助纳米压痕仪及划痕仪分别测试涂层的硬度和结合强度;通过往复式摩擦磨损试验机及电化学工作站,实时记录涂层在人工海水环境下摩擦系数和电化学信号的连续变化,并采用扫描电子显微镜对磨痕形貌进行分析,评价CrAlN单层和CrN/CrAlN多层涂层在人工海水环境中的腐蚀磨损特性。结果CrN/CrAlN多层涂层结构致密,层间界面清晰,厚度大约在4.12μm,力学性能优异,其硬度高达37.65 GPa。在海水环境中,摩擦系数随外加电位增加而降低,且当外加电位为0.2 V时,最低摩擦系数在0.29左右。而多层涂层损失量变化规律与之相反,当外加电位为–0.6 V时,其具有最低损失量,大约为0.00086 mm^(3)。相比CrAlN单层涂层,CrN/CrAlN多层涂层的腐蚀电流密度降低,损失量显著减小。结论CrN/CrAlN多层涂层具有致密的多界面结构,在海水环境中的耐腐蚀磨损性能更为优异。主要失效机制为磨粒磨损、塑性变形和腐蚀磨损。 展开更多
关键词 多弧离子镀 crn/CrAlN多层涂层 腐蚀磨损性能 海水环境
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AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究 被引量:2
13
作者 王晖 亢原彬 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第2期27-30,共4页
采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/Cr... 采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/CrN纳米多层膜硬度和弹性模量随着调制周期的减小呈现上升的趋势,当调制周期小于8 nm时其增速明显增大,并在调制周期为3.8 nm时达到最高硬度35.0 GPa和最高弹性模量405 GPa;AlN/CrN纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与c-AlN的产生并和CrN形成的共格结构有关. 展开更多
关键词 多弧离子镀 A1N/crn纳米多层膜 硬度 立方氮化铝
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直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层提高304不锈钢耐磨损特性研究
14
作者 杨发展 王世庆 +3 位作者 唐德礼 杨作贵 金凡亚 沈丽如 《真空》 CAS 北大核心 2010年第4期43-45,共3页
采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积Cr+CrN复合涂层,分别运用XRD、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层呈现出致密、均匀的表面形貌,且具有高... 采用直管磁过滤弧离子镀在304不锈钢表面沉积Cr+CrN复合涂层,分别运用XRD、光学显微镜、显微硬度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及表面机械性能。结果表明:直管磁过滤弧离子镀Cr+CrN复合涂层呈现出致密、均匀的表面形貌,且具有高硬度、低摩擦系数等优异的表面机械性能,显著提高了304不锈钢表面的耐摩擦磨损特性。 展开更多
关键词 直管磁过滤 Cr+crn复合涂层 耐磨损特性
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TiAlN/CrN多层膜的组织结构及耐蚀性机理 被引量:10
15
作者 王丽君 文广 +2 位作者 李明昆 王梦超 陈辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期268-274,共7页
目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈... 目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈钢基底上先沉积150 nm Cr薄膜作为过渡层,然后交替沉积CrN薄膜和TiAlN薄膜,制备单层厚度为10 nm的TiAlN/CrN多层膜。作为对比,制备单一TiAlN、CrN薄膜。通过SEM、XRD表征薄膜断面形貌、组织结构,并分析耐蚀机理,结合极化曲线和阻抗谱对三种涂层进行电化学性能分析,最后对涂层进行浸泡腐蚀试验。结果TiAlN/CrN纳米多层膜为面心立方结构,呈现共格外延生长,且呈(200)择优取向。纳米多层膜的动电位极化曲线测量结果与不锈钢基体和单层薄膜相比,其腐蚀电位正移为−0.36 V,腐蚀电流密度降低为0.501μA/cm^2,极化电阻为120 kΩ·cm^2。阻抗谱试验结果表明,相比较于单层膜和基体,TiAlN/CrN多层膜的CPE值最低,为29.83×10^−6Ω^−1·cm^−2·sn,n值为0.922,电阻为1.50×10^6Ω·cm^2。腐蚀形貌分析可得出,多层薄膜腐蚀后表面形貌与沉积态涂层形貌最为接近,认为其具有较高的耐腐蚀性。结论纳米层状结构改变了单一薄膜的原始生长模式,抑制了粗大柱状晶的生长,减小了薄膜的固有缺陷、晶粒尺寸,对薄膜的耐蚀性有正面积极的作用。 展开更多
关键词 TiAlN/crn多层膜 TIALN涂层 crn涂层 多弧离子镀 耐腐蚀性 电化学性能
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调制比对Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜结构及性能的影响 被引量:6
16
作者 田甜 林松盛 +4 位作者 王迪 柏松 曲帅杰 郭朝乾 代明江 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期320-328,共9页
目的探究Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜的最佳调制比。方法利用电弧离子镀技术,在TC4钛合金上制备了不同调制比的Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜。利用扫描电子显微镜观察膜层表面和截面形貌;用Image-Pro分析软件对表面的大颗粒进行定量分析;利用X射线... 目的探究Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜的最佳调制比。方法利用电弧离子镀技术,在TC4钛合金上制备了不同调制比的Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜。利用扫描电子显微镜观察膜层表面和截面形貌;用Image-Pro分析软件对表面的大颗粒进行定量分析;利用X射线衍射法表征膜层的晶体结构;采用维氏硬度计测量膜层的显微硬度;采用划痕试验仪测量膜层与基体之间的结合力(临界载荷);通过基片弯曲法测量并计算得到膜层的残余应力;利用根据ASTM G76-05标准特制的AS600-喷砂试验机进行了抗冲蚀性能测试;采用三维表面轮廓仪测量冲蚀坑深度。结果膜层表面质量和生长取向与L_(Cr/CrN):L_(Cr/CrAlN)调制比密切相关,随着Cr/CrN比例的增加,膜层表面质量越来越好,择优取向由(111)晶面转为(200)晶面。多层膜的硬度随Cr/CrN比例的增加,呈下降趋势,结合力、残余应力和韧性则随之呈先升后降的趋势,并在L_(Cr/CrN)∶LCr/Cr Al N为1∶2时,达到最佳。多层膜的抗砂粒冲蚀性能变化与力学性能变化一致,在L_(Cr/CrN)∶L_(Cr/CrAlN)为1∶2时达到最佳,其抗冲蚀能力是TC4基材的3倍以上,多层膜呈典型的脆性断裂失效形式。结论在调制比L_(Cr/CrN)∶L_(Cr/CrAlN)=1∶2时,膜层获得最佳的抗冲蚀性能。 展开更多
关键词 Cr/crn/Cr/CrAlN多层膜 钛合金 电弧离子镀技术 调制比 抗冲蚀
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TC4钛合金表面的多层素CrN涂层 被引量:2
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作者 李金龙 周艳文 +4 位作者 滕越 张开策 王亚男 郭媛媛 吕哲 《辽宁科技大学学报》 CAS 2019年第4期263-268,共6页
采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层。利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,采用划痕仪、显微硬度仪、纳米压痕仪等对多层素CrN涂层与TC4钛合金的结合... 采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变基体偏压,在TC4钛合金表面沉积了多层素CrN涂层。利用SEM、EDS和XRD分别分析了多层素CrN涂层的形貌、成分及相结构,采用划痕仪、显微硬度仪、纳米压痕仪等对多层素CrN涂层与TC4钛合金的结合力和力学性能进行分析讨论。结果表明,通过调控磁控溅射基体偏压,沉积获得的多层素CrN涂层表面平整致密,截面多层结构明显可见,涂层厚度约5μm。多层素CrN涂层沿(200)、(111)面择优生长;涂层与基体结合力达69 N,其厚度450 nm处的杨氏模量和纳米硬度分别为320 GPa和25 GPa;涂层表面磨痕宽度仅为TC4钛合金的8.5%。多层素CrN涂层与TC4钛合金结合力强,适用于提高钛合金表面的硬度及耐磨损性能。 展开更多
关键词 等离子体增强磁控溅射 TC4钛合金 多层素crn涂层 结合力 力学性能
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CrN/SiN_x纳米多层膜的热稳定性研究
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作者 安涛 郑伟涛 王丽丽 《吉林师范大学学报(自然科学版)》 2010年第2期18-20,共3页
利用反应磁控溅射方法制备了一系列不同调制比的多晶CrN/SiNx纳米多层膜.对多层膜在900℃条件下进行真空退火4个小时.结果发现,当调制周期中SiNx的层厚较小时,退火后发生了明显的界面融混;而当调制周期中SiNx层厚较大时,退火后不但没有... 利用反应磁控溅射方法制备了一系列不同调制比的多晶CrN/SiNx纳米多层膜.对多层膜在900℃条件下进行真空退火4个小时.结果发现,当调制周期中SiNx的层厚较小时,退火后发生了明显的界面融混;而当调制周期中SiNx层厚较大时,退火后不但没有发生界面融混,反而使界面变得更加清晰,这一变化和界面处CrSiN相的析出有关,相的析出有利于界面的平滑和多层膜热稳定性的提高. 展开更多
关键词 crn/SiNx 纳米多层膜 界面宽度 CrSiyN1-y
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