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一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量:
7
1
作者
曹新平
张大成
+2 位作者
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分...
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
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关键词
三轴差分电容式硅微加速度计
偏轴灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
下载PDF
职称材料
题名
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量:
7
1
作者
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
机构
北京大学微电子所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
文摘
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
关键词
三轴差分电容式硅微加速度计
偏轴灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
Keywords
cross
axis
sensitivity
finite
element
method
(
fem
)
mode
squeeze
film
damping
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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职称材料
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