锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺

采用磁控溅射镀膜方法 ,在锂铁氧体材料表面 ,制备了 Cu- Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点 ,对整个工艺过程进行了分析研究 ,对制备的 Cu- Ti复合金属波导膜系进行了性能测试 ,结果表明 。

锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺分析研究

采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求。

膜系设计

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馈电波导、天线馈源

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