p型透明导电氧化物CuAlO_2薄膜的研究进展

透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域。但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用。CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点。介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望。

衬底温度对CuAlO_2薄膜的结构与光学性能的影响

通过磁控溅射的方法,在不同温度的石英衬底上制备了CuAlO_2薄膜,研究经过退火处理后,CuAlO_2薄膜的表面形貌、物相结构以及光学性能。实验结果表明:随着衬底温度的增加,薄膜的晶粒逐渐形成和长大,表面组织越来越均匀致密,透光性也随之增强。通过综合比较,可发现:当衬底温度为400℃时,薄膜的整体性能达到最优,XRD谱中的(101)衍射峰最强,晶粒大小均匀,可见光透射率为76.6%,光学带隙宽度为3.69 eV。