一种D/A板输出控制的相移器设计

相移器对光学测量具有非常重要的意义。本文采用一般的压电陶瓷柱和自行设计制作的 40～ 30 0V直流可调电源制作了经济型相移器 ,并由计算机通过D/A转换板输出电压进行控制 ,做到了压电陶瓷非线性补偿和CCD采集图像的一体控制。经过标定 ,在压电陶瓷达到稳定时 ,其微位移量可达几个纳米 ,重复性很好。

高精度压电陶瓷相移器设计

文中采用压电陶瓷柱和自行设计的0-300V直流可调电源制作高精度压电陶瓷相移器,并由计算机通过D/A转换板输出电压进行控制,采用CCD组成闭环反馈。经过标定,相移器的相位误差在±3°之内。该相移器的使用提高光学无损检测的测量精度,而且经济性很好。