TFT-LCD制程中吸盘Mura分析及改善研究

IJP液晶喷涂工艺和采用D-PSC的真空贴合系统是目前TFT-LCD生产中,ODF工艺的最新技术,两者的结合对常见不良和异常有明显的改善,但也出现了新的吸盘Mura不良。通过分析和实验,确认了不良改善的方法,并据此反推和验证了关于不良真因的推测。