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M-Z型极化DANS聚合物电光波导强度调制器研究 被引量:1
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作者 高福斌 杜国同 +1 位作者 张平 邢汝冰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期646-649,共4页
研究了Mach-Zehnder型极化聚合物电光波导强度调制器的制备工艺·器件采用DANS(4-dimethylamino-4′nitro-stlibene)聚合物为电光波导材料,由电光波导层、上下介质缓冲层、上下金属电极层构成五层波导结构·对五层光波导各层之... 研究了Mach-Zehnder型极化聚合物电光波导强度调制器的制备工艺·器件采用DANS(4-dimethylamino-4′nitro-stlibene)聚合物为电光波导材料,由电光波导层、上下介质缓冲层、上下金属电极层构成五层波导结构·对五层光波导各层之间的光学、化学以及微加工工艺的相互兼容性进行了深入研究·采用紫外光漂白方法制备出侧壁光滑的条波导,采用钨丝电晕极化方法对DANS聚合物波导进行有效极化,使其具有电光特性·通过优化器件制备工艺,研制出工作波长为1300nm的M-Z型电光波导强度调制器原型器件·实验测得器件半波电压约为10V,调制带宽约为1GHz· 展开更多
关键词 dans聚合物 电晕极化 紫外光漂白 电光波导 强度调制器
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