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MOCVD生长AlGaAs-GaAs DBR及其特性 被引量:3
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作者 童玉珍 张国义 陈娓兮 《应用基础与工程科学学报》 EI CSCD 1994年第4期288-292,共5页
本文报导了任意铝组分的AlGaAs材料的MOCVD外延生长和控制,解决了MOCVD生长高铝组分AIGaAs这一难题。国内首次运用MOCVD技术生长出高反射率的适合于垂直腔面发射激光器的AlGaAs-GaAs四分之一波长的分布布拉格反射镜(DBR)结构。用高分辨... 本文报导了任意铝组分的AlGaAs材料的MOCVD外延生长和控制,解决了MOCVD生长高铝组分AIGaAs这一难题。国内首次运用MOCVD技术生长出高反射率的适合于垂直腔面发射激光器的AlGaAs-GaAs四分之一波长的分布布拉格反射镜(DBR)结构。用高分辨透射电镜观察得出,该DBR有良好的周期性、厚度均匀和界面平直。测得其反射率为94%,响应波长为820nm-868nm。 展开更多
关键词 dbr mocvd algaas
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用于UHB-LED的AlGaAs/AlAs DBR光学性质的研究 被引量:1
2
作者 曹明德 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘鲁 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第1期90-94,共5页
从光学传输矩阵出发 ,研究了用于超高亮度发光二极管的AlGaAs/AlAs布拉格反射器光学性质 ,并分析了材料吸收、组分漂移和层厚偏差对布拉格反射器光学性质的影响 .
关键词 UHB-LED algaas/AlAs dbr 光学性质 光学传输矩阵 布拉格反射器 超高亮度发光二极管 反射率 折射率 缘砷衬底
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DBR对不同波长AlGaInP LED芯片发光强度的影响
3
作者 张强 马淑芳 +2 位作者 李明山 许并社 王智勇 《太原理工大学学报》 CAS 北大核心 2015年第2期148-152,共5页
利用MOCVD方法,在GaAs衬底上生长了不同DBR结构的红光和黄绿光AlGaInP四元外延片,并通过芯片工艺制成芯片。使用X-射线衍射仪(HRXRD)、光致发光仪(PL)、芯片光电测试仪等表征了外延片和芯片的性能,研究了红光和黄绿光AlGaInP四元外延片... 利用MOCVD方法,在GaAs衬底上生长了不同DBR结构的红光和黄绿光AlGaInP四元外延片,并通过芯片工艺制成芯片。使用X-射线衍射仪(HRXRD)、光致发光仪(PL)、芯片光电测试仪等表征了外延片和芯片的性能,研究了红光和黄绿光AlGaInP四元外延片的发光强度与DBR结构的关系。结果表明,红光AlGaInP LED芯片的发光强度高于黄绿光,其主要原因是黄绿光有源区的内量子效率低和黄绿光DBR具有较小的反射率,从而导致较低的发光强度。本研究为今后LED全结构的芯片亮度研究打下良好基础。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 铝镓铟磷 发光二极管 分布式布拉格反射镜 发光强度 反射率
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AlGaAs/AlAs体系DBR的MOCVD生长及表征 被引量:3
4
作者 尉吉勇 黄柏标 +7 位作者 于永芹 周海龙 岳金顺 王笃祥 潘教青 秦晓燕 张晓阳 徐现刚 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期781-783,共3页
设计并利用 MOCVD在 (311) Ga As衬底上生长了 12 .5个周期的 Al0 .6 Ga0 .4 As/ Al As黄绿光分布式 Bragg反射 (DBR)体系 ,测量了白光反光谱及其外延片峰值波长分布 ,反射率 90 %以上 ,波长不均匀性在 1.0 %以下 ;利用了 X射线双晶衍... 设计并利用 MOCVD在 (311) Ga As衬底上生长了 12 .5个周期的 Al0 .6 Ga0 .4 As/ Al As黄绿光分布式 Bragg反射 (DBR)体系 ,测量了白光反光谱及其外延片峰值波长分布 ,反射率 90 %以上 ,波长不均匀性在 1.0 %以下 ;利用了 X射线双晶衍射对其进行结构表征 ,5 80 nm波长 DBR结构周期为 84 .5 nm。 展开更多
关键词 algaas/AlAs体系 dbr mocvd 分布式Bragg反射 白光反射谱 双晶X衍射 铝镓砷三元体系 分布式布喇格反射 半导体
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The High Quantum Efficiency of Exponential-Doping AlGaAs/GaAs Photocathodes Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition 被引量:2
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作者 张益军 赵静 +3 位作者 邹继军 牛军 陈鑫龙 常本康 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第4期88-91,共4页
An exponential-doping structure is successfully applied to the preparation of AlGaAs/GaAs photocathodes through the metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)technique.The experimental results show that the quantum... An exponential-doping structure is successfully applied to the preparation of AlGaAs/GaAs photocathodes through the metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)technique.The experimental results show that the quantum efficiency in the entire waveband region for the exponential-doping photocathodes grown by MOCVD is remarkably enhanced as compared to those grown by molecular beam epitaxy.As a result of the improved built-in electric fields and cathode performance parameters,the photoemission characteristics for the MOCVD-grown transmission-mode and reflection-mode AlGaAs/GaAs photocathodes are different over the wavelength region of interest. 展开更多
关键词 algaas/GAAS mocvd MODE
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垂直腔面发射激光器DBR的生长优化 被引量:3
6
作者 许晓芳 邓军 +6 位作者 李建军 张令宇 任凯兵 冯媛媛 贺鑫 宋钊 聂祥 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第2期332-336,共5页
基于能带理论和分布布拉格反射镜(DBR)的工作原理,分析了垂直腔面发射激光器(VCSEL)中DBR串联电阻较大的原因。采用组分渐变降低DBR结构中异质结界面处势垒,优化DBR的各层掺杂浓度,通过调控费米能级进一步降低DBR中的异质结势垒,从而有... 基于能带理论和分布布拉格反射镜(DBR)的工作原理,分析了垂直腔面发射激光器(VCSEL)中DBR串联电阻较大的原因。采用组分渐变降低DBR结构中异质结界面处势垒,优化DBR的各层掺杂浓度,通过调控费米能级进一步降低DBR中的异质结势垒,从而有效降低DBR串联电阻。实验采用Al_(0.22)Ga_(0.78)As/Al_(0.9)Ga_(0.1)As作为生长DBR的两种材料,设计了DBR各层厚度,研究了AlGaAs材料的最佳生长温度,利用MOCVD外延技术完成了795nm VCSEL突变DBR与渐变DBR的生长。经过工艺制备,测得突变DBR和渐变DBR的电阻分别为6.6和5.3Ω,优化生长后的DBR电阻得到有效降低。 展开更多
关键词 795 nm垂直腔面发射激光器 分布布拉格反射镜 串联电阻 渐变生长 mocvd
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Effect of growth interruption and strain buffer layer on PL performance of AlGaAs/GaAs/InGaAs quantum well for 1065 nm wavelength lasers
7
作者 PANJiaoqing HUANGBaibiao +3 位作者 ZHANGXiaoyang YUEJinshun YUYongqin WEIJiyong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期64-67,共4页
Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) perform... Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) performance of the InGaAs/GaAs quantum well. GoodPL results were obtained under condition of growth an interruption of 10 s combined with a moderatestrain buffer layer. Wavelength lasers of 1064 nm using the QW were grown and processed intodevices. Broad area lasers (100 μm x 500 μm) show very low threshold current densities (43 A/cm^2)and high slop efficiency (0.34 W/A, per facet). 展开更多
关键词 algaas/GaAs/InGaAs strained quantum well mocvd strain buffer layer growthinterruption laser diodes
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用于紫外探测器DBR结构的高质量AlGaN材料MOCVD生长及其特性研究 被引量:10
8
作者 谢自力 张荣 +7 位作者 修向前 韩平 刘斌 陈琳 俞慧强 江若琏 施毅 郑有炓 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期6717-6721,共5页
利用MOCVD方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同工艺条件下的高质量AlGaN材料的制备.得到了无裂纹的全组分AlxGa1-xN(0<x<1)薄膜.通过XRD,SEM,AFM等测量分析方法系统研究了生长工艺参数对材料的结构质量、组分、厚度和表面... 利用MOCVD方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同工艺条件下的高质量AlGaN材料的制备.得到了无裂纹的全组分AlxGa1-xN(0<x<1)薄膜.通过XRD,SEM,AFM等测量分析方法系统研究了生长工艺参数对材料的结构质量、组分、厚度和表面形貌的影响.分析了不同生长工艺对AlGaN材料特性的影响.研制的高质量AlGaN材料在紫外探测器的DBR结构应用中得到比较好的特性. 展开更多
关键词 ALGAN dbr 紫外探测器 mocvd
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基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:10
9
作者 李献杰 刘英斌 +6 位作者 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期435-438,共4页
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流... 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109 cm.Hz1/2.W-1。将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径。 展开更多
关键词 mocvd algaas/GAAS 量子阱红外探测器 红外热成像
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MOCVD与MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的红外探测器特性比较 被引量:5
10
作者 李娜 李宁 +9 位作者 陆卫 窦红飞 陈张海 刘兴权 沈学础 H.H.Tan LanFu C.Jagadish M.B.Johnston M.Gal 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期441-444,共4页
用金属有机物化学气相沉积法 ( MOCVD)生长 Ga As/Al Ga As量子阱材料 ,并制成红外探测器 .测量了材料的光致发光光谱和探测器的光电流响应光谱及其它光电特性 ,峰值波长7.9μm,响应率达到 6× 1 0 3V/W,与分子束外延法 ( MBE)生长... 用金属有机物化学气相沉积法 ( MOCVD)生长 Ga As/Al Ga As量子阱材料 ,并制成红外探测器 .测量了材料的光致发光光谱和探测器的光电流响应光谱及其它光电特性 ,峰值波长7.9μm,响应率达到 6× 1 0 3V/W,与分子束外延法 ( MBE)生长的材料和相关器件进行了比较 ,MOCVD法可满足量子阱材料和器件的要求 . 展开更多
关键词 algaas 量子阱 红外探测器 mocvd 砷化镓
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MOCVD生长GaAs/AlGaAs量子阱研究 被引量:1
11
作者 任红文 黄柏标 +3 位作者 刘士文 刘立强 徐现刚 蒋民华 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期4-7,共4页
利用常压MOCVD技术在较低生长速率下生长出多种GaAs/AlGaAs多量子阱结构材料,利用低温PL谱和TEM对材料结构进行了表征。所得势阱和势垒结构厚度均匀平整,最窄阱宽为1.8nm。本研究表明,低速率(γ≤0.5nm/s)连续生长工艺能够避免杂质在界... 利用常压MOCVD技术在较低生长速率下生长出多种GaAs/AlGaAs多量子阱结构材料,利用低温PL谱和TEM对材料结构进行了表征。所得势阱和势垒结构厚度均匀平整,最窄阱宽为1.8nm。本研究表明,低速率(γ≤0.5nm/s)连续生长工艺能够避免杂质在界面富集,优于间断生长工艺,且在掺si n^+-GaAs衬底上所得量子阱发光强度高于掺Cr SI-GaAs衬底上的结果。 展开更多
关键词 生长 量子阱 mocvd GAAS/algaas
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具有渐变层半导体DBR的MOCVD外延制备 被引量:1
12
作者 盖红星 邓军 +5 位作者 廉鹏 俞波 李建军 韩军 陈建新 沈光地 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期207-210,共4页
应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率。应用原子力显微镜对所制备的DBR表面... 应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率。应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析。结果表明,相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小,具有良好的表面形貌,可以应用于垂直腔面发射激光器的研制。 展开更多
关键词 布拉格反射镜 金属有机化合物气相淀积 原子力显微镜 algaas
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MOCVD生长GaAs/AlGaAs掺杂量子异质结构工艺评价 被引量:1
13
作者 任红文 刘士文 +2 位作者 徐现刚 黄柏标 蒋民华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1993年第2期132-135,共4页
对常压 MOCVD 生长 GaAs/AIGaAs 掺杂多量子阱、超晶格及双极异质晶体管(HBT)和双势垒量子共振隧穿二极管(DBRTD)的生长工艺与结构性能的关系进行了研究。连续生长的量子阱材料载流子低温光荧光(PL)发光波长较间断生长结果蓝移,但强度... 对常压 MOCVD 生长 GaAs/AIGaAs 掺杂多量子阱、超晶格及双极异质晶体管(HBT)和双势垒量子共振隧穿二极管(DBRTD)的生长工艺与结构性能的关系进行了研究。连续生长的量子阱材料载流子低温光荧光(PL)发光波长较间断生长结果蓝移,但强度为后者的10倍,且谱线也较窄。透射电镜(TEM)观察发现,间断生长界面间断处有一因组分波动和杂质吸附产生的亮条纹,且 AlGaAs/GaAs 和 GaAs/AlGaAs 两种异质界面不等同。利用连续生长工艺得到了间断生长未能实现的较高性能的 HBT、DBRTD 器件。 展开更多
关键词 化学汽相沉积 晶体 砷化镓 algaas
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MOCVD生长的高质量掺碳GaAs/AlGaAs材料的特性研究
14
作者 廉鹏 邹德恕 +8 位作者 高国 殷涛 陈昌华 徐遵图 陈建新 沈光地 曹青 马骁宇 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期44-50,共7页
利用低压金属有机化合物汽相淀积方法,以液态CCl4 为掺杂源生长了高质量的碳掺杂GaAs/AlGaAs外延材料,研究了CCl4 流量、生长温度和Ⅴ/Ⅲ比等因素对外延材料中的碳掺杂水平的影响.采用电化学CV 方法、范德堡... 利用低压金属有机化合物汽相淀积方法,以液态CCl4 为掺杂源生长了高质量的碳掺杂GaAs/AlGaAs外延材料,研究了CCl4 流量、生长温度和Ⅴ/Ⅲ比等因素对外延材料中的碳掺杂水平的影响.采用电化学CV 方法、范德堡霍耳方法、低温光致发光谱和X射线双晶衍射回摆曲线测量等方法对碳掺杂外延材料的电学、光学特性进行了研究.实验制备了空穴浓度高达1.9×1020cm - 3的碳掺杂GaAs 外延材料和低温光致发光谱半宽小于5nm 的高质量碳掺杂Al0.3Ga0.7As 外延层.在材料研究的基础上,我们以碳为P型掺杂剂生长了GaAs/AlGaAs/InGaAs应变量子阱980nm 大功率半导体激光器结构,并获得了室温连续工作1W 以上的光功率输出. 展开更多
关键词 GAAS/algaas mocvd 碳掺杂 砷化镓
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优质GaAs/Si和AlGaAs/Si材料的MOCVD生长研究
15
作者 高鸿楷 龚平 +2 位作者 王海滨 朱作云 李跃进 《光子学报》 EI CAS CSCD 1993年第2期189-192,共4页
用自制常压MOCVD装置,在Si衬底上生长GaAs和AlGaAs外延层,在高温去除Si衬底表面氧化膜之后,采用两步法,即低温生长过渡层,再提高温度生长外延层。得到了表面镜面光亮的优质GaAs和AlGaAs外延层。X射线双晶衍射仪测试GaAs外延层,其回摆曲... 用自制常压MOCVD装置,在Si衬底上生长GaAs和AlGaAs外延层,在高温去除Si衬底表面氧化膜之后,采用两步法,即低温生长过渡层,再提高温度生长外延层。得到了表面镜面光亮的优质GaAs和AlGaAs外延层。X射线双晶衍射仪测试GaAs外延层,其回摆曲线半峰宽是200孤秒,GaAs和AlGaAs外延层在77K温度下,PL谱半峰宽分别是17meV和24meV。 展开更多
关键词 mocvd 异质结 砷化镓 外延生长
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碳掺杂AlGaAs的MOCVD生长及808nm大功率激光器
16
作者 王向武 张岚 +3 位作者 黄子乾 潘彬 李肖 李忠辉 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期219-222,共4页
用 CCl4 作为掺杂剂 ,进行了掺碳 Al Ga As层的 LP-MOCVD生长 ,并对其掺杂特性进行了研究 ,分析了各生长参数对掺杂的影响 ;研制了碳掺杂 Al Ga As限制层 80 8nm大功率半导体激光器 ;激光器单面连续波输出功率大于 1 W,功率效率为 0 .7W... 用 CCl4 作为掺杂剂 ,进行了掺碳 Al Ga As层的 LP-MOCVD生长 ,并对其掺杂特性进行了研究 ,分析了各生长参数对掺杂的影响 ;研制了碳掺杂 Al Ga As限制层 80 8nm大功率半导体激光器 ;激光器单面连续波输出功率大于 1 W,功率效率为 0 .7W/ A。 展开更多
关键词 金属有机化合物化学气相沉积 铝镓砷 碳掺杂 激光器
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透射式GaAs光电阴极AlGaAs/GaAs外延层MOCVD过程中应变结构形成的研究
17
作者 李晓峰 张景文 +1 位作者 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期205-208,共4页
本文介绍了 Al Ga As/ Ga As外延层生长的应变状况的生长温度控制模型 ,并根据Al Ga As/ Ga As外延层 X射线衍射摇摆曲线的分析从实验上验证了 Al Ga As/ Ga
关键词 应变结构 晶格常量 透射式GAAS光电阴极 X射线衍射 algaas/GaAs外延层 mocvd 镓铝砷化合物 砷化镓 生长温度控制模型
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MOCVD Growth of Doped GaAs/AlGaAs Quantum Heterostructures
18
作者 任红文 徐现刚 +2 位作者 黄柏标 刘士文 蒋民华 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1993年第1期25-29,共5页
The influences of growth techniques of AP-MOCVD GaAs/AlGaAs silicon-doped multi-quantum wells (MQWs), heterostructure bipolar transistors (HBTs), double barrier resonant tunneling diodes(DBRTDs) on their structures an... The influences of growth techniques of AP-MOCVD GaAs/AlGaAs silicon-doped multi-quantum wells (MQWs), heterostructure bipolar transistors (HBTs), double barrier resonant tunneling diodes(DBRTDs) on their structures and performances were studied. Continuously grown MQWs, that is, no growth interruption at the heterointerfaces, shown blue-shifted, narrower and stronger photoluminescence(PL) compared with interruptedly grown ones.TEM examination of the interrupted interfaces revealed a bright line corresponding to the compositional fluctuation and impurity adsorption, and indicated noncommutative structures of AlGaAs/GaAs and GaAs/AlGaAs interfaces. High performance HBTs and DBRTDs were obtained by continuously grown method while growth interruption caused performance degradation. It was concluded that growth interruption may cause accumulation of residua1 impurities in the ambient as well as compositional fluctuation while continuous growth at very low growth rates can overcome such problems. 展开更多
关键词 mocvd Interrupted growth GaAs / algaas Hetero-interface
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GaAs插入层对InGaAs/AlGaAs量子阱发光性质的影响
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作者 于海鑫 王海珠 +4 位作者 郎天宇 吕明辉 徐睿良 范杰 邹永刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1967-1973,共7页
InGaAs/AlGaAs多量子阱(MQWs)作为一种常见的Ⅲ-Ⅴ族外延材料,通常应用于半导体激光器和太阳能电池等领域。然而,由于量子阱的势阱层和势垒层生长温度不同,铟原子的偏析和多量子阱生长质量较差等问题尚未得到很好的解决。本文设计了一... InGaAs/AlGaAs多量子阱(MQWs)作为一种常见的Ⅲ-Ⅴ族外延材料,通常应用于半导体激光器和太阳能电池等领域。然而,由于量子阱的势阱层和势垒层生长温度不同,铟原子的偏析和多量子阱生长质量较差等问题尚未得到很好的解决。本文设计了一种砷化镓(GaAs)材料作为插入层(ISL),并用于InGaAs/AlGaAs MQWs的结构。PL、XRD、AFM测试表明,GaAs插入层保证了MQWs结构中更多的辐射复合,阻止了铟原子的偏析。但GaAs插入层的引入也会产生“局域态”,影响量子阱的发光性质。本研究可以加深对InGaAs/AlGaAs多量子阱辐射复合机制的理解,并且对引入GaAs插入层的InGaAs/AlGaAs多量子阱发光性质的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 InGaAs/algaas多量子阱 局域态 插入层 金属有机化合物气相外延(mocvd)
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InGaAs/AlGaAs量子阱中量子尺寸效应对PL谱的影响 被引量:3
20
作者 于永芹 黄柏标 +7 位作者 尉吉勇 潘教青 周海龙 齐云 陈文澜 秦晓燕 张晓阳 任忠祥 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期345-349,共5页
本文采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法设计并生长了两组InGaAs/AlGaAs应变多量子阱,量子阱的厚度分别为3nm和6nm,对其光致发光谱(PL)进行了研究,二者的发光波长分别为843nm和942nm,用有限深单量子阱理论近似计算了由于量子尺寸效... 本文采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法设计并生长了两组InGaAs/AlGaAs应变多量子阱,量子阱的厚度分别为3nm和6nm,对其光致发光谱(PL)进行了研究,二者的发光波长分别为843nm和942nm,用有限深单量子阱理论近似计算了由于量子尺寸效应和应变效应引起的InGaAs/AlGaAs量子阱带隙的改变,这解释了两组样品室温下PL发射波长变化的原因。 展开更多
关键词 InGaAs/algaas量子阱 量子尺寸效应 mocvd 应变效应 金属有机物化学气相淀积 铟钙砷化合物 铝钙砷
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