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氮原子离子束源的设计研制与应用
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作者 王培元 沈宏 +2 位作者 秦宗益 应萱同 王培南 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期47-49,共3页
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。
关键词 氮原子离子束源 设计 应用 直流辉光放电 质谱 氮化物 制备
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辉光放电氮原子离子束源研制及其质谱研究
2
作者 郭钊 陈洁 +1 位作者 王培南 李富铭 《复旦学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期743-747,共5页
采用辉光放电的方法产生氮原子离子束，束流中N+／N^+_2高达5∶1．用飞行时间质谱研究了束流的N^+／N^+_2比率与放电条件的关系，指出了提高N^+／N^+_2比率的途径．
关键词 辉光放电 氮原子离子束 飞行时间质谱
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