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题名类金刚石膜的性质及应用
被引量:10
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作者
邓洁
覃礼钊
吴正龙
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机构
北京师范大学分析测试中心
北京师范大学材料科学与工程系
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出处
《现代科学仪器》
2007年第3期101-103,共3页
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文摘
介绍了类金刚石膜(Diamond-like Carbon films,DLC films)的结构、制备方法和发展现状。综述了DLC膜的机械、电子、光学和医学等性能以及在这些领域中的应用状况。
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关键词
类金刚石膜
金刚石结构
dlc性能
dlc应用
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Keywords
dlc film
diamond structure
dlc properties
dlc applications
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分类号
O484.4
[理学—固体物理]
TG174.444
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名类金刚石薄膜应用与制备技术发展现状
被引量:5
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作者
杨思远
邬奕欣
吴小倩
吴双宇
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《黑龙江科学》
2021年第16期20-21,24,共3页
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文摘
为充分发挥类金刚石薄膜的优良特性,促进其广泛应用,分析了DLC碳膜结构特点、优良性质及应用现状,综述了类金刚石薄膜的几种常见制备方法:等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、磁过滤阴极真空电弧法(FCVA)、磁控溅射法(MS)。分析了常用元素的掺杂改性手段,比较了不同制备方法的优缺点,总结了不同制备方法技术成熟度,展望了DLC碳膜未来应用前景和发展方向。
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关键词
类金刚石薄膜
sp^(3)/sp^(2)
dlc应用
制备技术
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Keywords
Diamond-like carbon films
sp^(3)/sp^(2)
dlc application
Preparation technology
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
TB306
[一般工业技术—材料科学与工程]
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