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类金刚石膜的性质及应用 被引量:10
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作者 邓洁 覃礼钊 吴正龙 《现代科学仪器》 2007年第3期101-103,共3页
介绍了类金刚石膜(Diamond-like Carbon films,DLC films)的结构、制备方法和发展现状。综述了DLC膜的机械、电子、光学和医学等性能以及在这些领域中的应用状况。
关键词 类金刚石膜 金刚石结构 dlc性能 dlc应用
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类金刚石薄膜应用与制备技术发展现状 被引量:5
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作者 杨思远 邬奕欣 +1 位作者 吴小倩 吴双宇 《黑龙江科学》 2021年第16期20-21,24,共3页
为充分发挥类金刚石薄膜的优良特性,促进其广泛应用,分析了DLC碳膜结构特点、优良性质及应用现状,综述了类金刚石薄膜的几种常见制备方法:等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、磁过滤阴极真空电弧法(FCVA)、磁控溅射... 为充分发挥类金刚石薄膜的优良特性,促进其广泛应用,分析了DLC碳膜结构特点、优良性质及应用现状,综述了类金刚石薄膜的几种常见制备方法:等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、磁过滤阴极真空电弧法(FCVA)、磁控溅射法(MS)。分析了常用元素的掺杂改性手段,比较了不同制备方法的优缺点,总结了不同制备方法技术成熟度,展望了DLC碳膜未来应用前景和发展方向。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 sp^(3)/sp^(2) dlc应用 制备技术
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