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类金刚石膜的制备方法和性能 被引量：3
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作者 李雪 《重庆工学院学报（自然科学版）》 2009年第6期165-171,共7页
分析了类金刚石(DLC)膜的结构、性能及影响因素,对类金刚石膜的应用进行了阐述,并对DLC的几种制备方法,包括物理气相沉积法、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强化学气相沉积法进行了介绍.
关键词 类金刚石膜 制备方法 结构
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